為完善業(yè)務(wù)布局，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導(dǎo)體”）正在加速產(chǎn)業(yè)投資，近日出手投資了兩家半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

12月28日，中微半導(dǎo)體發(fā)布公告，公司基于經(jīng)營戰(zhàn)略發(fā)展考慮，擬對睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）進行增資。

公告顯示，本次增資，上海睿勵的投前估值為4.14億元，公司擬以現(xiàn)金方式向上海睿勵增資1億元，認購上海睿勵新增注冊資本8333.33萬元，認購單價為1.2元/股（注冊資本）。本次增資完成后，上海睿勵注冊資本增加至4.28億元，公司持有上海睿勵股權(quán)比例為20.4467%。

公告介紹稱，上海睿勵成立于2005年6月，致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，主營產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測設(shè)備以及硅片厚度及翹曲測量設(shè)備等，是國內(nèi)少數(shù)幾家進入國際領(lǐng)先的12英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國內(nèi)唯一進入某韓國領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。

公告進一步指出，上海睿勵自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進行了14納米工藝驗證，在3D存儲芯片產(chǎn)線支持64層3D NAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗證96層3D NAND芯片的測量性能。其應(yīng)用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學(xué)檢測設(shè)備，也已成功銷售到眾多國內(nèi)LED PSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

上海睿勵正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測設(shè)備，進一步擴大可服務(wù)的市場規(guī)模。

中微半導(dǎo)體在公告中表示，公司在集成電路刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)和市場化方面已經(jīng)取得了一定的成果，前期通過投資國內(nèi)領(lǐng)先的薄膜設(shè)備公司沈陽拓荊科技有限公司在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進行了布局。本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域。

此外，公司同上海睿勵的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過本次投資，能進一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。投資上海睿勵是公司聚焦并落實高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟，系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進行的投資。

此前，中微半導(dǎo)體曾以500萬元的債權(quán)向上海睿勵出資，認購上海睿勵416.67萬元新增注冊資本，持股1.2091%。這次是中微半導(dǎo)體對上海睿勵新增投資，交易完成后，中微半導(dǎo)體對上海睿勵的持股比例為20.4467%。

除了上海睿勵外，中微半導(dǎo)體近日還入股了另一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

企查查資料顯示，2020年12月24日，上海理想萬里暉薄膜設(shè)備有限公司（以下簡稱“理想萬里暉”）發(fā)生了股權(quán)變更，原股東之一理想能源設(shè)備（上海）有限公司退出，新增中微半導(dǎo)體、三峽綠色產(chǎn)業(yè)（山東）股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海毅達鑫業(yè)一號股權(quán)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）等股東，其注冊資本從8455.33萬元增至1.46億元。

資料顯示，理想萬里暉前身是理想能源PECVD事業(yè)部，2012年經(jīng)過拆分重組，于2013年完成注冊。2020年，理想萬里暉完成A+輪融資，并落戶上海臨港新片區(qū)。

官網(wǎng)介紹稱，理想萬里暉主營太陽能、泛半導(dǎo)體和半導(dǎo)體高端PECVD裝備，系列光伏和AMOLED顯示等領(lǐng)域高端PECVD系列產(chǎn)品多次打破國外壟斷、填補國內(nèi)空白。理想萬里暉表示將繼續(xù)致力于前沿高端光伏設(shè)備的研發(fā)，并將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上延伸產(chǎn)業(yè)鏈，開發(fā)大面積石墨烯和集成電路半導(dǎo)體領(lǐng)域用PECVD設(shè)備。

根據(jù)企查查資料，中微半導(dǎo)體本次認繳出資額為約563.689萬元，持有理想萬里暉3.8499%股權(quán)。
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