全球晶圓代工龍頭臺積電2020年交出亮麗成績單，預期全年美元營收年成長率逾三成并創下歷史新高。2021年雖然仍有新冠肺炎疫情蔓延、地緣政治及貿易戰等外在環境變數，但晶圓代工訂單強勁，第二季前產能利用率維持滿載。設備業者及市場法人看好臺積電2021年3nm產能建設及2nm技術研發加速進行，全年資本支出將上看200億美元再創新高。

臺積電2020年資本支出估達170億美元，創下新高無虞。但7nm及5nm等先進制程、16nm以上成熟制程等產能仍供不應求。臺積電2021年持續擴增產能以因應強勁需求，包括Fab 18A廠第三期5nm產能將在第一季開出，Fab 18B廠3nm產能建置正加速進行，同時提升2nm閘極全球場效電晶體（GAAFET）技術研發速度等。

設備業者指出，受惠于5G及WiFi 6、人工智慧及高效能運算（AI/HPC）、車用及物聯網晶片等晶圓代工需求強勁，臺積電看好2021年產能持續供不應求，7nm及5nm接單幾乎全滿，成熟制程產能全線吃緊，加上3nm產能建設及美國5nm新廠動工將同步展開，持續增加極紫外光（EUV）曝光機及相關設備采購規模，預期2021年資本支出將上看200億美元，連續三年創下歷史新高。

以2021年新廠建置進度來看，臺積電針對3nm制程打造的Fab 18B廠共三期工程已動工，美國5nm建廠即將展開，南科Fab 14廠會再興建P8廠做為特殊制程晶圓廠，并在同一廠區內興建先進封裝技術生產基地。再者，竹科廠區將興建擁有兩座研發晶圓廠的研發中心，其中R1研發晶圓廠預計2021年完工，做為2nm及更先進制程的研發基地，竹南先進封裝廠則如期進行。

根據預計臺積電3nm將于2022年第二季進入量產，5G及HPC應用會是主要產品線。根據臺積電規畫，3nm晶圓廠廠房基地面積約為35公頃，潔凈室面積將超過16萬平方公尺，大約是22座標準足球場大小。3nm進入量產時，當年產能預估將超過每年60萬片12吋晶圓。業界預期臺積電會是全球第一家提供3nm量產的半導體廠，該廠區也會是全球擁有最多EUV產能的超大型晶圓廠（GigaFab）。
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