他改變了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)路徑，讓老大哥英特爾（Intel）及設(shè)備商艾斯摩爾（ASML）、尼康（Nikon）等業(yè)內(nèi)巨頭，舍棄耗費(fèi)逾 10 億美元和數(shù)年的研究心力，跟著他與臺積電一起轉(zhuǎn)彎。 不但全球半導(dǎo)體制程得以往下推進(jìn) 6 到 7 個(gè)世代，約 14 年時(shí)光，臺積電也因此躋身一線大廠、主導(dǎo)業(yè)界規(guī)格。
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他是中研院院士林本堅(jiān)，臺積電前研發(fā)副總經(jīng)理。 臺積電董事長張忠謀曾稱，假如沒有林本堅(jiān)及其團(tuán)隊(duì)，“臺積電的微影（半導(dǎo)體關(guān)鍵制程之一）不會有今天這規(guī)模。 ”

退休后在清華大學(xué)擔(dān)任特聘研究講座教授的林本堅(jiān)，近日出版他第一本半自傳式著作，并與我們一起重溫當(dāng)年他是如何扭轉(zhuǎn)干坤。

林本堅(jiān)在越南出生，至青春期才來***求學(xué)，說話語調(diào)細(xì)軟，過去部屬昵稱他“Burn（其英文名）爺爺”。 他待人和善，但對所相信的事物和理念，卻不輕言退讓。

他的提案，同業(yè)主管批攪局

“雖千萬人，吾往矣！ ”林本堅(jiān)如此形容他 2002 到 04 年那改寫歷史的一役。

當(dāng)時(shí)狀況是這樣的：隨著半導(dǎo)體制程往下演進(jìn)，關(guān)鍵制程之一的微影，也得持續(xù)縮短光束波長。 一直以來，業(yè)界習(xí)慣以空氣為媒介，是“干式”的微影，但此技術(shù)卻已“撞墻”，在 157 奈米波長卡關(guān)。 而當(dāng)時(shí)任職臺積電的林本堅(jiān)卻跳脫框架，退回 157 奈米波長的上一世代，改用水做為介質(zhì)，發(fā)展出“浸潤式微影”技術(shù)，讓光束波長一舉縮短至 134 奈米，突破瓶頸。

這樣的破框思維，起初卻是孤獨(dú)，甚至遭受敵意。

因其他業(yè)者已投入共計(jì)逾十億美元研發(fā)經(jīng)費(fèi)在干式顯影上，接近當(dāng)時(shí)臺積電一整年的資本支出。 林本堅(jiān)的理論若被采用，等于宣告其他人前功盡棄。 臺積電前共同營運(yùn)長蔣尚義為林本堅(jiān)寫序：“（當(dāng)年）確實(shí)有大公司的高層主管表達(dá)嚴(yán)重關(guān)切，希望我能管管他（林本堅(jiān)），不要攪局。 ”

他做事前，會推演到窮盡

對內(nèi)，林本堅(jiān)要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單，對外，則要說服業(yè)界拋棄原有投入。

他的秘訣，是“徹底”2 字，徹底的思考，并徹底執(zhí)行。 “像下棋一樣，要先想好后面好幾步，”林本堅(jiān)說，做事前，推演至窮盡，是他一直以來的習(xí)慣，“把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。 ”

一位曾和林本堅(jiān)走過那一役的臺積電主管記得，起初反對方常在國際研討會上與臺積電針鋒相對，質(zhì)疑以水做為介質(zhì)易產(chǎn)生污染，且水中的氣泡會影響曝光等等。 對外界疑慮有備而來的林本堅(jiān)，決定更徹底解決，便帶著團(tuán)隊(duì)在半年內(nèi)完成三篇論文，投稿到國際期刊，連還未被提出的質(zhì)疑也一并設(shè)想、響應(yīng)。 “原本一個(gè)美國大廠的代表說他們絕不用這技術(shù)，結(jié)果一個(gè)（半導(dǎo)體制程）世代后，他們也用了。 ”

除了論理，林本堅(jiān)的溝通也做得徹底，當(dāng)時(shí)他跑遍美國、日本、荷蘭與德國等地，一一拜會業(yè)界，促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉(zhuǎn)向。 他說，溝通，是他從張忠謀身上學(xué)到重要的一課。

從他 2000 年加入臺積電以來，張忠謀每一季便固定與三級主管們分兩梯次共進(jìn)午餐，與副總經(jīng)理們則每月聚會。 會中張忠謀與主管們可從公司發(fā)展聊到國際政經(jīng)情勢，包括臺積電最核心的“誠信正直”、“承諾”等價(jià)值，也在其中凝聚，“董事長會鼓勵(lì)大家問他問題，有時(shí)候大家問得好，他就很高興的回答，什么都不吃了。 ”

“想得徹底、做得徹底，是他的習(xí)慣，”和林本堅(jiān)牽手 50 年的妻子黃修慧舉例，他擔(dān)任教會詩班指揮，許多成員不擅長讀五線譜，遇到重復(fù)段落的符號，常忘記回頭重唱，一般指揮會不斷糾正提醒，但林本堅(jiān)則徹底解決問題，重新謄打歌譜， 把重復(fù)符號后的譜直接寫出來，讓所有人能順利唱下去。

他徹底，但遇問題更懂繞道

不過，林本堅(jiān)的“徹底”帶著巧勁，他認(rèn)為遇到困難，有時(shí)不妨先停下、休息，甚至繞道，再前進(jìn)，會比只是遵循前人道路，一味的“愚公移山”好。 當(dāng)初他提出浸潤式微影，就是繞出業(yè)界的慣常道路，迸出靈光。

“他常說，想象可以無窮，只是實(shí)際運(yùn)用時(shí)，要謹(jǐn)慎，他從來不抑制工程師的任何想法，”前述臺積電主管表示，林本堅(jiān)相當(dāng)鼓勵(lì)部屬想象，如此才可能創(chuàng)新。

兩年前開始在大學(xué)任教后，林本堅(jiān)也如此期許學(xué)生，不要成為填鴨教育“惡補(bǔ)的奴隸”。 他鼓勵(lì)學(xué)生們合作，規(guī)定有些作業(yè)必須組隊(duì)完成，就像他過去扭轉(zhuǎn)半導(dǎo)體規(guī)則，雖由他一人提出想法，后續(xù)卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持，并在外找到盟友，才能實(shí)踐劃時(shí)代的技術(shù)。

“我希望能盡量把一些有價(jià)值的事傳承給下一代，”和寫書的初衷一樣，今年 76 歲的林本堅(jiān)，要持續(xù)以學(xué)校做為平臺，傳授思考與實(shí)踐之道。