白光干涉儀的故障與檢修

1、干涉環不圓正

原因：

（1）分光板膜層面反向。（2）兩組出射光瞳錯位。（3）分光板、補償板、移動鏡及參考鏡有壓應力。

檢修方法：

分光板膜層應是入射光的第二面，如裝在第一面，則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光 板，反過180°重新裝入金屬框內，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調整請參考故障檢修方法。分光板，補償板的寬頭螺釘，移動鏡及參考鏡的調節滾花螺釘壓緊 力過大，使各鏡片逐步變形產生等傾干涉圓環不規則，適當放松過緊的 螺釘即可消除。

2、讀數空位大于 0.03mm

原因：

（1）傳動螺母和絲桿的配合間隙大。（2）拖板體下面的頂塊間隙偏大。（3）檔板與導軌配合過松。

檢修方法：

可先調整頂塊間隙，拖板體在工作狀態下旋松頂塊螺釘，左手大拇 指將拖板體向讀數頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達到要求，調整檔板與導軌的間隙達 0.02mm，再調節傳動螺母上 的兩只螺釘（老產品有四只）。

3、 轉動粗動手輪時拖板不走。

原 因：

（1）儀器受強烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數頭嚙合齒輪錯位。（2） 傳動小齒輪固緊螺母松動， 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。（3）大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。

檢修方法：

首先檢查粗動手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數頭，一面慢慢轉動粗動手輪，最后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動，先拆去傳動盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。

4、轉動微動手輪時拖板不走。

原 因：（1）傳動小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈簧片無壓緊力，造成 蝸輪空轉。（2）粗微動有脫開機構的干涉儀，蝸桿壓緊彈簧片失靈。（3）微動手輪壓緊螺母松。

檢修方法：

先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋，取下門字架，旋緊傳動小齒輪壓緊螺母，使盆形彈簧片壓緊蝸輪，此時轉動蝸輪應帶動精密絲桿，依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機構，應檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死，可拆 下左右壓塊，清洗、上油（7101 油脂）重新裝配即可，如蝸桿拖板較松，說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小，（1）可拆下彈簧改小 R 增加彈性。（2）調換彈簧片。

5、轉動粗動手輪時，等傾干涉環從中心向外漂移。

原 因：

入射的光源不垂直于移動鏡。

檢修方法：

此種現象，并非儀器故障，主要是入射的光源不垂直于移動鏡，因多數易誤解為導軌直線性不好所致，故亦在此說明。首先調整干涉儀三只底腳調平螺釘，使儀器基本按放水平，然后調整光源，使擴束激光充滿固定鏡，將移動鏡調至零光程附近，轉動粗動手輪調等傾直條紋，說明擴束激光基本垂直于移動鏡，此時轉動粗動手輪出現的干涉圓環就不 會漂移。

6、白光干涉條紋不對稱。

原 因：

受運輸沖擊或使用過程中碰過分光板和補償板兩板平行 度已被破壞。

檢修方法：

調整分光板與補償板的平行性，在沒有自準直儀時，可通過兩板同時觀察室內目標物。如日光燈，調節兩板上的寬頭螺釘，使雙象基本重合，這時調出的白光彩色條紋可達到基本對稱，如仍有不對稱現象，可調節補償板的三只寬頭螺釘達到完全對稱。

7、 波長測定值偏長。

原 因：

（1）拖板體測面彈簧片壓力太緊。（2）檔板與導軌配合過緊。（3）導軌面潤滑油脂太厚。（4）蝸輪稍有打滑。（5）絲桿尾架壓緊力偏小。

檢修方法：

先檢查拖板體測面的彈簧片是否太緊，如太緊可將彈簧變形減少壓力的辦法解決。第二取下拖板體，檢查開合螺母上的檔板與導軌面的配合是否過緊，如過緊可調整檔板，旋松兩只螺釘，提高檔板與導軌接觸 處墊入 0.02mm 厚的錫片，放下檔板，固緊螺釘，拿掉錫片。第三導軌如加上厚的油脂，會使拖板增加阻尼或厚的油脂上帶有雜質，會使拖板不 按導軌直線移動。應清洗后重新上油。第四檢查尾架內的彈簧，如壓緊 力偏小，可把滾花螺套旋出，將彈簧拉長即可。如遇蝸輪稍有打滑，檢修時必須小心拆裝，先拆下傳動盒蓋，拆下門字架，取下小鋼球，旋下小齒輪壓緊螺母，用專用夾具取下讀數盤， 平面軸承，盆形彈簧片、蝸輪等。在汽油中清洗、烘干，重新涂硬性潤滑油脂（杭光 3#或 7107 油脂），重新裝配時可在平面軸承與讀數盤之間 加 0.2mm 的金屬墊片，手感磨擦力有所增加后，依次重新裝配，再進行測量檢查。

白光干涉儀的維護

1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。

2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。

3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。