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無偏二極管的制作方法

2010年02月27日 16:08 www.xsypw.cn 作者:佚名 用戶評論(0

無偏二極管的制作方法

材料

材料有硅粉、鉻粉、鍺粉、磷、鎢絲電極、載玻片、可伐合金、鎳鉻絲、金屬銻、氬氣和氮氣等。

儀器

儀器有超凈室、DMX-220A型真空鍍膜機、顯微鏡。

制作方法

圖1為二極管外觀圖,其中31是方形載玻片,作二極管的襯板;3是鉻層;2是硅層;1是銻層。制作方法見圖2,圖中的34是鍍膜機轉軸;26是模板;32是載料圓盤;31是方形載玻片;33是彈性壓片;23是蒸鍍膜用電極。

image: bk064931d-1.jpg

圖1 玻璃襯板無偏二極管外觀結構圖

鉻層3制作過程為:將鎳鉻絲電極裝在圖2中的23處,將模板26和方形載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3Pa,將鎳鉻絲通電至發紅,由于鉻的升華特性,載玻片上便可得到一層好的鉻膜層。?

硅層2制作過程為:將螺旋型電極裝在圖2中的23處,電極上涂硅粉,將模板26和鍍好鉻的載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3 Pa,再加1.5 Pa氮氣,通電將電極加熱使硅熔化,在鉻層上便形成了一層硅膜。?

銻層1制作過程為:將螺旋電極裝在圖2中的23處,將銻塊夾到螺旋電極的螺旋中,將模板26和鍍好鉻和硅的載玻片31放在載料圓盤上。抽真空至5×10-3Pa,將電極通電,便可得到鍍銻層。二極管制作結束。

圖2 無偏二極管制作方法圖


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