二氧化碳激光器,可稱“隱身人”,因為它發出的激光波長為10.6微米,“身”處紅外區,肉眼不能覺察,它的工作方式有連續、脈沖兩種。人們已用它來“打”出原子核中的中子。二氧化碳激光器的出現是激光發展中的重大進展,也是光武器和核聚變研究中的重大成果。
最普通的二氧化碳激光器是一支長1米左右的放電管,它產生的激光是看不見的,在磚上足以把磚頭燒到發出耀眼的白光。二氧化碳激光器作為目前連續輸出功率較高的一種激光,被廣泛應用到材料加工、醫療使用、軍事武器、環境量測等各個領域。
在激光的發展和應用方面,CO2激光器的制作和應用較早也較多,早在1970年代末期,就有從國外直接進口CO2激光器,從事工業加工和醫療等應用。從80年代末期開始,CO2激光器被廣泛引進并應用在在材料加工領域。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及,但激光畢竟是一種新的工具,激光加工技術亦不同于傳統的加工方法,所以工業界在引進使用CO2激光器的過程中,曾經遇到各種各樣的問題,給很多廠商造成不少困擾。
早期進口和制造的CO2激光器,均為小于200瓦的低功率激光器。主要為電子工業(如電阻制造、IC標志)、非金屬加工業(竹木雕、服飾、制鞋、飾品制造等)和部分醫療和研究單位所使用。
將CO2激光束透過一個光罩,聚焦于IC或半導體組件上作標志,這種CO2激光主要皆為TEA脈沖式。但隨著標志加工速度的要求越來越快,加工品質的要求越來越高,以及固體激光的快速發展,最近新引進的標志加工用激光,已逐漸被固體的YAG激光所取代。用鏤空的銅模罩住要雕刻的非金屬材料,然后用CO2激光束在銅模上作快速掃描,即可在該材料上雕刻出復雜的圖案。雕刻對象為木材、壓克力、皮革和紙張等,另外也可以應用到雕刻特有的手工藝品,如竹片雕刻、軟木浮雕、貝殼浮雕等。最近幾年已轉型用密封式CO2激光,直接以掃描振鏡作少量多變化的禮品雕刻,以提高產品的附加價值。
CO2激光器是一種比較重要的氣體激光器。這是因為它具有一些比較突出的優點:
1、它有比較大的功率和比較高的能量轉換效率。一般的閉管CO2激光器可有幾十瓦的連續輸出功率,這遠遠超過了其他的氣體激光器,橫向流動式的電激勵CO2激光器則可有幾十萬瓦的連續輸出。此外橫向大氣壓CO2激光器,從脈沖輸出的能量和功率上也都達到了較高水平,可與固體激光器媲美。CO2激光器的能量轉換效率可達30~40%,這也超過了一般的氣體激光器。
2、它是利用CO2分子的振動-轉動能級間的躍遷的,有比較豐富的譜線,在10微米附近有幾十條譜線的激光輸出。近年來發現的高氣壓CO2激光器,甚至可做到從9~10微米間連續可調諧的輸出。
3、它的輸出波段正好是大氣窗口(即大氣對這個波長的透過率較高)。除此之外,它也具有輸出光束的光學質量高,相干性好,線寬窄,工作穩定等優點。因此它在國民經濟和國防上都有許多應用,如應用于加工(焊接、切割、打孔等),通訊、雷達、化學分析,激光誘發化學反應,外科手術等方面。
因為二氧化碳激光器能達到的功率非常高,經常用來做工業的切割機,而低功率的激光器常常用來雕刻。此外,由于水在二氧化碳激光器的發光頻率極容易揮發,因此也常常被用來做激光嫩膚,磨皮等激光手術。
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