配氣系統裝置是將兩種或兩種以上氣體按一定比例進行配比混合，輸出設定濃度氣體的儀器，多應用與在環境與健康監測以及科研、教學、測量等機構中。隨著科學技術的發展，人們對配氣儀表的要求越來越高，目前市場上常用的配氣儀表是三通電磁閥控制型。

三通電磁閥控制的配氣系統主要是利用單片機根據所需氣體的配比要求，控制連接兩路氣體的高速三通電磁閥的通斷，從而調節每路氣體的采樣量，最終獲得設定濃度的氣體。

電磁閥式氣體分配器的優點是適用范圍廣、操作簡單、價格相對低廉。常規氣體可以直接使用，無需特殊設置或轉換。對于要準備的氣體類型和濃度，出廠前不需要調整儀器。但只能用于配比兩種氣體，配氣精度低（1％以上）。

對于半導體和電子工業中使用的特殊氣體，為了保持氣體的穩定性或便于使用，通常使用二元或多元氣體混合物，并且需要氣體分配系統裝置。常規配氣方式，如標準配氣，現有方式多為單瓶混氣。根據原料氣壓力和氣體性質選擇配氣順序，例如原料瓶A和目標氣瓶B通過管道C連通，目標氣瓶放置在精密電子秤D上，這是常規的氣體分配裝置。這種配氣裝置的缺點是管道與接頭之間產生應力，嚴重影響稱重精度，導致配比不準確；一次只能分配一瓶氣體，效率很低。特種氣體消耗量大，純度高，對濃度偏差要求高，因此這種方法不適合特種氣體的配氣。

為了解決上述出現的配氣精度問題，有相關領域的生產商開發出了帶有精密監測元件的配氣系統裝置。了解到配氣系統中使用的氣體濃度檢測元件是熱導式氣體傳感器，它可以計控制各路氣體的濃度，以實現不同種類和濃度氣體的配制。一款熱導式氣體傳感器，可用于配氣系統中，瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 － MTCS2601，該傳感器由基于 MEMS 技術的 4 個 Ni－Pt 電阻組成的微機械的熱電導率傳感器，適用于惡劣環境下初級壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入。另外硅晶片上有加熱電阻，并且有優異的溫度補償。