據(jù)麥姆斯咨詢介紹,偏振圖像傳感器(Polarization Image Sensor),或稱為偏光圖像傳感器,能夠?qū)⑷搜蹮o(wú)法察覺的光的偏振特性可視化。這項(xiàng)成像技術(shù)不僅為制造業(yè)和智能交通提供了一個(gè)很有前景的應(yīng)用潛力,而且還將其優(yōu)勢(shì)進(jìn)一步擴(kuò)展到醫(yī)療、安防等領(lǐng)域。
成像技術(shù)并不僅僅在于創(chuàng)建我們可以看到的視覺圖像,在索尼半導(dǎo)體解決方案集團(tuán)(Sony Semiconductor Solutions Group,簡(jiǎn)稱:SSS集團(tuán)),我們還追求捕捉人眼無(wú)法看到的圖像,并應(yīng)對(duì)種種成像技術(shù)挑戰(zhàn)。
偏振圖像傳感器可以檢測(cè)偏振光——這是我們?nèi)庋劭床灰姷墓獠ㄕ駝?dòng)方向,輕松實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)方法難以做到的任務(wù),例如物體形狀識(shí)別、反射清除、變形及劃痕檢測(cè)。索尼(Sony)研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi)汛е鴤ゴ蟮南敕ㄔ谶@項(xiàng)傳感技術(shù)研究中努力工作。他們鉆研了這個(gè)“深邃”的偏振領(lǐng)域,全球首創(chuàng)了半導(dǎo)體芯片和偏振濾光片的制造工藝融合,實(shí)現(xiàn)了工業(yè)級(jí)偏振圖像傳感器的量產(chǎn)。這為制造業(yè)、智能交通系統(tǒng)(ITS)、醫(yī)療、安防,以及科學(xué)研究等領(lǐng)域的發(fā)展提供了巨大潛力。近期,該研發(fā)團(tuán)隊(duì)的4位成員講述了他們?nèi)绾伍_發(fā)這種偏振傳感技術(shù),揭示了偏振光帶來(lái)的未來(lái)可能性。
捕捉人眼不可見的偏振光使我們能夠顯著提高制造業(yè)的檢測(cè)精度
問:什么是偏振和偏振圖像傳感器?
Yamagishi:光具有波動(dòng)性,可以用振幅(亮度)、波長(zhǎng)(顏色)、波的傳播方向、波的振動(dòng)方向(偏振)等參數(shù)來(lái)描述。
簡(jiǎn)單地說(shuō),我們?nèi)祟愌坨R只能感知光的部分參數(shù),例如光的亮度、顏色和傳播方向,但光波的振動(dòng)方向——偏振,人眼無(wú)法直接感知。
偏振圖像傳感器能夠捕捉光波的振動(dòng)方向,可用于檢測(cè)光照射到物體表面時(shí)振動(dòng)方向的變化,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)物體形狀識(shí)別、消除水或玻璃表面上的干擾反射光以看清另一側(cè)的物體。
問:偏振圖像傳感器的用途有哪些?
Kato:目前,制造業(yè)和智能交通系統(tǒng)已經(jīng)進(jìn)行評(píng)估并導(dǎo)入偏振圖像傳感器。在制造業(yè)方面已經(jīng)有部分應(yīng)用,例如玻璃或透明塑料產(chǎn)品的變形檢查、金屬產(chǎn)品的目視檢查,以及顯微鏡等。索尼研發(fā)的集成4向(0°、45°、90°和135°)偏振濾光片的圖像傳感器逐步將應(yīng)用范圍擴(kuò)展到新的領(lǐng)域,例如在制造業(yè)中,傳統(tǒng)的黑色物體檢查是使用肉眼完成的,這產(chǎn)生很高的檢查失敗率,而使用偏振圖像傳感器可以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)的自動(dòng)化。又如,在以前需要旋轉(zhuǎn)偏振濾光片并拍攝多張照片以識(shí)別缺陷部件的地方,偏振圖像傳感器可以一次完成任務(wù)。針對(duì)智能交通系統(tǒng),偏振圖像傳感器在去除車輛擋風(fēng)玻璃上的反射光方面具有價(jià)值。此外,越來(lái)越多的行業(yè)對(duì)偏振圖像傳感器表現(xiàn)出興趣,例如醫(yī)療、科學(xué)研究、安防、移動(dòng)設(shè)備等。
問:圖像傳感器和偏振濾光片必須解決哪些困難?
Kato:工業(yè)傳感應(yīng)用所需要的不是人眼覺得美麗的影像,而是定量數(shù)據(jù),從而可以判斷產(chǎn)品成色、有無(wú)附著物或劃痕等異物、物體識(shí)別等。傳感技術(shù)依賴于對(duì)比度的變化。傳統(tǒng)的圖像傳感器識(shí)別的是亮度和顏色的對(duì)比度變化。對(duì)于偏振圖像傳感器,還有一個(gè)附加參數(shù),即偏振光的對(duì)比度。這有助于實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的檢測(cè)。傳統(tǒng)方法使用偏振濾光片獲得偏振信息,需要拍攝多次,每次旋轉(zhuǎn)物體或偏振濾光片。由于需要使用機(jī)械裝置來(lái)旋轉(zhuǎn)偏振濾光片,因此成為一個(gè)耗時(shí)的過(guò)程,這使得將偏振應(yīng)用于生產(chǎn)線的檢查并不實(shí)際。索尼的偏振圖像傳感器集成了4向偏振濾光片,可實(shí)現(xiàn)一次拍攝即可獲得偏振圖像。這意味著可以實(shí)時(shí)獲取偏振信息。
在研發(fā)過(guò)程中遇到超出想象的困難,團(tuán)隊(duì)的創(chuàng)造力和問題解決能力是前進(jìn)的動(dòng)力
問:這是一個(gè)沒有先例的偏振圖像傳感器研發(fā)項(xiàng)目,你們的理念是什么?
Yamazaki:由于我們研發(fā)的產(chǎn)品是市面上沒有的,具備世界首創(chuàng)微納結(jié)構(gòu)的偏振圖像傳感器。因此,很多方面都是全新的體驗(yàn)。
例如,我們必須弄清楚圖像傳感器需要什么樣的偏振元件,應(yīng)該測(cè)量什么才能獲得所需的偏振信息,以及我們應(yīng)該達(dá)到什么樣的精度水平。在偏振數(shù)據(jù)處理方面,我們與索尼研發(fā)部門的偏振算法開發(fā)團(tuán)隊(duì)密切合作,通過(guò)文獻(xiàn)調(diào)查和反復(fù)的偏振模擬,以及對(duì)反射光去除和物體形狀識(shí)別處理數(shù)據(jù)的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試,才最終確定了這款偏振圖像傳感器的特性。
另外,偏振圖像傳感器有一項(xiàng)固有特性,那就是消光比。它是指示偏振測(cè)量準(zhǔn)確度的參數(shù)。消光比越高,精度就越高。但是,它與透光率(靈敏度)成反比。我們希望盡可能地提高消光比,但又不想降低透光率。這是兩種相反的特性,但是由于我們的努力,最終達(dá)到了目標(biāo)設(shè)定的消光比,同時(shí)兼顧了透光率。
Kato:關(guān)于結(jié)構(gòu),下圖展示了偏振圖像傳感器的截面圖。這張圖中條紋的位置就是偏振濾光片的部分,它是一種將金屬加工成線性狹縫的光柵(超薄金屬板等間距排成陣列)。
由于偏振濾光片直接集成于傳感器芯片,并且位于微鏡頭下方,因此索尼的偏振圖像傳感器能夠減少由像素串?dāng)_問題造成的數(shù)據(jù)誤差,
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問:你們?nèi)绾慰朔獗群屯腹饴实臋?quán)衡關(guān)系問題?
Yamazaki:最初,我們從工藝穩(wěn)定性和可靠性的角度出發(fā),采用氧化膜填充偏振濾光片的超薄金屬板間隙,但結(jié)果證明這種方法無(wú)法解決消光比和透光率的權(quán)衡關(guān)系。理論上,只要使偏振濾光片的寬度和間隙遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于光的波長(zhǎng)(即要求更細(xì)的光柵和更窄的間隙),就能提高消光比和透光率的特性,但在金屬加工技術(shù)上存在限制。另外,我們注意到因?yàn)橥ㄟ^(guò)氧化膜時(shí),光的波長(zhǎng)變短,如果使用以氧化膜填充偏振濾光片的結(jié)構(gòu)間隙,則需要進(jìn)一步縮小偏振濾光片的寬度和間隙。
然后,我們想到了把偏振濾光片的間隙變成空氣層的氣隙結(jié)構(gòu)。這種創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)解決了消光比和透光率的權(quán)衡關(guān)系問題。一個(gè)關(guān)鍵問題得到了解決,但還有一系列其他挑戰(zhàn)等待著我們。例如,需要確立氣隙結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和可靠性,利用納米級(jí)加工實(shí)現(xiàn)偏振濾光片的多層結(jié)構(gòu),并將這種極小的結(jié)構(gòu)集成在圖像傳感器的不平坦表面上。
Osawa:在量產(chǎn)方面,需要保證這種微納結(jié)構(gòu)達(dá)到一定的質(zhì)量水平。如果以500萬(wàn)像素圖像傳感器為例,則必須為500萬(wàn)個(gè)像素都實(shí)施這種微納加工并確保均一的品質(zhì)。保持高質(zhì)量和成品率是一項(xiàng)非常具有挑戰(zhàn)性的任務(wù),但是同時(shí),這也是一直以來(lái)索尼備受客戶好評(píng)的重要原因。因此,就像我們的其它圖像傳感器一樣,我們希望確保偏振圖像傳感器也具有出色的質(zhì)量。
問:作為全球首創(chuàng)的偏振圖像傳感器,在產(chǎn)品評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)上難度有多大?
Yamagishi:我所在的團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)建立偏振圖像傳感器的評(píng)估方法。一般情況下,光源產(chǎn)生的光只要不通過(guò)偏振濾光片,就會(huì)被認(rèn)為是非偏振光。因此,我一開始認(rèn)為只要在常規(guī)圖像傳感器的評(píng)價(jià)光源里安裝上偏振濾光片和轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu),就能簡(jiǎn)單地開發(fā)出偏振圖像傳感器的評(píng)價(jià)測(cè)試環(huán)境。但實(shí)際實(shí)驗(yàn)后發(fā)現(xiàn),偏振圖像傳感器像素輸出結(jié)果與設(shè)想的完全不同,測(cè)試開發(fā)非常不順利。然后我們對(duì)光源本身進(jìn)行了細(xì)致的調(diào)查,發(fā)現(xiàn)該光源的偏光狀態(tài)就不是均勻的,其發(fā)出的光有很少一部分就存在偏振性。
市場(chǎng)上銷售的光源在光強(qiáng)、均勻性等方面有相應(yīng)的規(guī)格參數(shù),但沒有提供偏振特性,因此廠商自然也不會(huì)保證偏振品質(zhì)。即使是相同產(chǎn)品型號(hào)的光源,因?yàn)闆]有明確規(guī)格,個(gè)體間的偏振狀態(tài)也是存在差異的(有偏差)。這些問題造成我們不僅得研究偏振圖像傳感器本身的偏振問題,還必須了解光源的偏振狀態(tài)。此外,我們?cè)谠u(píng)價(jià)中還發(fā)現(xiàn)經(jīng)判斷沒有問題而實(shí)際被用于評(píng)價(jià)的光源,其偏振狀態(tài)會(huì)隨著時(shí)間的推移而發(fā)生改變。因此在評(píng)估測(cè)試過(guò)程中,我們?yōu)榇颂岢隽艘幌盗械膽?yīng)對(duì)措施。
同樣地,偏振濾光片在購(gòu)買后首先需要進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)證。如果它們沒有達(dá)到預(yù)期的水平,我們需要采購(gòu)更多種的偏振濾光片并重復(fù)最初的過(guò)程,這使我們的困難遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)最初的預(yù)期。
Osawa:雖然設(shè)計(jì)和制造過(guò)程很重要,但還有一個(gè)同樣重要的因素,那就是對(duì)批量生產(chǎn)的晶圓進(jìn)行裝運(yùn)前檢查,以確保產(chǎn)品質(zhì)量。這是我和Yamagishi密切合作的方面,我們利用研究部門在原型制作中開發(fā)的專業(yè)知識(shí)和技術(shù)經(jīng)驗(yàn),在索尼半導(dǎo)體制造公司(Sony Semiconductor Manufacturing Corporation)熊本技術(shù)中心的工程師幫助下,改進(jìn)檢查工序,不斷積累檢查數(shù)據(jù),最終確立了索尼偏振圖像傳感器的高品質(zhì)檢測(cè)手段。
話雖這么說(shuō),但它并不像聽起來(lái)那么簡(jiǎn)單。我們經(jīng)常會(huì)遇到?jīng)]有按預(yù)期得到測(cè)試結(jié)果的情況。每次發(fā)生這種情況時(shí),我們都會(huì)分析評(píng)估環(huán)境、傳感器屬性等因素,以確定失敗的原因。
索尼在普通CMOS圖像傳感器方面擁有豐富的數(shù)據(jù)和專業(yè)知識(shí),但在偏振特性方面幾乎沒有積累,傳統(tǒng)方法往往以失敗告終。從頭開始創(chuàng)造新的事物是一場(chǎng)巨大的斗爭(zhēng)。
幸運(yùn)的是,我們有元器件、設(shè)備、光學(xué)等方面的專家,他們能夠快速正確地進(jìn)行改進(jìn),在將高質(zhì)量的偏振圖像傳感器推向市場(chǎng)方面做出了無(wú)價(jià)的貢獻(xiàn)。
偏振圖像傳感器市場(chǎng)仍處于早期階段,市場(chǎng)和應(yīng)用面臨考驗(yàn)
問:偏振圖像傳感器可以提供哪些應(yīng)用解決方案?
Kato:在制造業(yè)方面,由于黑色物體和透明體對(duì)比度很低,普通相機(jī)難以捕捉和檢測(cè),因此過(guò)去都是以人眼目視或抽樣方式進(jìn)行檢查。
索尼的偏振圖像傳感器使上述類型的檢查自動(dòng)化成為可能,并且還降低了誤識(shí)別的機(jī)率。此外,它還解決了必須旋轉(zhuǎn)偏振濾光片的耗時(shí)、逐點(diǎn)識(shí)別缺陷等問題。如果采用偏振圖像傳感器,能夠?qū)崿F(xiàn)“一拍即測(cè)”,獲得視場(chǎng)內(nèi)清晰的全貌。這將有助于減少檢查所需的時(shí)間和人力。
其它使用偏振圖像傳感器的應(yīng)用解決方案還包括反射光去除、3D識(shí)別、材料識(shí)別、透明材料的失真檢測(cè)等。
偏振圖像傳感器的應(yīng)用范圍非常廣泛,不能簡(jiǎn)單地用幾句話來(lái)描述。索尼網(wǎng)站上提供更多信息,包括視頻和白皮書等資料。
目前,很多機(jī)器視覺相機(jī)已經(jīng)搭載了我們的偏振圖像傳感器,并開始在市場(chǎng)上銷售了,歡迎感興趣的朋友試用和評(píng)價(jià)。
問:偏振圖像傳感器的未來(lái)應(yīng)用趨勢(shì)如何?
Kato:若要獲取偏振信息,光源的控制很重要。我們預(yù)計(jì)將先從能控制光源的工廠開始導(dǎo)入偏振圖像傳感器。
對(duì)于制造業(yè)而言,偏振圖像傳感器有望在檢查中得到更多應(yīng)用。潛在地,偏振圖像傳感器可以對(duì)以前無(wú)法自動(dòng)化或使用普通圖像傳感器無(wú)法完成的此類檢查做出重大貢獻(xiàn)。
另外在智能交通系統(tǒng)方面,偏振圖像傳感器可以提供的應(yīng)用解決方案是為去除車窗上的反射光。傳統(tǒng)的偏振濾光片對(duì)于消除某些車型的反射是無(wú)效的。我聽說(shuō)有一些智能交通系統(tǒng)項(xiàng)目由于這個(gè)問題而沒法實(shí)現(xiàn)。我希望索尼的偏振圖像傳感器能夠在這種情況下取得突破。
問:如果偏振圖像傳感器與人工智能(AI)相結(jié)合,未來(lái)會(huì)發(fā)生什么?
Yamagishi:對(duì)于人工智能而言,有更多的數(shù)據(jù)作為判斷依據(jù)總是有利的。從這個(gè)意義上來(lái)說(shuō),增加“偏振”這個(gè)維度的信息是非常有幫助的。而且,在反射光產(chǎn)生干擾的場(chǎng)景中,偏振傳感技術(shù)可以過(guò)濾掉不需要的信息,這是一個(gè)強(qiáng)大的優(yōu)勢(shì)。通過(guò)偏振圖像傳感器去除不需要的信息,可以大幅提高人工智能的判斷精度。因此,偏振圖像傳感器與人工智能結(jié)合,無(wú)論是出于增加信息的目的,還是便于篩選的目的,都非常適合。
類似地,將偏振圖像傳感器與其它類型的傳感器結(jié)合,可能有助于進(jìn)一步提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性,例如通過(guò)多光譜傳感技術(shù)檢測(cè)肉類的新鮮度時(shí),人工智能可以利用波長(zhǎng)和偏振信息來(lái)做出判斷,大大提升檢測(cè)精度。
Kato:我也認(rèn)同偏振圖像傳感器和人工智能是非常好的搭配。因?yàn)檫@樣能獲取更多光的信息,原理上可以提升識(shí)別精度。
我們?cè)枚喾N傳感器+深度學(xué)習(xí)技術(shù)比較人、車輛、透明瓶等物體的識(shí)別率,發(fā)現(xiàn)在測(cè)試環(huán)境中,無(wú)論什么情況下,都是偏振圖像傳感器的識(shí)別率更高。
為了將偏振圖像傳感器和人工智能結(jié)合并應(yīng)用在實(shí)際場(chǎng)景中,除了需要圖像數(shù)據(jù)處理的知識(shí)外,還必須對(duì)“偏振”有一定程度的理解。這使得技術(shù)難度或許提高,但正因如此,也是一個(gè)充滿商機(jī)的嶄新領(lǐng)域。
研發(fā)和量產(chǎn)并不是終點(diǎn),我們將滿足不同客戶的需求,拓展偏振傳感技術(shù)潛力
問:今后,你們還將應(yīng)對(duì)哪些挑戰(zhàn)?
Yamazaki:偏光圖像傳感器有其獨(dú)有的優(yōu)點(diǎn),但目前還有一些缺陷,例如偏振圖像傳感器因?yàn)榧闪似駷V光片而導(dǎo)致感光靈敏度和圖像分辨率受損。所以,我們今后想開發(fā)一種感光靈敏度和圖像分辨率不會(huì)下降的偏振圖像傳感器,從而拓寬該傳感器的應(yīng)用范圍。
從結(jié)構(gòu)上來(lái)說(shuō),各種規(guī)格的圖像傳感器上都可以集成偏振濾光片。隨著未來(lái)對(duì)偏振傳感技術(shù)需求的增長(zhǎng),對(duì)偏振圖像傳感器的需求將會(huì)多樣化。因此,我們會(huì)嘗試開發(fā)高品質(zhì)的測(cè)試環(huán)境和光源技術(shù),確保產(chǎn)品的高質(zhì)量。
Osawa:最近,我與客戶交流的機(jī)會(huì)越來(lái)越多,由此也傾聽到客戶面臨的各種挑戰(zhàn)。憑借索尼強(qiáng)大的傳感器系列產(chǎn)品,包括偏振圖像傳感器,我們希望能夠幫助客戶實(shí)現(xiàn)最佳的應(yīng)用解決方案。如果在尋找解決方案時(shí)遇到難題,我們會(huì)以此為契機(jī)開發(fā)新的技術(shù),為一個(gè)更加美好的世界而做出貢獻(xiàn)。
Kato:我相信隨著傳感技術(shù)的不斷發(fā)展,將使得機(jī)器代替人類完成各項(xiàng)任務(wù),從而將人類從單純的作業(yè)任務(wù)中解放出來(lái)。這將幫助我們擁有更多時(shí)間來(lái)豐富生活。但是,像這種復(fù)雜的偏振傳感技術(shù),如果很難導(dǎo)入實(shí)際生活和生產(chǎn)中,那么技術(shù)的價(jià)值就大打折扣了。因此,我認(rèn)為必須關(guān)注并創(chuàng)建讓客戶順暢使用這些技術(shù)的環(huán)境。技術(shù)被實(shí)際使用之后才體現(xiàn)價(jià)值。因此,我們會(huì)努力推動(dòng)新技術(shù)的實(shí)用化。
原文標(biāo)題:索尼講述首款偏振圖像傳感器的研發(fā)歷程
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