昆山雙橋傳感器測控技術有限公司

昆山雙橋傳感器測控技術有限公司是中科院昆山高科技產業(yè)園、國家火炬計劃昆山傳感器產業(yè)基地核心骨干企業(yè)。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導產品，兼及其它相關傳感器、變送器，自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產與銷售。

雙橋公司是國內最早開發(fā)MEMS技術壓力傳感器研究的幾個單位之一，是國內較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設計、制造做起，因而具有自主知識產權，確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向。

高頻動態(tài)壓力傳感器

在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值，這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度，本系列產品即是為此設計開發(fā)的，它利用微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小，固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學特性，全齊平封裝無管腔封裝，綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產品。其獨有的芯片防光抗干擾設計，可適用與近場爆轟測量，美國軍標和我國軍標在爆轟動態(tài)測量標準中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。

1、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器

1、特點及用途：

無管腔全齊平結構，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品能用于各種爆炸沖擊波測量及動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程：

0～1Mpa～100Mpa內可任選量程

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程 MPa	1	2	4	6	10	20	40	60	100
固有頻率 kHz	180	240	320	250	320	450	600	800	1000
上升時間μm	1	1	0.5	0.5	0.5	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：

±0.2％～±1％

5、精度等級：

檔級指標	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) X10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) X10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	0.5(1.0*)	0.3
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1
MA	0.5	5	5	0.5(1.0*)	0.3
MB	0.15	3	3	0.2(0.5*)	0.2

注：*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測量介質溫度：

J級0℃～450℃；M級10℃～300℃（特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms）

7、補償溫度范圍：

J級30℃～100℃；M級30℃～80℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

J級加強抗紅外及可見光；M級抗自然可見光。

9、 安裝接口：

M20×1.5，螺紋深12mm

10、出線方式：

航插、霍斯曼、直出線三種可選（建議直出線式或航插式）

11、供電方式：

恒壓源或恒流源

12、輸出方式：

差分毫伏信號

13、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質（如有特殊測量介質需提前告知）

14、殼體材料：

不銹鋼

15、冷卻水壓力：

不小于300kpa，嚴禁工作期間停壓或掉管；不大于700kpa，防止爆管

2、CYG406準齊平動態(tài)微壓傳感器

1、特點及用途：

微管腔準齊平結構，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，可下延至微壓量程段，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品用于動態(tài)要求較高的微小量程動態(tài)壓力測量，如小劑量爆轟或動態(tài)工況下的結構表面壓力場測試分析。

2、壓力量程：

0～1kpa～600kpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/5固有頻率）

量程 MPa	1	4	10	25	100	250	600
固有頻率 kHz	>5	>5	>20	>100	>150	>300	>300
上升時間μm	5	5	2	1	1	0.5	0.5

4、非 線 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

檔級指標	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) X10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) X10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.15	3	3	0.5	0.2
JB	0.1	2	2	0.2	0.1
MA	0.3	5	5	0.5	0.3
MB	0.2	3	3	0.2	0.2

6、測量介質溫度：

-50℃～120℃

7、補償溫度范圍：

J級-20℃～80℃ M級0℃～50℃，亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性：

抗自然可見光

9、 供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

10、輸出方式：

①差分毫伏信號，標稱值100mV±30%（100kpa以上）；50mV±40%（100kpa以下）

②配有放大器標準值，0～5V

11、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質（如有特殊測量介質需提前告知）

3、CYG410低壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途：

流線型無反射外型，無管腔全齊平結構，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防火護線管，最小量程可下沿至50kpa，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：

0～50kpa～500kpa

3、固有頻率及上升時間（用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程kpa	50	100	200	340	500
固有頻率kHz	80	100	120	150	180
上升時間μs	2	2	1	1	1

4、非 線 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標/檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.2	5	5	0.5	0.2
JB	0.15	3	3	0.2	0.1

6、測量介質溫度：

-50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補償溫度范圍：

0℃～50℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

抗自然可見光

9、 直徑：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式：

①差分毫伏信號，輸出靈敏度2～4mV/V（200kpa以下） 5～10mV/V（400kpa以上） ②配有放大器，標準值0～5V

12、測量介質：

與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質（如有特殊測量介質需提前告知）

4、CYG412高壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途：

流線型無反射外型，無管腔全齊平結構，優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，帶防火護線管，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：

0～20Mpa～100Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程kpa	20	40	60	100
固有頻率kHz	450	600	800	1000
上升時間μs	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：

±0.5％～±1.0％

5、精度等級：

指標/檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	1.0	0.3
JB	0.1	2	2	0.5	0.2

6、測量介質溫度：

－50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補償溫度范圍：

J級-10℃～60℃（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

J級加強抗紅外及可見光

9、 直 徑：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式：

①差分毫伏信號，標稱值100mV±30% ②配有放大器，標準值0～5V

12、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質（如有特殊測量介質需提前告知）

責任編輯：xj

原文標題：昆山雙橋高頻動態(tài)壓力傳感器

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