歷史的魅力在于它給你機會，也會拖你下馬；它陽光普照，也在光背后隱藏陰影；它包容一切，卻最終只會選擇一個方向。

正如半導體工藝的歷史“圖譜”。目前其最大推動力無疑來自5G SoC大賽，一眾選手明爭暗斗，你方唱罷我出場，潛臺詞都以傲視對手為注解。而不論性能如何膠著，工藝是這些廠商不得不大書特書的依仗。但與一眾對手5nm或7nm相持不同的是，紫光展銳以采用臺積電6nm EUV工藝站上了擂臺賽。6nm藏著什么樣的玄機？5nm之后的3nm何時實現？未來的技術分叉路徑又該如何選擇？

歷史的“比拼”

翻看工藝選手的歷史，到現在已進階到“三國殺”的戲碼。

但工藝的賽程已跳脫出最初的“賽道”。一位在業界耕耘多年的資深前輩衛睿對集微網記者指出，在45nm之前，柵級寬度是所有線寬最小的，45nm表示第一層金屬柵級寬度為45nm，有著嚴格的定義；但到了45nm之后，柵級寬度已不是最小的寬度，業界拿Mental Pitch即金屬引線之間間隔的一半來定義，因經過整個工藝流程，會有偏差，為不造成出入，選取金屬引線之間間隔的一半為工藝級，這樣一直走到20nm。

但之后進入了新的分水嶺。“自20nm之后，多少納米則基本變成一個Marketing宣傳的工具，相對之下英特爾比較保守，其10nm相當于臺積電和三星的7nm相當，從中可看出臺積電和三星Marketing的策略比較激進。” 衛睿如此定調。

衛睿還舉例道，幾年前被問及工藝節點走向何方時，他的判斷是3nm，但現在據2nm工藝研發的指標來看都比3nm保守。

因而再來看待6nm已能從容。業界專家莫大康老師從性價比角度解讀說，臺積電在2019年7nm營收達94億美元，產能在7萬片，而2020年5nm開始量產，目標占10%，約35億美元，表明5nm的產能約3萬片。作為客戶，選擇工藝取決于市場，5nm、6nm或7nm價格不同，成品率也肯定不同，相信7nm已經成熟，而5nm則剛量產，產能緊張，成品率也會低，而采用6nm，可以采用7nm平臺相對容易，讓客戶更多一種選擇。

在集微網此前報道中，臺積電中國區業務發展副總經理陳平就提到，6nm是7nm的延伸和拓展，生態環境兼容，設計IP也可在6nm上復用，客戶可更加便捷地導入，在提高產品性能的同時兼顧了成本。據悉其晶體管密度相比上一代提高了18%，功耗也降低了8%。

而相對于工藝沖鋒向前的“激進”，大小節點的概念也在盛行。“有的節點是重要的，有的則不重要，比如20nm不重要，16nm是重要的；10nm不重要，7nm重要。原因在于通常兩年升級一個節點，但智能手機等大宗客戶基本每年都要推新款手機，相應地要求手機芯片每一年采用新節點，畢竟單從數字來看，采用5nm工藝節點就顯得比7nm高出一籌。”衛睿提出了自己的觀點。因而，那些爭先恐后要比拼先進工藝的廠商自然也高舉高打，一起合力向下一節點沖鋒，各得其所。

3nm的“分野”

無論如何，工藝的“速度與激情”同在上演。

而5nm/3nm已儼然成為代工巨頭的“下一戰”。臺積電為確保7nm、5nm的供應，正加快設備購買，設備廠大受裨益。據悉臺積電在2020年的投資將達到150-160億美元，也是臺積電史上最高的資本支出，而80%的開支會用于先進產能擴增，包括7nm、5nm及3nm，另外20%主要用于先進封裝及特殊制程。而其3nm工廠亦計劃在2020年動工，最快于2022年年底開始量產。

正如衛睿所言，5nm之后應該是3nm，同為重要節點，而4nm不重要。

“千年老二”三星自然也不斷砸下重金。根據三星的規劃，計劃在未來十年投資1160億美元，其中五百多億美元是投向晶圓制造。2月20日，三星宣布其首條基于EUV技術的生產線V1已開始大規模量產，正在生產7nm、6nm移動芯片，并將繼續進階直至3nm節點。

而在英特爾2020年的設備投資計劃中，不僅要增加現有14nm/10nm的產能，還要對7nm/5nm工藝進行投資。或許，按照以往的邏輯，英特爾的5nm或相當于臺積電的3nm，只是不要再像10nm擠牙膏就好。

而真正的巔峰之戰或是3nm。莫大康分析說，從5nm到3nm，芯片的架構將改變，FinFET已不可行，有可能轉向GAA環柵架構，這是一大突破，需要有磨合時期。從目前看3nm已十分昂貴，至于2nm是否可行尚不好預測，即便技術可行，但成本太高將很難承受，這最終取決于市場。

外界已預計三星將在3nm節點使用GAA環柵架構工藝，但到目前為止臺積電仍未公開其3nm的工藝路線。無論如何，3nm注定成為工藝歷史的轉折點。

未來的“抉擇”

然而不論是3nm還是2nm，工藝終將走向宿命般的終局。

盡管莫大康老師認為面對未來，摩爾定律結束可能是個偽命題，半導體業仍將持續向前，但僅僅尺寸縮小越來越困難，只能另辟蹊徑，而新封裝、新材料和新架構將扮演“接力棒”角色。

正如衛睿提到的是，臺積電最大的風險之一是面對摩爾定律終了之后的選擇。而他十分看好先進封裝在未來推動芯片性能向前邁進的動能，包括CSP、WLP、3D IC、SiP等。

與之相合的是，臺積電、三星、英特爾等紛紛涉足封測領域。要知道，臺積電今年百億美元投資的20%主要用于先進封裝及特殊制程，它在InFO、CoWoS等技術上的巨大成功，推動制造業、封測業以及基板企業投入了大量人力物力開展三維扇出技術的創新研發。英特爾近年來也在EMIB、Foveros 3D封裝等接連出招。

***國立高雄大學電機工程學系教授兼“先進構裝整合技術中心（APITC）”主任吳松茂在接受集微網記者采訪時就提到，應對先進封裝的技術門檻，需要設計和制造方緊密合作，而晶圓端的目光已逐漸從制造向上游走到設計端，未來產業鏈垂直整合將進一步加快，具備系統化SoC、SiP設計與驗證能力的新型產業模式將興起，而洗牌大戰亦難以避免。

“在很多時候，顯露于歷史書中的，不是最優秀的、最有智慧的，而只是幸存的……”半導體工藝節點歷史也是如此嗎？（文中衛睿為化名）