刻蝕是半導(dǎo)體制造中十分關(guān)鍵的一環(huán),刻蝕通過(guò)物理或化學(xué)方法將硅片表面不需要的材料去除,從而將掩膜圖形正確的復(fù)制到涂膠硅片上。
刻蝕過(guò)程需要用到刻蝕機(jī)這一設(shè)備。如今,我國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域雖然還難以突破,但在刻蝕機(jī)領(lǐng)域,我國(guó)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)突圍。
中微半導(dǎo)體是我國(guó)刻蝕機(jī)領(lǐng)頭羊企業(yè),由尹志堯在2004年一手創(chuàng)建。
尹志堯是半導(dǎo)體領(lǐng)域的大佬級(jí)人物,在英特爾、應(yīng)用材料等巨頭供職的20多年。如今,應(yīng)用材料在全球刻蝕機(jī)市場(chǎng)中,以19%的占比排名第三位。
因而,尹志堯有著豐厚的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。彼時(shí),與尹志堯一同回國(guó)的,還有30多人的精英團(tuán)隊(duì)。在這群人的共同努力下,中微半導(dǎo)體在介質(zhì)刻蝕領(lǐng)域不斷深挖,成為行業(yè)新黑馬。
十余年的堅(jiān)持讓中微半導(dǎo)體成功實(shí)現(xiàn)了從65nm,到最領(lǐng)先的5nm的攻克。而且,中微半導(dǎo)體5nm刻蝕機(jī),還成功打入臺(tái)積電生產(chǎn)線。
為此,中微半導(dǎo)體成為大陸本土設(shè)備商中,唯一被臺(tái)積電認(rèn)可的廠商。
中微半導(dǎo)體的這一系列成績(jī),讓美國(guó)也感到了壓力。為搶奪中國(guó)市場(chǎng),在2015年,美國(guó)商務(wù)部解除了對(duì)中國(guó)等離子體刻蝕設(shè)備的出口管制。
中微半導(dǎo)體的突圍,與其對(duì)研發(fā)的重視離不開。
據(jù)日前IPRdaily與incoPat聯(lián)合發(fā)布的“科創(chuàng)板225家上市企業(yè)有效發(fā)明專利排行榜”顯示,中微半導(dǎo)體排在了第六位,共擁有1142項(xiàng)全球發(fā)明專利,數(shù)量可觀。
中微半導(dǎo)體每年都會(huì)投入大量的資金用于研發(fā),2019年,公司投入4.25億元用于研發(fā)。而這一年公司營(yíng)收為19.47億元,研發(fā)投入占營(yíng)收的比例為21.8%左右。
這一比例可與眾多海外科技巨頭相媲美。在巨大的研發(fā)投入之下,中微半導(dǎo)體自然能如此快取得亮眼的突破。
當(dāng)前,中微半導(dǎo)體的業(yè)績(jī)不斷改善,據(jù)中微半導(dǎo)體2020年度業(yè)績(jī)預(yù)告顯示,公司歸屬于母公司所有者凈利潤(rùn)同比至少增長(zhǎng)133.34%,為4.4億-5.2億元。
中微半導(dǎo)體的快速崛起令人矚目。但也應(yīng)該認(rèn)識(shí)到的是,目前公司規(guī)模有限,難以同半導(dǎo)體巨頭相抗衡。
而且,全球刻蝕設(shè)備市場(chǎng)正處于寡頭壟斷狀態(tài),泛林半導(dǎo)體、TEL與應(yīng)用材料三家巨頭,便占據(jù)了行業(yè)將近91%的市場(chǎng)。這給中微半導(dǎo)體的發(fā)展帶來(lái)了挑戰(zhàn)。
此外,刻蝕設(shè)備更新速度較快,中微半導(dǎo)體必須不斷攻克,保持技術(shù)領(lǐng)先。
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