在MEMS（微機電系統）領域，芯片的流片環節是“最煎熬的存在”，它是科研成果走向市場的必經之旅，看上去一步之遙，實則蜀道艱難。流片成本高，過程復雜，財力精力付出巨大，稍有不慎就功虧一簣，重頭再來。很多科研成果就這樣夭折在“黎明前的黑暗”里。在蘇州工業園區，有一支MEMS領域的博士創業團隊，僅成立一年多，其自主研發的“中國芯”就在產業化的道路上迎來了流片成功的勝利曙光。

讓我們一起走進2020年科技領軍人才企業——蘇州知芯傳感技術有限公司（簡稱：知芯傳感），聽創始人陳巧博士講述公司的創業之路。

搶抓機遇

吹響創業集結號

微鏡是目前最熱門的MEMS核心器件之一，其內部結構一般在微米甚至納米量級，可以廣泛應用在光通信、VR/AR、人臉識別、激光投影、智能車燈、汽車抬頭顯示HUD、激光雷達（LiDAR）自動駕駛、機器人、AGV及智能安防等，前景非常廣闊。陳巧博士，就是躬耕這一領域13年的資深研發人。在組建知芯之前，他就已戰功顯赫，成功開發多款MEMS微鏡。作為核心骨干，曾參與了科技部國家重大科學儀器設備開發專項中MEMS微鏡的研發工作，并在微型傅里葉近紅外光譜儀中得到應用。長期帶領團隊專攻MEMS微鏡芯片設計、工藝開發、封裝測試，并成功量產。

天時地利人和，當時機成熟，創業就成了水到渠成的事。“材料方面，一家日本廠商的PZT技術已經開發了十多年，目前處于成熟階段，我們考察之后覺得非常符合我們的需求。技術方面，我們除了埋頭研究自己的MEMS之外，也格外關注MEMS行業的前沿研究。不管是芯片結構的先進性，還是芯片工藝的可控度，我們對自己的芯片都有足夠的底氣。所以當我們看到這個材料的生產技術成熟了，我們的技術也成熟了，就萌生了創業的想法。資金方面，合適的投資方都有一雙火眼金睛，他們比我們更能看到市場的需求和未來的方向，我們跟資方算是一拍即合。”談起當初的創業沖動，陳巧的眼睛閃過一道光。

MEMS的獨特特性使之在很多領域具有應用潛力，盡管已經有不少應用，但整體來說MEMS市場仍處于起步階段。為了搶抓機遇，知芯傳感很快集結了一支穩定、高素質、高水平的團隊，涵蓋了MEMS、設計、工藝、控制等領域。

“公司核心技術MEMS及控制方面均由具有國外領先技術的海外歸國博士擔任團隊負責人，管理團隊負責人來自南京大學MBA，擁有多年企業運營和市場經驗。主要人員均為碩士以上學歷，在相關行業都有10年以上專業經驗，熟悉MEMS產業方向，MEMS供應鏈，對于行業的發展以及市場的需求都較為了解，所以我們很有信心。”陳巧驕傲地說。

落地園區

填補芯片生態位

MEMS制造環節門檻高、技術含量高，是制約中國MEMS產業發展的瓶頸，也是從實驗室到可銷售產品最核心的支撐環節。

“園區有我們項目上下游配套產業鏈和產業集聚氛圍，這是我們選擇園區的首要條件。”陳巧告訴記者，之前的工作經歷中，就多次接觸納米城的MEMS中試量產平臺，對于他們的工藝還是較為認可的。“最近我們依靠納米城的MEMS中試量產平臺已進行了兩輪流片，效果不錯。”

而且，根據園區的相關政策，可以申請較為可觀的納米MEMS產品流片補貼，這著實為創業期的企業減輕了負擔。陳巧表示：“當時考慮落地的時候，已經考察過很多地方。園區的營商環境和產業鏈非常適合我們這樣的初創企業。在這里，我們可以跟同伴一起更好地成長。”

據介紹，知芯傳感將利用蘇州納米科技發展有限公司與日本愛發科共建的PZT壓電薄膜MEMS器件聯合實驗室平臺，完成PZT壓電薄膜驅動MEMS微鏡芯片的產業化。知芯傳感通過與競爭對手產品異質化的優勢，占住了屬于自己的生態位。

厚積薄發

推動研發市場化

“目前市面上的芯片一般采用諧振驅動，而我們的芯片可采用準靜態線性驅動，精度更高，應用范圍更廣。”陳巧介紹說，PZT壓電薄膜驅動MEMS微鏡芯片二次流片后的測試的結果十分喜人。

據了解，為更好地發揮PZT壓電薄膜驅動的優勢，知芯傳感研發了一種新的結構，相較于目前市面上的芯片，運用了新結構的芯片良品率更高，掃描角度更大，穩定性更強。經測試芯片在運轉10億次以后，性能衰減較小，還可實現之前95%以上的性能。

“雖然我們公司成立不久，但是我們整個項目的籌備階段其實是經歷了較長時間的論證的，憑借多年的行業經驗，我們研發的時候會考慮到芯片的可靠性、可加工性、可量產性等多方面，這不是一個短期的爆發，而是我們長時間經驗的積累。”陳巧解釋道。

目前，知芯傳感掌握MEMS芯片設計、工藝制造、集成封裝的自主核心技術，具有MEMS產品化的深厚技術儲備，且已申請多項發明專利，具有多種MEMS器件的量產經驗，部分高端產品短期內將實現量產，而相關產品國內基本無量產廠商。

行穩致遠

破局進口依賴性

“現在國內很多芯片還是依賴國外進口，所以我希望我們的產品是符合市場需要的，能夠做到替代國外進口的芯片，打破這種僵局。”陳巧對產品有明確的定位：“就目前我們研發的這款芯片，我們要做到中國的前三，因為在芯片這個行業，你如果不能擁有領先優勢，那么就很難存活。”

慎始敬終，弘毅篤行，對于公司未來發展，知芯有著清晰的時間節點規劃。未來三年，知芯傳感將加大投入優化產品設計、提升產品各項功能，突破關鍵技術，實現由自動化向智能化轉變；未來五年，將擴大生產車間提升公司產能，爭取成為行業該領域的排頭兵。未來10年，知芯傳感計劃成為全球激光雷達用MEMS微鏡芯片的領導者，為我國MEMS產業的發展、激光雷達產業的跨越式發展以及下游應用產業的規模發展做出貢獻。

責任編輯：xj

原文標題：知芯傳感，讓“MEMS微鏡”迸發市場活力

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