柔性可穿戴設備在定制化人體健康監測以及便攜式醫療等領域發展迅速,能夠實時準確監測人體各種生理信號(心率、運動、聲音和體溫變化等),能及時守護人體健康,極大地提升人類的生活質量。然而,對于下一代生物醫學設備的應用來說,迫切需要具有長巡航時間、高操作安全性和機械靈活性的可穿戴柔性傳感器系統。在不需要外部電源的情況下,對生理信號進行準確、連續的檢測是實現可穿戴電子產品優化和快速發展的關鍵技術。以上應用不僅需要傳感器能夠準確、連續地檢測生理信號,而且不需要龐大的連接線或外部電源的接入。自供電集成設備能夠將一些環境能量高效地轉化為電能,在為實現生物信號實時檢測的同時,還能夠實現多余能量的存儲,無需外部供能就能進行持續的人體健康信息實時檢測,彌補了傳統柔性可穿戴設備存在的不足,為下一代生物醫學設備的發展和真正實現柔性設備的便攜式長續航應用提供了新的思路。
最近,中科院半導體所半導體超晶格國家重點實驗室王麗麗副研究員和沈國震研究員與吉林大學等單位合作,設計了一種新型MXene/BP半導體薄膜基自供電柔性感知集成系統。該自供電柔性感知集成系統是由柔性壓力電子器件、激光直寫微型超級電容器和柔性太陽能電池構成。其中微型超級電容器具有較高的能量存儲能力,用以驅動柔性壓力傳感器工作,補償光照明的間歇性。不僅能夠在光照下工作,在黑暗的條件下也能夠實現長時間正常運行,真正實現自供電柔性人體健康檢測功能(圖1)。該成果近期以題為“Flexible Self-Powered Integrated Sensing System with 3D Periodic Ordered Black Phosphorus @MXene Thin-Films”發表在Adv. Mater. (2021,2007890, DOI: 10.1002/adma.202007890)上。
圖1自供電柔性傳感集成系統應用于人體監測監控
此外,王麗麗副研究員、沈國震研究員還提出了將MXene通過強的氫鍵與聚乙烯醇(PVA)相結合形成柔性半導體薄膜,來設計高度穩定的電子皮膚。將該柔性電子器件應用于活體小鼠實驗中,研究結果顯示出良好的生物相容性和功能(圖2)。這項工作表明,使用電子技術重現皮膚的特征為未來的軟機器人和醫學修復提供了新的方向。該成果以題為“Highly-stable polymer-crosslinked 2D MXene-based flexible biocompatible electronic skins for in vivo biomonitoring”發表在Nano Energy (2021,84,105921.DOI //doi.org /10.1016 /j.nanoen.2021.105921)上。
圖2可植入柔性電子器件在活體實驗中的應用
同時,該研究團隊又實現了MXene材料在電子皮膚中的電極和活性層應用通過真空過濾技術,在三維聚丙烯腈(PAN)網絡的頂面和底面集成幾層MXene電極,形成穩定的電子皮膚。柔性器件性能優于其他電極,具有出色的器件性能,高靈敏度為104 kpa-1,快速響應/恢復時間為30/20 ms,低檢測限為1.5 pa。此外,該電極和構造的基于MXene/PAN的柔性壓力傳感器表現出良好的機械穩定性,并且可以經受240次彎曲循環。這種堅固、靈活的器件可以像拼圖或折紙一樣放大或折疊,并從2D結構轉換為3D結構(圖3)。該成果以題為“Controlled Assembly of MXene Nanosheets as an Electrode and Active Layer for High‐Performance Electronic Skin”發表在Adv.Funct.Mater.(2021,2010533, DOI: https: // doi.org / 10.1002 /adfm.202010533)上。
圖3可折疊柔性電子器件
基于以上研究成果,沈國震研究員領導的研究團隊應邀撰寫了多篇基于柔性傳感器的人機交互系統、基于柔性電子皮膚的可穿戴植入/介入醫療器件的綜述論文,系統的介紹了相關領域的發展現狀和未來發展趨勢。部分研究成果發表在Adv. Funct. Mater. (2021, DOI: //10.1002/adfm.202008936)以及Adv. Mater. Technol.(2021, DOI: // 10.1002 /admt.202100107)等期刊上。
責任編輯:lq
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原文標題:半導體所在柔性電子器件與集成系統方面取得系列進展
文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
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