文章導讀：

VOA的優勢、類型

MEMS Shutter型VOA

MEMS微鏡型VOA

MEMS微鏡型VOA中的WDL問題

MEMS微鏡型VOA的WDL優化

MEMS（Micro Electro Mechanical System，微機電系統）技術被廣泛應用于光纖通信系統中，MEMS技術與光學技術的結合，通常稱作MOEMS技術。最為常用的MOEMS器件包括光衰減器VOA、光開關OS、可調光學濾波器TOF、動態增益均衡器DGE、波長選擇開關WSS和矩陣光開關OXC。

VOA在光纖通信系統中常用于光功率均衡，在各種技術方案中，MEMS VOA具有尺寸小、成本低和易于制造的優勢。最常用的MEMS VOA有兩類：MEMS Shutter型和MEMS微鏡型，前者通常以熱效應驅動，后者通常以靜電力驅動。

MEMS Shutter型VOA

基于MEMS Shutter的VOA結構如圖1所示，MEMS Shutter被插入兩根光纖之間的光路，衰減量取決于被阻擋的光束截面大小。在實際應用中，這種VOA也可以設計成反射型。

圖1． 基于MEMS shutter的VOA結構

MEMS微鏡型VOA

如圖2所示為基于MEMS扭鏡的VOA結構，它以雙光纖準直器的兩根尾纖作為輸入／輸出端口，準直光束被MEMS微鏡反射偏轉，從而聯通輸入／輸出端口之間的光路。扭動微鏡讓光束發生偏轉，從而產生光功率的衰減。

圖2． 基于MEMS扭鏡的VOA結構

MEMS扭鏡通常有兩種結構，即平板電極和梳齒電極，如圖3所示。考慮0～20dB的衰減范圍，前者通常需要＞10V的驅動電壓，后者可將驅動電壓降至5V以下。然而，僅僅一個微小的粉塵顆粒就會卡住梳齒電極，因此其生產良率較低。采用梳齒電極的MEMS微鏡，通常需要在超凈環境下封裝。

圖3． 兩類MEMS扭鏡：平板電極和梳齒電極