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電子發燒友網>制造/封裝>一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

一文解析EUV掩模版缺陷分類、檢測、補償

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2023-02-17 10:21:061334

EUV 光刻制造全流程設計解析

其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統,再到光掩模,再到對準系統,再到晶圓載物臺,再到光刻膠化學成分,再到鍍膜機和顯影劑,再到計量學,再到單個晶圓。
2023-03-07 10:41:581134

淺談EUV光刻中的光刻膠和掩模等材料挑戰

新的High NA EUV 光刻膠不能在封閉的研究環境中開發,必須通過精心設計的底層、新型硬掩模和高選擇性蝕刻工藝進行優化以獲得最佳性能。為了迎接這一挑戰,imec 最近開發了一個新的工具箱來匹配光刻膠和底層的屬性。
2023-04-13 11:52:121165

基于機器視覺的汽車漆面缺陷檢測技術

統和運動控制系統。系統對漆面缺陷檢測的過程和結果全程保存在本地電腦數據庫上,同時可以與車間管理系統對接,實現檢測結果的分類查詢、匯總分析功能。
2023-06-19 10:12:481929

行業案例 | 缺陷自動檢測分類(ADC)解決方案

由人工判別缺陷種類和缺陷位置,雖然已融入自動化生產步驟,但仍然有檢測過程耗時耗力、成本高的不便之處。明治傳感器推出的自動缺陷檢測分類(ADC,AutomaticD
2022-08-04 11:55:111135

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測

一文讀懂方殼電池倉段差缺陷檢測
2023-01-12 15:46:34559

基于GAN的零缺陷樣本產品表面缺陷檢測

缺陷檢測是工業生產過程中的關鍵環節,其檢測結果的好壞直接影響著產品的質量。而在現實場景中,但產品瑕疵率非常低,甚至是沒有,缺陷樣本的不充足使得需要深度學習缺陷檢測模型準確率不高。如何在缺陷樣本
2023-06-26 09:49:01549

EUV光刻市場高速增長,復合年增長率21.8%

EUV掩膜,也稱為EUV掩模EUV光刻掩膜,對于極紫外光刻(EUVL)這種先進光刻技術至關重要。EUV光刻是一種先進技術,用于制造具有更小特征尺寸和增強性能的下一代半導體器件。
2023-08-07 15:55:02399

EUV薄膜容錯成本高 成芯片良率的關鍵

近20年來,EUV光源、EUV掩模EUV光刻膠一直是EUV光刻的三大技術挑戰。
2023-09-14 09:45:12563

基于改進FCOS的表面缺陷檢測算法

首先使用深度卷積神經網絡提取輸入圖像特征圖,然后使用分類網絡、回歸網絡、中心度網絡對特征圖上的所有特征點逐個進行檢測分類網絡輸出原圖上以此特征點為中心的區域所含缺陷類別,回歸網絡輸出原圖上以此特征
2023-09-28 09:41:27187

關于高數值孔徑EUV和曲線光掩模等燈具的討論

半導體芯科技編譯 來源:Silicon Semiconductor eBeam Initiative已完成第12屆年度eBeam Initiative杰出人物調查。 來自半導體生態系統(包括光掩模
2023-10-17 15:00:01224

高數值孔徑EUV的可能拼接解決方案

采用曲線掩模的另一個挑戰是需要將兩個掩模縫合在一起以在晶圓上形成完整的圖像。對于高數值孔徑 EUV,半場掩模的拼接誤差是一個主要問題。
2023-10-23 12:21:41342

光刻可制造性檢查如何檢測掩模版質量

隨著工藝節點不斷變小,掩模版制造難度日益增加,耗費的資金成本從數十萬到上億,呈指數級增長,同時生產掩模版的時間成本也大幅增加。如果不能在制造掩模版前就保證其設計有足夠高的品質,重新優化設計并再次制造一批掩模版將增加巨大的資金成本和時間成本。
2023-11-02 14:25:59284

一文帶你了解蔡司工業CT中的自動缺陷檢測

蔡司自動缺陷檢測 適用于您的應用領域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學習軟件將人工智能應用于3D CT和2D X射線系統,樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規則)進行檢測、定位與分類,同時通過讀取
2023-11-14 11:27:27212

分析蔡司工業CT中的自動缺陷檢測

蔡司 自動缺陷檢測:適用于您的應用領域的AI軟件 蔡司自動化缺陷檢測機器學習軟件將人工智能應用于3D CT和2D X射線系統,樹立了新的標桿,可對缺陷或異常(不規則)進行檢測、定位與分類,同時通過
2023-11-15 11:14:24221

龍圖光罩科創板IPO獲批,募投項目技術和經濟可行性是關鍵?

龍圖光罩擁有130nm及以上節點的半導體掩模版制備頂尖技術,覆蓋 CAM、光刻、檢測全流程。在功率半導體掩模版領域,其工藝節點已能充分滿足全球主流制程的需求。
2023-12-18 09:41:15273

機器視覺之玻璃產品缺陷檢測

數字化處理后的圖像傳輸至計算機中,依靠視覺檢測軟件系統完成缺陷圖像的濾波、邊緣檢測、特征提取以及分類的功能,最終達到玻璃智能檢測的目的。
2023-12-22 16:09:09188

龍圖光罩:致力于高端半導體掩模版國產化的先鋒

2020年-2023年上半年,應用于功率半導體領域的掩模版是龍圖光罩最主要的收入來源,且營收和營收占比呈現逐年遞增的趨勢。龍圖光罩指出,在功率半導體掩模版領域,公司的工藝節點已覆蓋全球功率半導體主流制程的需求。
2024-01-12 10:18:06325

良品學習在高良率制造業中缺陷檢測的應用

缺陷形態多變,還可能出現各種無法預測的異常情況,傳統的缺陷模擬方法往往難以應對,這無疑增加了檢測的成本和難度。良品學習阿丘科技的良品學習模式,擁有非監督分類與非監
2024-01-26 08:25:10157

視覺檢測設備的分類

、質量控制、醫療影像、安防監控、無人駕駛等。視覺檢測設備的主要功能包括圖像采集、圖像處理、目標檢測、特征提取、分類識別、缺陷檢測、測量計量等,通過這些功能實現對目標物體的自動化檢測和分析。常見的視覺檢測設備包
2024-02-21 09:41:11166

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