隨著年報密集披露期到來，各上市公司近日相繼發布其2019年業績報告。作為科創板首批上市企業以及國內半導體設備重要廠商之一，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）一直備受關注，那么，過去一年里其交出了怎樣一份答卷？

4月16日，中微公司發布其2019年年報，并于4月17上午召開了業績說明會。年報顯示，2019年中微公司實現營業收入19.47億元，同比增長18.77%；實現歸母凈利潤1.89億元，同比增長107.51%。按季度分，中微公司2019年第一季度到第四季度分別實現營收為3.76億元、4.24億元、4.16億元、7.29億元，其中第四季度營收增長明顯。

毛利率方面，中微公司2019年度毛利率為34.93%，較上年度減少0.57個百分點。對于毛利率下降，中微公司董事長、總經理尹志堯在業績說明會中表示，公司刻蝕設備的毛利率已達到國際同行的水平，但MOCVD設備的毛利率在公司設備進入市場之前，由于美國和德國設備公司的激烈競爭，已經降到很低的水平。由于中微的MOCVD設備的銷售占公司銷售相當的比例，所以公司的總毛利率相比偏低。

研發方面，2019年度中微公司的研究開發支出共計4.25億元，占營業收入21.81%，較上年度的24.65%減少2.84個百分點。截至2019年12月31日，公司已申請1467項專利，其中發明專利1297項；已獲授權專利1015項，其中發明專利859項。

5納米刻蝕設備獲批量訂單

尹志堯在業績說明會中披露，截至2019年底，中微公司1300多臺刻蝕機和MOCVD設備的反應臺已在40多條亞洲、歐洲和國內先進生產線量產。

年報顯示，在邏輯集成電路制造環節，中微公司開發的高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到7納米的芯片生產線上；同時，公司根據先進集成電路廠商的需求，已開發出5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單。目前公司正在配合客戶需求，開發新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。

在3D NAND芯片制造環節，中微公司的電容性等離子體刻蝕設備可應用于64層的量產，同時根據存儲器廠商的需求正在開發新一代能夠涵蓋128層關鍵刻蝕應用以及相對應的極高深寬比的刻蝕設備和工藝。

此外，中微公司的電感性等離子刻蝕設備已在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產線上量產，根據客戶的技術發展需求，正在進行下一代產品的技術研發，以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產品的ICP刻蝕需求，并進行高產出的ICP刻蝕設備的研發。

MOCVD設備方面，中微公司研發的用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業領先客戶端驗證成功。用于Mini LED生產的 MOCVD設備的研發工作正在有序進行中。制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發中。

中微公司指出，目前公司雖然已有了長足的發展，但距離公司的長遠目標、距離行業和資本市場的期望還有很大的改進、發展空間。

國際貿易摩擦及新冠疫情影響

近年來國際貿易和科技方面的摩擦不斷，今年以來新型冠狀病毒疫情持續蔓延，對產業鏈企業產生了不同程度的影響，尹志堯在業績說明會上對相關問題作出了回應。

關于新冠疫情對生產、銷售及原材料供應方面的影響，尹志堯表示，中微公司有400多家材料和零部件供應廠商，疫情期間公司一直緊密跟蹤供應廠商的供貨情況，有問題及時解決，保持了100%的材料按時供應率和100%設備的按時運出率。有極少數供應商提供的極個別零部件，由于疫情影響產能調整，到今年中期有一定供貨風險，中微公司正和這幾家供應廠商及時溝通，要求零部件按時到位。

生產線方面，尹志堯表示公司在2月下旬生產線已完全恢復，公司各方面生產經營情況都已走入正軌。在設備按計劃運出方面，除武漢地區客戶有些推遲，其他地區情況都按計劃進行。至于今年的訂單方面，尹志堯表示訂單整體向好，但下半年還得看疫情影響情況。

至于國際貿易和科技方面的摩擦，尹志堯表示，近年來國際貿易和科技方面的摩擦不斷，對國內部分企業已經有相當的影響，但中微公司從成立開始就嚴格遵守相關法律法規，一直保持與相關國家和地區政府部門的及時溝通。到目前為止，中微的業務尚未受到實質性的影響。

尹志堯指出，如果全球貿易和科技的摩擦繼續惡化，國際化的高科技公司都會受到更大影響。中微公司正密切關注國際形勢的變化，對潛在的不利因素和負面影響持續進行評估，并制定相應的防范預案。

將通過投資并購拓展版圖

在未來發展方面，中微公司在年報中表示，未來公司將通過投資、并購等外延式成長途徑擴大在集成電路領域及泛半導體領域的產品和市場覆蓋，并繼續探索核心技術在國計民生中創新性的應用，不斷推動企業健康發展。

中微公司進一步指出，在高度競爭的產業形勢下，公司考慮在有機成長的同時，通過投資并購國內外高端的半導體設備廠商，使公司能夠覆蓋更多的產品品類、占領更多細分市場，會重點考慮并購等離子體刻蝕、薄膜沉積設備和測量設備等領域的集成電路前道設備公司，以及其他泛半導體領域設備公司。

據了解，中微公司已參投了沈陽拓荊、Solayer、洪樸科技等企業，目前在上述三家企業的持股比例分別為11.20%、15.38%、23.73%。

尹志堯表示，今后公司計劃繼續通過有機生長，不斷開發新的產品，不斷提高市場占有率；同時將在適當時機，通過投資、并購等外延式生長途徑，擴大產品和市場覆蓋，力爭在未來十年內，發展成為在規模上和市場占有率上成為國際一流的半導體設備公司。
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