微壓傳感器在丈量進(jìn)程中，壓力直接效果在傳感器的膜片上，使膜片發(fā)作與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)作改動(dòng)，一同經(jīng)過(guò)電子線路查看這一改動(dòng)，并改換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的規(guī)范信號(hào)，這么的進(jìn)程便是微壓傳感器進(jìn)行丈量的進(jìn)程。

　　關(guān)于微壓傳感器來(lái)說(shuō)，活絡(luò)度和線性度是微壓力傳感器最首要的兩特功用方針。為了制造出能夠滿意實(shí)習(xí)運(yùn)用需要的傳感器，必需探求出一種微壓力傳感器活絡(luò)度和線性度的有用仿真辦法。實(shí)習(xí)的研討中，發(fā)現(xiàn)一種依據(jù)對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜外表應(yīng)力的有限元剖析（FEA）和途徑積分的仿真辦法。經(jīng)過(guò)這一辦法結(jié)束了在滿量程計(jì)劃內(nèi)紛歧樣壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的準(zhǔn)確估量，在此根底上對(duì)壓力傳感器的活絡(luò)度和線性度進(jìn)行了有用仿真。

　　微壓傳感器翻開(kāi)活絡(luò)，新研宣告的一類(lèi)傳感器選用壓電單晶片構(gòu)造，并內(nèi)置前置拓寬器，經(jīng)過(guò)拓寬器拓寬弱小信號(hào)并結(jié)束阻抗改換，然后使傳感用具有量程小、活絡(luò)度高、抗煩擾性好等特征。這類(lèi)傳感器已廣泛用于脈息、管壁壓力不堅(jiān)決等纖細(xì)信號(hào)的查看。但與此一同，關(guān)于微壓傳感器精準(zhǔn)度的查驗(yàn)這一技能難題，就火燎需要簡(jiǎn)練的丈量設(shè)備丈量該類(lèi)型傳感器的功用。

　　為了處理微壓力傳感器活絡(luò)度和非線性的對(duì)立，在構(gòu)造上，概括梁膜構(gòu)造與平膜雙島構(gòu)造的利益，選用雙島-梁構(gòu)造。島區(qū)的面積不是按份額拓寬或減小。首要，為了添加活絡(luò)度，應(yīng)盡或許減小窄梁區(qū)的長(zhǎng)度和寬度。由于從對(duì)“梁-膜-島”構(gòu)造的有限元剖析和近似解析剖析中發(fā)現(xiàn)，減小窄梁區(qū)的長(zhǎng)度和寬度能夠明顯地使梁上的應(yīng)力增大。而且當(dāng)基地窄梁的長(zhǎng)度約為兩頭窄梁長(zhǎng)度的2倍時(shí)，器材的線性度最佳。盡管有雙島限位構(gòu)造，但在高過(guò)載狀況下，硅膜將首要從島的邊區(qū)和角差異裂。這是由于傳統(tǒng)的島膜構(gòu)造都是選用慣例的有掩模的各向異性濕法腐蝕，從硅片欠好構(gòu)成硅膜和背島。硅膜是晶面，邊框和背大島周?chē)娑际蔷妫瑠A角為54.74°的銳角。依據(jù)力學(xué)原理，在角區(qū)存在應(yīng)力會(huì)合效應(yīng)，使硅膜在正面或欠好受壓往后，角區(qū)會(huì)具有應(yīng)力的極值，因而割裂首要從該處發(fā)作。引進(jìn)應(yīng)力勻散構(gòu)造往后，使角區(qū)成為具有必定曲率的圓角區(qū)，使該區(qū)的應(yīng)力極值降低。在硅膜與邊框或背島的交界處要構(gòu)成有必定曲率半經(jīng)的緩變構(gòu)造，選用通常的慣例各向異性濕法腐蝕是無(wú)法結(jié)束的。為此，選用了掩模-無(wú)掩模各向異性濕法腐蝕技能。