美國國防高級研究計劃局（Defense Advanced Research Projects Agency，簡稱：DARPA）是對事關(guān)國家安全的突破性技術(shù)進行關(guān)鍵性投資的主要政府機構(gòu)，其DP2計劃旨在為商業(yè)化和國防領(lǐng)域生產(chǎn)新型壓電材料并進行器件設(shè)計，以促進MEMS發(fā)展。

據(jù)麥姆斯咨詢報道，總部位于北卡羅萊納州夏洛特市的集成器件制造商（IDM）Akoustis Technologies（納斯達克股票代碼：AKTS）（以下簡稱“Akoustis”），專注于為移動和其它無線應(yīng)用提供具有專利的體聲波（BAW）高頻射頻（RF）濾波器。Akoustis于2020年10月27日宣布，已從DARPA獲得新的、為期數(shù)年的直接進入第2階段計劃（DP2）的合同，以通過為其獨有及受專利保護的XBAW工藝開發(fā)壓電MEMS工藝設(shè)計套件（PDK），進一步發(fā)展Akoustis技術(shù)。

小企業(yè)創(chuàng)新研究計劃（SBIR）DP2將致力于開發(fā)一種通用的工藝設(shè)計套件，使BAW和其它類似的MEMS結(jié)構(gòu)能夠使用Akoustis最先進的XBAW工藝進行設(shè)計和制造。項目擬議的壓電MEMS工藝設(shè)計套件將包括該公司工藝技術(shù)的所有方面，如材料特性、堆棧尺寸的工藝規(guī)則、過程控制監(jiān)控、設(shè)計規(guī)則檢查和示例器件模型等。

DP2計劃成功完成后，DARPA將選擇資助第3階段合同。這個選項支持利用新的工藝設(shè)計套件、使用Akoustis的XBAW工藝構(gòu)建器件和電路（包括射頻濾波器）的多個客戶參與。

Akoustis創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官Jeff Shealy

Akoustis創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官Jeff Shealy表示：“我們很榮幸獲得DARPA授予的這份合同，以進一步開發(fā)XBAW平臺，擴大我們的技術(shù)范圍，促進新客戶的發(fā)展。”Shealy繼續(xù)說：“其他設(shè)計商將能夠在我們目前的目標范圍之外利用新型壓電材料和基板開發(fā)新產(chǎn)品，這將極大地提高XBAW的發(fā)展機會，可能會在相近的快速增長市場中帶來新的機遇。”

Akoustis準備在2020年進入5G網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施、高頻段WiFi和相控陣雷達等多個市場領(lǐng)域，Akoustis的高頻、高性能XBAW工藝和濾波器將會受到越來越多的關(guān)注。

Akoustis已在其產(chǎn)品目錄中新添15款濾波器，包括一款5.6GHz WiFi濾波器、一款5.2GHz WiFi濾波器、一款5.5 GHz WiFi 6E濾波器、一款6.5 GHz WiFi 6E濾波器、三款小型5G網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施濾波器（包括兩款頻段n77濾波器、一款頻段n79濾波器）、用于國防相控陣雷達應(yīng)用的一款3.8GHz濾波器和五款S-Band濾波器、一款用于CBRS（公民寬帶無線電服務(wù)）5G基礎(chǔ)設(shè)施的3.6GHz濾波器和一款用于無人機系統(tǒng)（UAS）的C頻段濾波器。該公司目前針對5G移動設(shè)備、網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施、WiFi CPE（Customer Premise Equipment，客戶前置設(shè)備）和軍事國防等領(lǐng)域，正在為sub-7 GHz開發(fā)新的濾波器。

關(guān)于Akoustis

Akoustis是一家BAW RF濾波器高科技解決方案公司，率先推出了下一代材料科學和MEMS晶圓制造技術(shù)，以滿足市場對改進RF濾波器的需求——與目前采用的多晶BAW技術(shù)相比，獲得更高帶寬、更高工作頻率和更高輸出功率。該公司利用其專利保護的XBAW制造工藝，為移動和其他無線市場生產(chǎn)體聲波RF濾波器，其產(chǎn)品增強了信號接收并加速了天線和數(shù)字后端之間的頻帶性能。Akoustis高純度單晶壓電材料和諧振濾波器工藝的顯著進步，實現(xiàn)了卓越的器件性能，推動了機電耦合并轉(zhuǎn)換為更寬的濾波器帶寬。

Akoustis利用其IDM業(yè)務(wù)模式為市場規(guī)模達數(shù)十億美元的RF濾波器市場提供服務(wù)。該公司位于紐約州卡南代瓜市的工廠已通過了ISO-9001：2015認證，共占地120000平方英尺（約等于11148平方米），其中包括100級和1000級潔凈室設(shè)施，可用于6英寸晶圓加工，以及RF濾波器、MEMS和其它半導(dǎo)體器件的設(shè)計、開發(fā)、制造和封裝等。Akoustis總部位于北卡羅來納州夏洛特附近的皮埃蒙特技術(shù)走廊。

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