MEMS（微機電系統(tǒng)）是在半導體制造技術基礎上發(fā)展起來，是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，基于光刻、腐蝕等半導體技術，融入超精密機械加工，并結合材料、力學、化學、光學 等，使一個毫米或微米級別的MEMS系統(tǒng)具備精確而完整的電氣、機械、化學、光學等特性。

　　MEMS 器件主要包括傳感器、執(zhí)行器、微能源等，傳感器較為成熟，執(zhí)行器和微能源多處于起步階段：

　　傳感器：MEMS傳感器是目前應用較為成熟的MEMS 器件，包括壓力傳感器（還可以通過壓力傳感器測量氣壓、高度）、慣性傳感器（加速計、陀螺儀、地磁傳感器，或二合一、三合一的組合）、MEMS 麥克風、環(huán)境傳感器（溫濕度）、熱輻射等。其中慣性傳感器、MEMS 麥克風幾乎已經成為新型設備的標配，溫濕度、壓力等傳感器在移動終端尤其是部分穿戴式設備上的應用也有望迅速 鋪開。

　　執(zhí)行器：MEMS 執(zhí)行器也有部分較成熟的應用，如流量控制（噴墨頭），射頻器件里的 BAW（體聲波）濾波器、BAW 雙工器等，但未來大量的應用場景不止于此，例如 MEMS 振蕩器/諧振器、 MEMS 揚聲器、MEMS 攝像頭、MEMS反射鏡（用于微投領域）等。

　　微能源：MEMS 燃料電池能量密度高，用MEMS 燃料電池代替目前的手機電池可使理論續(xù)航時間延長至數周，但目前成本高達300美金左右。

　　MEMS 具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點，MEMS 系統(tǒng)的獨特特性使之在很多領域具有應用潛力，盡管已經有不少應用，但整體來說MEMS市場仍處于起步階段，大量的MEMS系統(tǒng)仍具備廣闊的市場潛力。全球來看，MEMS 當前市場規(guī)模約為120 億美元，有望在2020年達到近200億美元，年復合增速達到11.6%，遠超傳統(tǒng)半導體行業(yè)個位數的增速。其中組合慣性傳感器、微顯示等將呈現(xiàn)高速成長。整體而言，MEMS 傳感器有更廣泛的應用領域和產品，在整個MEMS 市場所占份額超過70%。隨著MEMS 執(zhí)行器生產技術的成熟和應用場景的增加，未來也會實現(xiàn)快速增長。

　　由于近年來硬件創(chuàng)新市場逐漸轉移國內，中國市場對于MEMS傳感器的需求增速遠高于全球 MEMS 市場增速，約13.9%，到2020 年總市場規(guī)模近60億美元。

　　MEMS當前主要應用在消費電子、汽車等領域，隨著產品的不斷成熟，航空航天、醫(yī)學和工業(yè)的應用也逐漸普及。

　　2010年開始在MEMS 麥克風、慣性傳感器等帶動下，MEMS 市場開始進入快速成長期，從下游應用來看，目前汽車和消費電子是最主要的應用領域，而在2010 年至2015 年期間，汽車的復合年增長率為6.8%，高于消費電子的5.1%CAGR。MEMS 是未來幾年增長潛力最大的電子元器件，室內導航、背景識別、關鍵詞識別、全時開機、全時聆聽、更準確的動作識別等功能都對MEMS 提出新需求。

　　由于消費電子領域的基礎創(chuàng)新較快，MEMS 也成為其重要的創(chuàng)新基礎元件，下游應用領域中快速成長的仍然是消費電子領域，2015 年至2020 年的 CAGR為10.9%。 自2015 年至2020 年汽車、工業(yè)、醫(yī)療的CAGR 分別4.3%、7.7%、11.8%。中國的MEMS 行業(yè)按下游應用來看，汽車和消費電子同樣是主要的增長動力，2010 年至 2015年汽車和消費電子領域的CAGR 分別為12.4%和 10.6%。 未來，由于中國消費電子和汽車的產業(yè)鏈國產化進程快速，仍將保持高速增長，消費電子的年復合增速預測將達到 17.2%，汽車增速為10.3%。