自華為遭遇美國禁令之后,關于半導體領域的話題開始頻頻進入大眾的視野。實現芯片自主可控,是眾多國人的心愿,但半導體屬于高精尖領域,入門門檻高,我國起步又晚,最終造成了如今受制于人的困境。不過,我國仍有不少科研工作者在數十年來在相關領域默默耕耘,如今終于有所收獲。
近段時間,新型5nm高精度激光光刻技術的問世,引發業績的強烈反響。該技術出自中國科學院蘇州研究所的張子與劉前研究員,并已經在Nano Letter上以研究論文的形式發表。雖然,該技術仍在實驗階段,但因該技術有望擺脫荷蘭光刻機的束縛,帶領國產芯片實現彎道超車,而備受關注。
當前,主流的為投影式光刻加工技術,雖然該技術效率不低,但新型5nm高精度激光光刻技術的效率同樣不容小覷,而且還達到5nm的標準。未來,其還有望實現更高精度的光刻技術。除光刻技術外,我國半導體材料也有了新突破。近日,450mm半導體級單晶硅棒于SemiconChina 2020上問世。
該單晶硅棒由新美光半導體科技有限公司自主研發而成,實現我國在該領域自主從零到一的突破。單晶硅棒遵循摩爾定律,尺寸越大約好。作為芯片制造重要原材料的單晶硅棒,自然受到業界的重視,目前450mm(18英寸)規格已經是業界最頂尖,而300mm與200mm在當前的應用最為普遍。
在半導體制造材料市場中,有硅片、電子氣體、光掩膜等在內的十余種材料,其中,硅片以超35%的占比處于最重要的位置。硅片參與了整個芯片制造的步驟,由此可見其重要性。不過,硅片的制作難度并不低,不僅對生產環境有極為苛刻的要求,而且對工藝與純度都有很高的標準。
因此,新美光半導體能實現在該領域的突破,并不容易。而且,新美光450nm半導體級單晶硅棒技術還有待更進一步,朝著更成熟的技術與更低的成本方向前進。在今年6月,新美光獲新一輪融資,有資金的支持,其有望再有新突破。
中科院、新美光這些企業與機構的出現,給我國芯片領域帶來了彎道超車的機會。希望,在這些企業的共同推動下,我國芯片領域能早日實現安全、自主、可控。
責任編輯:YYX
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