壓阻式傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何弧⒓铀俣取⒅亓俊?yīng)變、流量、真空度)的測量和控制。
壓阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn):
1、靈敏度非常高,有時(shí)傳感器的輸出不需放大可直接用于測量;
2、分辨率高,例如測量壓力時(shí)可測出10~20Pa的微壓;
3、測量元件的有效面積可做得很小,故頻率響應(yīng)高;
4、可測量低頻加速度和直線加速度。
壓阻式傳感器的缺點(diǎn):
壓阻式傳感器最大的缺點(diǎn)是溫度誤差大,故需溫度補(bǔ)償或恒溫條件下使用。
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