智能物聯時代加速推進，MEMS及先進傳感器技術和應用新趨勢不斷涌現，物聯網應用細分領域不斷完善，設備之間的連接越發(fā)暢通無阻，各類電子設備的智能化發(fā)展越發(fā)明顯，MEMS和傳感器的角色顯得越來越重要。

恰逢SEMICON China同期，MEMS及先進傳感器技術論壇于3月19日在上海嘉定隆重舉行，本次論壇由國家智能傳感器創(chuàng)新中心、MEMS and Sensors Industry Group (MSIG)和上海智能傳感器產業(yè)園主辦，中國傳感器與物聯網產業(yè)聯盟承辦。百余位政產學研領袖和專家齊聚嘉定，共議MEMS先進傳感器技術創(chuàng)新和應用、先進封裝制造與特色工藝，PZT壓電薄膜MEMS的技術方向和產業(yè)應用，共同探討MEMS技術趨勢發(fā)展方向。

論壇伊始，東道主上海嘉定工業(yè)區(qū)開發(fā)（集團）有限公司副總經理、上海智能傳感器產業(yè)園總經理許利萍，致歡迎詞的同時介紹了上海市唯一專注于智能傳感器產業(yè)的特色園區(qū)的戰(zhàn)略布局、規(guī)劃及發(fā)展；緊接著，MEMS and Sensors Industry Group的Executive Director，Tim Brosnihan視頻分享了全球MEMS的最新趨勢及MSIG的介紹；隨后，國家智能傳感器創(chuàng)新中心副總裁朱佳騏，分享智能傳感產業(yè)發(fā)展和創(chuàng)新中心的產業(yè)布局。

在上午的主題演講環(huán)節(jié)，中芯集成電路制造（紹興）有限公司EVP劉煊杰、盛美半導體設備（上海）股份有限公司總裁王堅、傲睿科技董事長關一民、TE Connectivity傳感器事業(yè)部亞太區(qū)首席現場應用工程經理楊永輝分別就MEMS芯片的大規(guī)模制造和特色工藝平臺建設、傳感器在半導體設備中的技術應用、智能微流控、濕法工藝等技術、設備、應用等角度介紹全球“缺芯”的大背景下，MEMS及先進傳感器所面臨的挑戰(zhàn)和機遇。隨后的圓桌對話環(huán)節(jié)，上海微技術工業(yè)研究院高級副總裁古元冬和利揚芯片董事總經理張亦鋒、邁柯博科技(上海)有限公司總經理謝平、廣東奧迪威傳感科技股份有限公司總經理張曙光、微傳智能科技董事長兼總經理萬虹，共同展望我國MEMS產業(yè)發(fā)展趨勢、市場驅動力和應用布局。

PZT薄膜壓電MEMS技術是智能傳感器領域的重要發(fā)展方向，是充滿技術多樣性和產業(yè)機會的藍海領域。下午的PZT專場從工藝、技術、材料、設備等角度進行全方位的解讀。國家智能傳感器創(chuàng)新中心副總裁焦繼偉，中國科學院上海硅酸鹽研究所研究員、博士生導師梁瑞虹，京瓷（中國）商貿有限公司半導體零部件陶瓷材料設計中心部長福留雄二，Oxford Instruments China Country Manager Terry Chen，上海交通大學教授郭益平，愛發(fā)科（蘇州）技術研究開發(fā)有限公司MEMS項目負責人、高級工程師岳磊，分別從PZT薄膜壓電MEMS工藝平臺的建設、壓電陶瓷材料、PZT壓電薄膜量產制造技術等技術原理、應用趨勢、設備制造。

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主題演講

如今正處于智能化變革的關鍵時期，智能傳感器賦能數字時代更多的可能，傳感器產業(yè)生態(tài)體系的建設需要同樣需要產業(yè)技術平臺和政策的支撐和引領。國家智能傳感器創(chuàng)新中心擁有先進傳感器測試服務平臺和數據庫，建設中的先進傳感器工藝制造平臺將為產業(yè)帶來更多的“芯”機遇。上海智能傳感器產業(yè)園是上海首批特色產業(yè)園，也是上海市集成電路產業(yè)“一體兩翼”布局中“北翼”的重心所在。產業(yè)園聚焦傳感器及其應用，通過政策扶植、平臺服務和生態(tài)構建幫助落戶企業(yè)突破核心芯片、元器件、軟件、智能儀器儀表等基礎技術來彌補智能傳感器“中國芯”短板。未來上海智能傳感器產業(yè)園將統(tǒng)籌各方力量，以智能傳感器為核心，從關鍵技術節(jié)點出發(fā)，集聚覆蓋全產業(yè)鏈的優(yōu)質企業(yè)，共同探索MEMS及智能傳感產業(yè)發(fā)展機遇。

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