工業(yè)生產(chǎn)過程中常常需要對溫度、壓力、流量等各種工藝參數(shù)隨時(shí)進(jìn)行檢測和監(jiān)控，近年來隨著人們對MEMS技術(shù)的深入研究和發(fā)展，微型化、高精度成為了發(fā)展趨勢。芯感智在深耕MEMS壓力傳感器的基礎(chǔ)上，2020年推出了MEMS紅外傳感器GZT系列，2021年又重磅推出了MEMS流量傳感器GF4000系列。

GF4000系列流量傳感器采用MEMS芯片技術(shù)，利用熱力學(xué)原理，測量流道中的氣體介質(zhì)流量，具有如下特性：
- 高靈敏度，測量范圍寬

- 內(nèi)部溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)
- 高精度，高分辨率
- 質(zhì)量可靠，性能穩(wěn)定，低成本
- 響應(yīng)時(shí)間快
- 抗冷凝水

GF4000系列流量傳感器可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療電子、工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等領(lǐng)域：醫(yī)療領(lǐng)域如睡眠呼吸機(jī)、麻醉機(jī)、肺活量測試儀、IVD設(shè)備、醫(yī)院供氧系統(tǒng)等。汽車領(lǐng)域如發(fā)動機(jī)、內(nèi)燃叉車、加油機(jī)、燃料電池控制等。

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