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上海新陽:光刻膠產(chǎn)品處于實(shí)驗(yàn)研發(fā)和中試開發(fā)階段

集成電路應(yīng)用雜志 ? 來源:全球半導(dǎo)體觀察 ? 2020-06-23 16:30 ? 次閱讀

上海新陽:光刻膠產(chǎn)品處于實(shí)驗(yàn)研發(fā)和中試開發(fā)階段

近日,上海新陽在2019年度網(wǎng)上業(yè)績說明會(huì)上表示,公司KrF厚膜光刻膠配套的光刻機(jī)一季度已完成安裝調(diào)試,目前進(jìn)入試運(yùn)行階段。KrF厚膜中試產(chǎn)線在安裝調(diào)試建設(shè)當(dāng)中。而公司光刻膠產(chǎn)品還處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和中試開發(fā)階段,未來主要服務(wù)于國內(nèi)芯片制造公司。

對(duì)于公司兩臺(tái)光刻機(jī)何時(shí)到位,上海新陽稱,公司購買的ArF光刻機(jī)準(zhǔn)備運(yùn)輸中,時(shí)間尚不能確定。I線光刻機(jī)已完成招投標(biāo),在進(jìn)行采購中。

此外,上海新陽還表示,今年會(huì)加大光刻膠業(yè)務(wù)的投入,并且在未來幾年都會(huì)對(duì)光刻膠技術(shù)與產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)行較大投入。除光刻膠外,上海新陽將繼續(xù)圍繞電子電鍍和電子清洗兩大核心技術(shù),持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新,不斷滿足產(chǎn)業(yè)和客戶需求,增強(qiáng)我國半導(dǎo)體關(guān)鍵工藝材料與核心技術(shù)自主可控能力。

當(dāng)前,上海新陽主要收入為氟碳涂料業(yè)務(wù),2019年涂料業(yè)務(wù)占營業(yè)收入的57%,上海新陽表示,隨著公司對(duì)半導(dǎo)體材料的研發(fā)和市場開拓投入加大,公司半導(dǎo)體業(yè)務(wù)將快速增長,涂料業(yè)務(wù)的收入占比會(huì)逐步下降。2020年1季度半導(dǎo)體業(yè)務(wù)銷售增長28%,受疫情影響涂料業(yè)務(wù)下降了23%;涂料業(yè)務(wù)占銷售比重與去年同期比下降了12%。

至于合肥項(xiàng)目的進(jìn)程,上海新陽則稱,公司在合肥投資設(shè)立第二生產(chǎn)基地的項(xiàng)目目前正處于前期準(zhǔn)備工作當(dāng)中,由于受疫情影響進(jìn)度有所延緩。第二生產(chǎn)基地僅僅生產(chǎn)半導(dǎo)體功能性材料。

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原文標(biāo)題:上海新陽:光刻膠產(chǎn)品處于實(shí)驗(yàn)研發(fā)和中試開發(fā)階段

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