據(jù)合肥高新集團(tuán)報(bào)道，合肥微納傳感技術(shù)有限公司通過科研攻關(guān)，自主研發(fā)MEMS紅外溫度傳感器芯片。該芯片可以完成進(jìn)口替代，是疫情防控利器額溫槍的核心部件。

基于多年傳感器芯片的研究基礎(chǔ)，微納傳感研發(fā)的MEMS紅外溫度傳感器芯片性能指標(biāo)精度達(dá)到0.1℃，抗干擾能力優(yōu)于目前市場主流產(chǎn)品，可以完成進(jìn)口替代。芯片采用CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）工藝制作，具有高探測率、高穩(wěn)定性、極小溫漂系數(shù)，可廣泛應(yīng)用于耳溫、額溫、安防、微波爐等非接觸測溫場合。

目前，經(jīng)產(chǎn)能擴(kuò)大，微納傳感的相關(guān)傳感器芯片制造、組封裝日產(chǎn)量從1萬顆將提升到日產(chǎn)10萬顆以上，芯片將直接供應(yīng)至防疫醫(yī)療產(chǎn)品生產(chǎn)單位，能夠有效緩解市場緊張，助力疫情防控工作。

微納傳感自2015年創(chuàng)辦以來一直致力于MEMS氣體、空氣流量、溫度等傳感器芯片的研發(fā)與生產(chǎn)，擁有多項(xiàng)涉及MEMS關(guān)鍵技術(shù)的研究成果和發(fā)明專利。公司建有1000㎡凈化實(shí)驗(yàn)室、200㎡表征實(shí)驗(yàn)室，百級(jí)潔凈間（ISO Class 5）500㎡，引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)加工、制造、表征裝備，建成完備工藝生產(chǎn)線。2019年獲評(píng)工信部工業(yè)強(qiáng)基工程傳感器“一條龍”示范企業(yè)。
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