馬薩諸塞州BILLERICA - PRI Automation Inc.今天宣布推出TurboStocker XT，它為工作存儲增加了高速垂直傳輸功能在線(WIP)晶圓。由于能夠在工廠中的多個樓層之間移動，新的儲料器還可以最大限度地減少WIP的存儲空間。 “半導體制造商不斷尋求通過降低成本和提高生產率來提高制造業務效率的方法，”PRI Automation總裁兼首席執行官Mitch Tyson表示。 “TurboStocker XT提供了一種創新的方法來滿足全廠的材料處理要求，縮短了晶圓交付時間，節省了昂貴的潔凈室空間。”

PRI相信新的儲料器特別適合亞洲的晶圓廠， PRI工廠系統部副總裁兼總經理Bob Postle表示，空間有限且許多制造商不得不建造多層工廠。

TurboStocker XT可以減少潔凈室WIP存儲空間通過最小化生產車間所需的儲料器數量來減少75%。該公司表示，制造商可以利用騰出的占地空間來減小潔凈室的尺寸，或增加更多的工藝工具來提高制造能力。

PRI的新型儲料器具有許多與目前相同的技術。 200毫米和300毫米TurboStockers，包括I/O，用戶界面和機器人手臂。新系統還集成了PRI的interbay AeroTrak和intrabay AeroLoader晶圓傳輸系統和TransNet材料控制軟件。

TurboStocker XT可配置高達30米(約98英尺)，最大存儲容量為540個晶圓載具。存儲模塊可以沿垂直軸的任何點集成，包括子工廠或空氣室中的位置。這些靈活的配置使制造商能夠創建最佳的存儲配置，以滿足其設施要求。