TDK致力于開(kāi)發(fā)各種各樣的傳感器,并將其作為“吸引未來(lái)(Attracting Tomorrow)”技術(shù)之一。可測(cè)量微弱生物磁場(chǎng)的高靈敏度磁性傳感器也是其中一種。其有望為當(dāng)前心電圖儀所無(wú)法發(fā)現(xiàn)的腹中胎兒心臟病、難以早期發(fā)現(xiàn)的缺血性心臟病等疑難雜癥帶來(lái)解決方案。
TDK在HDD磁頭制造過(guò)程中積累了自旋電子學(xué)技術(shù),并通過(guò)該技術(shù)開(kāi)發(fā)了MR(磁阻效應(yīng))器件技術(shù)。通過(guò)應(yīng)用開(kāi)展該項(xiàng)技術(shù)開(kāi)發(fā)了小型、高靈敏度的生物磁性傳感器,并且能夠感應(yīng)以往只能通過(guò)SQUID磁通計(jì)才可測(cè)量的微弱生物磁場(chǎng)。此外,TDK通過(guò)與東京醫(yī)科齒科大學(xué)大學(xué)院的共同研究,開(kāi)發(fā)了利用多信道傳感器陣列的生物磁場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng),成功實(shí)現(xiàn)了世界首例通過(guò)MR磁性傳感器測(cè)量心磁場(chǎng),并且實(shí)現(xiàn)了心臟磁場(chǎng)分布可視化(影像)。與需要液氦冷卻裝置(杜瓦)、價(jià)格高昂且規(guī)模龐大的SQUID磁通計(jì)不同,使用MR磁性傳感器的系統(tǒng)在常溫(非冷卻)下也能以高靈敏度進(jìn)行測(cè)量,此外,其還擁有輕巧、操作性及移動(dòng)性?xún)?yōu)異的優(yōu)點(diǎn),因此其不僅可用于心磁圖儀等醫(yī)療診斷用途,也有望運(yùn)用于健康護(hù)理及運(yùn)動(dòng)科學(xué)等領(lǐng)域。
TDK MR生物磁性傳感器的特點(diǎn)
使用了通過(guò)自旋電子學(xué)技術(shù)開(kāi)發(fā)的MR器件的小型高靈敏度生物磁性傳感器
磁性分辨率達(dá)到了媲美SQUID領(lǐng)域的數(shù)十pT(10-11T)
可在常溫(非冷卻)非侵入狀態(tài)下測(cè)量心磁場(chǎng)、肌磁場(chǎng)等生物磁場(chǎng)
通過(guò)多信道傳感器陣列實(shí)現(xiàn)心臟磁場(chǎng)分布可視化
系統(tǒng)成本約為SQUID磁通計(jì)的10分之1
無(wú)需冷卻系統(tǒng),操作性及移動(dòng)性?xún)?yōu)異
可在較為簡(jiǎn)易的磁屏蔽室進(jìn)行測(cè)量
與東京醫(yī)科齒科大學(xué)大學(xué)院共同研究
正在開(kāi)發(fā)可測(cè)量腦磁場(chǎng)的磁性分辨率在數(shù)pT的傳感器
背景
心臟病與癌癥(惡性贅生物)、腦血管疾病(中風(fēng))齊名,是世界上位居前位的致死疾病。當(dāng)前,心電圖儀(ECG:electro-cardiograph)作為檢查心臟活動(dòng)的檢查設(shè)備得到廣泛使用。
心臟電活動(dòng)發(fā)生源在于位于右心房,被稱(chēng)為竇房結(jié)的組織,它是與生俱來(lái)的起搏器。竇房結(jié)發(fā)出的電氣信號(hào)首先會(huì)傳遞至心房整體,之后經(jīng)由稱(chēng)為房室結(jié)的組織,分成左右兩支傳遞至心室整體,從而使心臟反復(fù)產(chǎn)生節(jié)奏性搏動(dòng)。這被稱(chēng)為心臟電傳導(dǎo)系統(tǒng)。通過(guò)心臟的這一電興奮的傳遞,體表各部位間均會(huì)出現(xiàn)電位差心電圖儀便是通過(guò)將多個(gè)電極粘貼于四肢及胸部等部位檢測(cè)電位差,并通過(guò)將其放大,以波形等形式進(jìn)行顯示及記錄。
圖1所示為心臟電傳導(dǎo)系統(tǒng)、心臟活動(dòng)電流的基本流動(dòng)軌跡以及典型的心電波形模式圖。P波表示心房收縮,QRS波表示伴隨心室收縮而產(chǎn)生的波形,T波、U波則表示心室興奮漸漸減弱的過(guò)程。
?
圖1 心臟電傳導(dǎo)系統(tǒng)與心電波形
心電圖儀無(wú)法以空間形式掌握心臟的活動(dòng),只能通過(guò)心電圖波形進(jìn)行大致推測(cè),但若能觀察到心臟肌肉詳細(xì)活動(dòng),則能夠使診斷精度得到飛躍式的提升。而心磁圖儀(MCG:magneto-cardiograph)則成為了這一問(wèn)題的解決方案。根據(jù)電磁學(xué)“右手螺旋定則”,當(dāng)流過(guò)電流時(shí),周?chē)鷮?huì)產(chǎn)生磁場(chǎng),因此通過(guò)測(cè)量心臟周?chē)a(chǎn)生的磁場(chǎng)就能夠推斷電流的流動(dòng)及部位。心磁圖儀的另一優(yōu)點(diǎn)在于無(wú)需在體表粘貼電極,可在穿衣的狀態(tài)下進(jìn)行非侵入測(cè)量。但心磁場(chǎng)是一種極其微弱的生物磁場(chǎng),因此對(duì)于心磁圖儀而言高靈敏度的磁性傳感器不可或缺。
磁性傳感器種類(lèi)與生物磁場(chǎng)
首個(gè)心電圖誕生于1903年,是由荷蘭生理學(xué)家威廉?埃因托芬通過(guò)其設(shè)計(jì)的裝置測(cè)量得到。而由于心磁場(chǎng)十分微弱,僅為地磁場(chǎng)的100萬(wàn)分之1,因此直至20世紀(jì)后半葉的1963年才首次成功測(cè)量。用于測(cè)量的是卷繞了200萬(wàn)次的1組磁通檢測(cè)線圈。之后,為了防止因地磁場(chǎng)等因素干擾,測(cè)量均在特別的磁屏蔽室內(nèi)進(jìn)行,然而即便如此,測(cè)量也僅僅停留在能夠確認(rèn)從心臟產(chǎn)生磁場(chǎng),其精度尚未達(dá)到能夠?yàn)樾呐K病診斷提供幫助的標(biāo)準(zhǔn)。
使生物磁場(chǎng)測(cè)量取得重大突破的是在1970年左右開(kāi)發(fā)的SQUID磁通計(jì)。SQUID是“超導(dǎo)量子干涉器件:superconducting quantum interference device”的英文縮寫(xiě),它是使利用超導(dǎo)體的線圈部分部位帶有約瑟夫森結(jié)的磁性傳感器。約瑟夫森結(jié)器件原本是開(kāi)發(fā)用于提高計(jì)算機(jī)處理速度的運(yùn)算器件,但由于其對(duì)于磁性的靈敏度極高,因此被運(yùn)用在高靈敏度磁通計(jì)中。通過(guò)SQUID磁通計(jì)不僅能夠測(cè)量伴隨心臟活動(dòng)所產(chǎn)生的心磁場(chǎng),同時(shí)還可以測(cè)量肌磁場(chǎng)、腦磁場(chǎng)。
但是,若要啟用SQUID,需要通過(guò)液氦對(duì)超導(dǎo)線圈進(jìn)行冷卻,還需要準(zhǔn)備用于屏蔽磁性噪音的特殊磁屏蔽室,因此系統(tǒng)規(guī)模龐大且價(jià)格高昂。為此,當(dāng)前只有用于研究等極少數(shù)的情況才會(huì)引進(jìn)使用SQUID磁通計(jì)的生物磁場(chǎng)測(cè)量裝置。例如,在日本只有40臺(tái)左右,而且其中絕大多數(shù)用于測(cè)量腦磁圖,用于測(cè)量心磁圖的僅為2臺(tái)(2016年)。
有多篇論文指出,通過(guò)對(duì)照心磁圖分析心電圖,可有效診斷各類(lèi)心臟病。但若要開(kāi)發(fā)并普及具有實(shí)用性的心磁圖儀,則需要能夠取代SQUID磁通計(jì),且擁有極高靈敏度的磁性傳感器。為此,TDK成功開(kāi)發(fā)了使用先進(jìn)MR(磁阻效應(yīng))器件的生物磁性傳感器。開(kāi)發(fā)之初的磁性分辨率在數(shù)百pT左右,但隨著技術(shù)能力的提高,2017年已達(dá)到了SQUID領(lǐng)域的數(shù)十pT,現(xiàn)在正以可測(cè)量腦磁場(chǎng)的數(shù)pT為目標(biāo)開(kāi)展研究。
圖4總結(jié)了得到實(shí)際運(yùn)用的各類(lèi)磁性傳感器靈敏度(大致測(cè)量范圍)與生物磁場(chǎng)強(qiáng)度。磁場(chǎng)強(qiáng)度單位為[Wb/m],磁通密度單位為[Wb/m2],兩者可通過(guò)導(dǎo)磁率相互關(guān)聯(lián),但作為非磁性體的生物組織的導(dǎo)磁率與空氣相同,幾乎為1,該圖中通過(guò)磁通密度標(biāo)示了磁場(chǎng)強(qiáng)度。1Wb/m2=1T(特斯拉)。1T在cgs單位制中為104G(高斯)。
圖2 各類(lèi)磁性傳感器及大致測(cè)量范圍
HDD磁頭技術(shù)與MR器件
以下對(duì)用于TDK生物磁性傳感器的MR器件進(jìn)行簡(jiǎn)要說(shuō)明。
從很久以前,人們便已經(jīng)知道若對(duì)物質(zhì)施加外部磁場(chǎng),電阻會(huì)發(fā)生細(xì)微變化,而這一現(xiàn)象被稱(chēng)為磁阻效應(yīng)(MR效應(yīng))。其與霍爾效應(yīng)等一同統(tǒng)稱(chēng)為“電磁效應(yīng)”,是物理作用的一種,當(dāng)搬運(yùn)電荷的電子或空穴在磁場(chǎng)中移動(dòng)時(shí),洛倫茲力則會(huì)產(chǎn)生作用,從而使移動(dòng)方向產(chǎn)生扭曲。MR傳感器運(yùn)用了半導(dǎo)體及強(qiáng)磁性體的磁阻效應(yīng),如今作為檢測(cè)自動(dòng)檢票機(jī)車(chē)票磁性數(shù)據(jù)、紙幣磁性油墨圖形等的磁性傳感器等得到廣泛運(yùn)用。
除了這一以往的磁阻效應(yīng),也有在強(qiáng)磁性體多層膜等結(jié)構(gòu)中顯示出存在電阻變化率異常巨大的磁阻效應(yīng)的情況。而這一現(xiàn)象則是由彼得?格林貝格與阿爾貝?費(fèi)爾等人在1987年發(fā)現(xiàn)的巨磁阻效應(yīng)。它無(wú)法通過(guò)電磁效應(yīng)進(jìn)行說(shuō)明,而是與電子自旋相關(guān)的自旋電子學(xué)現(xiàn)象。
此后,巨磁阻效應(yīng)作為HDD讀取器件得以使用,并在20世紀(jì)90年代后半期,HDD的記錄密度得到了飛躍式的提高。TDK快速掌握了先進(jìn)的自旋電子學(xué)技術(shù),并且相繼開(kāi)發(fā)了GMR磁頭、TMR磁頭等HDD磁頭,為HDD的大容量化做出了貢獻(xiàn)(圖3)。
圖3 TDK的磁頭開(kāi)發(fā)與HDD高記錄密度化的變化
本報(bào)道中主要介紹使用自旋電子學(xué)型MR磁性傳感器的生物磁性傳感器,其中融入了TDK在制造HDD磁頭過(guò)程中所培養(yǎng)的薄膜技術(shù)。另外,以往自旋電子學(xué)型MR磁性傳感器的靈敏度極限停留在了10nT(10-8T)水平,為實(shí)現(xiàn)在MR期間中無(wú)法實(shí)現(xiàn)的pT Order磁場(chǎng)測(cè)量,需要相應(yīng)技術(shù)大幅提高傳感器的SN比。
TDK通過(guò)徹底排除達(dá)到生物磁場(chǎng)100萬(wàn)倍的地磁場(chǎng)等環(huán)境噪音,以及MR器件及電路本身所發(fā)出的噪音,成功實(shí)現(xiàn)了數(shù)十pT(10-11T),具有極高磁性分辨率的生物磁性傳感器,其磁性分辨率達(dá)到了以往產(chǎn)品的約1000倍。這一磁性分辨率媲美了SQUID磁通計(jì)領(lǐng)域,能夠被用于測(cè)量心磁場(chǎng)等生物磁場(chǎng)。
自旋電子學(xué)型MR磁性傳感器原理
自旋電子學(xué)型MR器件是由強(qiáng)磁性體薄膜將非磁性體薄膜夾在中間的夾心結(jié)構(gòu)。一側(cè)的強(qiáng)磁性體膜是通過(guò)釘扎固定磁化方向的釘扎層(固定層),而另一側(cè)則為自由層,其強(qiáng)磁性體膜磁化方向追隨外部磁場(chǎng)方向進(jìn)行變化。由于器件電阻與釘扎層和自由層的磁化方向相對(duì)角成正比進(jìn)行變化,因此可通過(guò)電流大小得知磁場(chǎng)強(qiáng)度。
?
? ? ? ?圖4 MR器件的基本結(jié)構(gòu)與傳感器原理
MR磁性傳感器與磁通門(mén)傳感器或MI(磁阻抗)傳感器不同,由于只需供應(yīng)DC電源便可獲得信號(hào),因此不需要復(fù)雜的振蕩電流。
? ? ? ?雖然MR器件擁有優(yōu)異的溫度特性,但其電阻值還是會(huì)隨著溫度變化而產(chǎn)生細(xì)微變動(dòng)。為了將這一溫度漂移控制在最小范圍,在MR磁性傳感器中,基板上形成有多個(gè)器件,并通過(guò)沖橋結(jié)構(gòu)進(jìn)行差動(dòng)溫度補(bǔ)償。以4個(gè)器件為組合的典型的惠斯登電橋電路如圖5所示。箭頭表示釘扎層的磁化方向。
圖5 溫度補(bǔ)償用電橋結(jié)構(gòu)示例(惠斯登電橋)
通過(guò)TDK生物磁性傳感器實(shí)現(xiàn)世界首例心臟磁場(chǎng)可視化
TDK的MR磁性傳感器單元組合了電橋結(jié)構(gòu)的多個(gè)MR器件,并且內(nèi)置有低噪音電路。TDK開(kāi)發(fā)了將該傳感器單元以格子狀進(jìn)行排列的傳感器陣列,并與東京醫(yī)科齒科大學(xué)大學(xué)院進(jìn)行共同研究,通過(guò)MR磁性傳感器成功實(shí)現(xiàn)了世界首例(2016年)心磁場(chǎng)的測(cè)量與可視化(影像)。
同時(shí),TDK通過(guò)實(shí)現(xiàn)最大64ch的多信道化,成功獲得了更為清晰的圖像。圖6所示為T(mén)DK的MR磁性傳感器單元以及64ch(信道)傳感器陣列。
? ? ?
? ? ? ?圖6 MR磁性傳感器單元(左上)以及64ch MR磁性傳感器陣列
使用TDK的64ch MR磁性傳感器進(jìn)行心臟磁場(chǎng)分布測(cè)量及可視化的示例如圖7所示。重疊胸部X光片后,藍(lán)色波形映射了心電圖(ECG)、綠色波形映射了心磁圖(MCG),而照片則映射了心臟的磁場(chǎng)分布。黑色點(diǎn)為傳感器信道,心磁圖波形為通過(guò)以黃色點(diǎn)(①②)表示的傳感器信道得到的磁場(chǎng)強(qiáng)度時(shí)間波形。之所以波形峰值之間方向相反是因?yàn)榇帕€方向不同。
? ? ? ?照片中與天氣圖等壓線類(lèi)似的白色閉合曲線所示為,與心電圖R波相對(duì)應(yīng),且與測(cè)量時(shí)心臟周?chē)嗤艌?chǎng)強(qiáng)度相結(jié)合的等磁線。紅色以及藍(lán)色部分表示磁力線方向不同。紅色部分表示磁力線的流出方向,藍(lán)色部分則表示磁力線的流入方向。心電圖R波所示為心室收縮過(guò)程,通過(guò)磁場(chǎng)分布與磁力線朝向以及右手螺旋定則,此時(shí)的心臟活動(dòng)電流可推定為沿綠色箭頭方向流動(dòng)。
圖7 通過(guò)64ch MR磁性傳感器陣列測(cè)量并可視化心臟磁場(chǎng)分布的示例
TDK開(kāi)發(fā)的生物磁性測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
TDK的生物磁性測(cè)量系統(tǒng)使用了MR器件,與需要使用液氦冷卻裝置(杜瓦)的高額大規(guī)模SQUID磁通計(jì)相比,系統(tǒng)成本降低至大約10分之1,且在常溫(非冷卻)下便可進(jìn)行測(cè)量,操作性及移動(dòng)性?xún)?yōu)異,在研究及臨床方面具有各種優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),磁屏蔽室也相對(duì)較為簡(jiǎn)便。以往的SQUID由于靈敏度很高,容易受到外部擾動(dòng)磁場(chǎng)的影響,因此需要嚴(yán)密的磁屏蔽環(huán)境,相比SQUID,MR傳感器的動(dòng)態(tài)范圍更廣,即使在簡(jiǎn)單的磁屏蔽環(huán)境內(nèi)仍然可以工作。TDK通過(guò)實(shí)踐證實(shí)了在TDK前所未有的便攜型小型磁屏蔽內(nèi)可測(cè)量心臟磁場(chǎng)分布。同時(shí),SQUID磁通計(jì)中難以更換冷卻用杜瓦內(nèi)的傳感器配置,不同的對(duì)象部位需要另行使用其他裝置,例如,測(cè)量腦磁場(chǎng)需要使用腦磁圖儀,而測(cè)量心磁場(chǎng)則需要使用心磁圖儀。但是,TDK傳感器為非冷卻型,不需要杜瓦,因此按照對(duì)象部位能夠自由改變傳感器的配置和密度。
心磁圖在臨床診斷中的運(yùn)用尚處于起步階段,若可在常溫下使用的心磁圖儀能夠得到實(shí)際運(yùn)用及普及,則將有望對(duì)心臟病以及其他各類(lèi)疾病的診斷帶來(lái)巨大革新。
例如,通過(guò)X光片、X光-CT、MRI等所得到的均為靜態(tài)圖像。雖然對(duì)于骨折等形態(tài)性破壞的診斷能夠發(fā)揮一定作用,但卻無(wú)法進(jìn)行功能性診斷為此,在心臟病診斷中會(huì)使用心電圖儀,而心磁圖儀所測(cè)量的磁場(chǎng)則為擁有強(qiáng)度與方向的矢量。通過(guò)依靠心臟周邊磁場(chǎng)分布計(jì)算發(fā)生源,即“逆向求解”可推定活動(dòng)電流的傳遞路徑。同時(shí),通過(guò)與心電圖進(jìn)行對(duì)照還可從磁場(chǎng)波形中得到有助于診斷疾病的有益信息。
其中尤其受到關(guān)注的的是缺血性心臟病的診斷。缺血性心臟病是指送往心肌的血液出現(xiàn)暫時(shí)性不足的疾病,若病情加重則可能導(dǎo)致心絞痛或心肌梗塞。雖然通過(guò)心電圖難以實(shí)現(xiàn)早期發(fā)現(xiàn),但通過(guò)利用心磁圖儀磁場(chǎng)分布的時(shí)間性映射也許能夠成功檢測(cè)。
同時(shí),部分新生兒患有先天性心臟疾病,但如果能在胎兒階段便發(fā)現(xiàn)疾病,則能夠在異常時(shí)實(shí)現(xiàn)早期應(yīng)對(duì),或在生產(chǎn)后實(shí)現(xiàn)順利的醫(yī)療處理。
子宮內(nèi)的胎兒會(huì)被稱(chēng)為胎脂的物質(zhì)包裹。胎脂擁有極高的電氣絕緣性,幾乎屏蔽了所有來(lái)自心臟的電流。為此,測(cè)量胎兒的心電圖十分困難。以往只能使用超聲波診斷裝置(ECHO),但在ECHO檢查中只能了解其形態(tài)。但是,因?yàn)榇帕€不受胎脂的影響而穿透,所以能夠測(cè)量心磁圖。此外,磁場(chǎng)強(qiáng)度按照離開(kāi)發(fā)生源距離,呈現(xiàn)快速衰減。從而能夠?qū)崿F(xiàn)在不受孕婦心磁場(chǎng)影響的情況下單獨(dú)測(cè)量胎兒心磁場(chǎng)。這也是心磁圖儀所獨(dú)有的優(yōu)點(diǎn)。
??
圖8 通過(guò)使用MR磁性傳感器的心磁圖儀測(cè)量胎兒的心磁場(chǎng)(示意圖)
除此之外,其屬于非侵入性,且能夠簡(jiǎn)單測(cè)量微弱的生物磁場(chǎng),因此不僅是醫(yī)療用途,未來(lái)也將有望運(yùn)用于穿戴式健康護(hù)理設(shè)備或體育科學(xué)等領(lǐng)域。
以下所示為使用SQUID的生物磁性測(cè)量系統(tǒng)與使用MR磁性傳感器系統(tǒng)的優(yōu)缺點(diǎn)比較。
表1 使用SQUID的系統(tǒng)與使用MR磁性傳感器系統(tǒng)的比較
??
總結(jié)
用于測(cè)量生物磁場(chǎng)等的SQUID磁通計(jì),其系統(tǒng)本身價(jià)格高昂且體型龐大,同時(shí)還需要定期補(bǔ)充冷卻用液氦,因此昂貴的運(yùn)行成本成為了其根本性的缺點(diǎn)。為此,如今在世界范圍內(nèi)正在尋求能夠替代SQUID磁通計(jì)的低成本且使用方便的系統(tǒng)。
TDK為滿(mǎn)足這一需求,運(yùn)用在HDD磁頭制造中所積累的先進(jìn)薄膜技術(shù)以及自旋電子學(xué)技術(shù),開(kāi)發(fā)了使用小型、高靈敏度的MR磁性傳感器的生物磁性傳感器。其磁性分辨率為數(shù)十pT(10-11T),是以往MR磁性傳感器的大約1000倍,已達(dá)到了SQUID磁通計(jì)的水平。此外,TDK通過(guò)與東京醫(yī)科齒科大學(xué)大學(xué)院的共同研究,開(kāi)發(fā)了利用多信道MR磁性傳感器陣列的生物磁場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng),成功實(shí)現(xiàn)了世界首例心磁場(chǎng)常溫測(cè)量,并且實(shí)現(xiàn)了心臟磁場(chǎng)分布可視化。
現(xiàn)在,TDK還在推進(jìn)分辨率達(dá)到數(shù)pT的生物磁場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)工作。通過(guò)進(jìn)一步深挖以往只能通過(guò)SQUID磁通計(jì)進(jìn)行測(cè)量的領(lǐng)域,未來(lái)將有望用于診斷心房纖顫等心房性疾病及腦部疾病(癲癇、ALS等)。
此外,數(shù)pT的分辨率水平將可實(shí)現(xiàn)比心磁場(chǎng)更加微弱的腦磁場(chǎng)的測(cè)量。在生物磁場(chǎng)中,腦磁圖的研究相比心磁圖更為活躍。與測(cè)量電位差的腦波儀相比,腦磁圖儀的特點(diǎn)在于不會(huì)受到頭蓋骨的影響,從而可得到清晰的信息。然而,為了確定使癲癇患者腦內(nèi)發(fā)出特有腦波波形的異常部位,明確ALS(肌萎縮性脊髓側(cè)索硬化癥)這一疑難雜癥病因,查明冥想狀態(tài)下腦部發(fā)出的α波等,則要求分辨率需要達(dá)到0.5pT以下。雖然這在MR磁性傳感器領(lǐng)域中屬于難度極高的技術(shù)領(lǐng)域,但TDK依靠MR磁性傳感器獨(dú)有的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì),為幫助開(kāi)展最頂尖的生物磁場(chǎng)研究而不斷努力。
TDK的MR磁性傳感器除了生物磁場(chǎng)測(cè)量以外,還擁有其他各種應(yīng)用。通過(guò)常溫、非侵入式測(cè)量特點(diǎn),還可將其用于無(wú)損檢查領(lǐng)域,例如檢查通過(guò)目測(cè)無(wú)法發(fā)現(xiàn)的細(xì)微缺陷的磁力探傷試驗(yàn)(MT)等。
同時(shí),通過(guò)利用MR器件獨(dú)有的小巧特點(diǎn),可提高智能手機(jī)等移動(dòng)設(shè)備的便利性,還可用于穿戴式VR(虛擬現(xiàn)實(shí))設(shè)備、健康護(hù)理設(shè)備以及體內(nèi)檢查設(shè)備及人工器官等。
今后敬請(qǐng)關(guān)注以簡(jiǎn)便及低成本方式實(shí)現(xiàn)極高靈敏度生物磁場(chǎng)測(cè)量的生物磁性測(cè)量系統(tǒng),以及運(yùn)用先進(jìn)自旋電子學(xué)技術(shù)所開(kāi)發(fā)的TDK磁性傳感器技術(shù)。
TDK正致力于發(fā)展包括MR磁性傳感器在內(nèi)的磁性傳感器技術(shù)的各種應(yīng)用。
評(píng)論
查看更多