在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

使用無掩模濕法蝕刻LED的納米圖案雙層ITO電極

華林科納半導體設備制造 ? 來源:華林科納半導體設備制造 ? 作者:華林科納半導體設 ? 2022-02-15 16:12 ? 次閱讀

引言

LED器件發出的光子往往會被氧化銦錫(ITO)透明電極與空氣/樹脂界面的全內反射(TIR)捕獲在LED芯片內,導致光提取效率較低。通過在氧化銦錫電極表面上形成納米尺度的圖案,可以有效地降低該界面處的全內反射,該圖案的尺寸小于發射光的波長,以允許更多的光從發光二極管發射出去。

我們提出了一種雙層透明氧化銦錫(ITO)頂部電極方案,并演示了GaN基發光二極管光輸出功率的提高。所提出的雙層結構由具有隨機分布的球形納米圖案的層和預退火底層組成,所述隨機分布的球形納米圖案僅通過無掩模濕法蝕刻工藝獲得,所述預退火底層用于保持電極的電流擴散。觀察到表面形貌和光電性能取決于蝕刻持續時間。該電極顯著提高了氮化鎵基發光二極管的光輸出功率,增強因子為2.18在100毫安時,與參考發光二極管相比,電氣性能沒有下降。

實驗

為了比較本方法中的光提取效率,我們制備了具有如下三種類型ITO電極的發光二極管:(1)初始厚度為400納米的單層電極(表示為SL400);(2)初始厚度為800納米的單層電極(表示為SL800);(3)雙層電極,具有初始厚度為400納米的頂層和初始厚度為400納米的底層(表示為DL400(頂部)/400(底部))。雙層納米結構氧化銦錫電極(DL400/400)通過首先沉積400納米厚的底部氧化銦錫層,然后在空氣中于600℃退火1分鐘來制造,使得該層能夠抵抗后續的濕法蝕刻工藝。厚度為400納米的第二氧化銦錫層沉積在退火的氧化銦錫層上。納米結構的氧化銦錫層是通過將沉積的第二氧化銦錫層浸入用去離子水稀釋(1∶6)的緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)溶液中而形成的。通過在BOE溶液中蝕刻0、20、40、60、90和120秒來控制表面納米結構,以觀察電極形態的演變。蝕刻后,氧化銦錫層在空氣中于600℃退火1分鐘。對于單層納米結構的氧化銦錫電極(SL400和SL800),在與雙層氧化銦錫頂部電極相同的條件下圖案化沉積層和納米結構表面。

利用金屬有機化學氣相沉積系統,在藍寶石襯底上生長了由未摻雜氮化鎵、摻硅氮氮化鎵、銦鎵氮/氮化鎵多量子阱有源層和摻鎂磷氮化鎵組成的藍色發光二極管外延層。采用電感耦合等離子體臺面刻蝕法制作了300×300 μm芯片尺寸的藍色發光二極管器件。通過電子束蒸發沉積鈦/金(厚度為50/200納米)層作為n型電極。p-GaN層的歐姆接觸是通過電子束蒸發將p-接觸透明銅銦氧化物(3 nm) /ITO電極沉積到p-GaN上來實現的,并且該膜隨后在純氧環境中在600℃下退火1分鐘。通過電子束蒸發在氧化銦錫透明電極上沉積鉻/金(50/200納米)焊盤電極,完成了發光二極管結構。

結果和討論

我們已經成功地展示了具有這種雙層ITO電極的超高亮度和穩定開啟電壓的ITO/GaN薄膜LED。圖1示出了具有單層(圖1(a))和雙層(圖1(b)) ITO電極的發光二極管的示意圖。單層和雙層設計都具有納米結構頂層,該頂層通過浸漬濕法蝕刻工藝圖案化,以最小化全內反射的光俘獲。對于雙層氧化銦錫,額外的致密氧化銦錫層被預沉積并在頂部圖案化層下方退火,以保持良好的整體面內電子傳導。

poYBAGILYImAKICTAAA9IAwfY8o076.jpg

圖3(a)示出了具有不同浸蝕時間的SL400、SL800和DL400/400電極的薄層電阻。在60秒的蝕刻時間內,SL400的薄層電阻從20歐姆/平方顯著增加到250歐姆/平方。即使在蝕刻120秒后,在SL800中也沒有觀察到如此巨大的薄層電阻跳躍;薄層電阻保持低至50歐姆/平方。這表明SL400中的大部分400納米氧化銦錫層在60秒后被蝕刻掉,而在SL800中,有限厚度的氧化銦錫保持未被蝕刻,因此是良好的電流擴散層。另一方面,即使在120秒的最長蝕刻之后,DL400/400 ITO電極的薄層電阻也僅從20歐姆/平方略微增加到22歐姆/平方。這些結果證明了氧化銦錫的薄層電阻很大程度上受蝕刻的影響,并且可以通過額外的預沉積和退火底層成功地保持較低,該底層用作有效的電流擴散層。

為了確定有效電流擴散的最佳厚度,我們還研究了底部氧化銦錫厚度對雙層電極整體薄層電阻的影響。

由于BOE溶液在沉積(非晶)的頂部氧化銦錫層和退火的底部氧化銦錫(多晶)[10]之間具有非常好的蝕刻選擇性,所以在濕浸蝕刻之后,底部層被期望保持幾乎完整。我們通過制造發光二極管器件和增加DL400/400電極上的濕浸蝕刻時間來驗證這一點,之后我們測量了它們的伏安特性(圖3(c)),具有浸蝕ITO電極的DL400/400發光二極管的I-V曲線與具有未蝕刻ITO的發光二極管保持一致,即使在120秒的最長蝕刻時間之后。這表明退火的底部氧化銦錫在不犧牲器件性能的情況下,對長時間的濕浸蝕具有抵抗力。因此,添加預退火的底部氧化銦錫層是穩定電流擴散的有效方法,并且有助于防止操作期間的電退化。

pYYBAGILYImARtngAABkwD8LW_U336.jpg

總結

我們已經展示了雙層納米結構的ITO透明電極的制造,通過簡單的無掩模浸漬濕法蝕刻工藝圖案化,有效地提高了氮化鎵基藍色發光二極管的光提取效率。雙層氧化銦錫電極的特點是具有優化表面納米圖案的納米結構頂層,以大大減少發光二極管器件中的光截留,以及充當穩定電流擴散層的致密底層。DL400/400 ITO電極發光二極管在100毫安時的光輸出功率是參考發光二極管的2.18倍。圖案化層下的密集底部電流擴散層的存在穩定了雙層電極的導電,并且沒有觀察到薄層電阻的顯著退化。雙層氧化銦錫設計和制造工藝可以有效地提高氮化鎵藍色發光二極管的光提取效率,而不犧牲其電性能。納米圖案化通過1至2分鐘的可控濕浸蝕時間來完成,并且在高溫爐中的退火時間(1分鐘)比生長納米線所需的時間短得多,生長納米線需要在高溫下進行數小時的處理。這種簡單、低成本和可控的工藝很容易在大規模生產中應用于高亮度藍光發光二極管,并有可能促進藍光發光二極管在市場上的推廣。

審核編輯:符乾江

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • led
    led
    +關注

    關注

    242

    文章

    23308

    瀏覽量

    661567
  • led燈
    +關注

    關注

    22

    文章

    1592

    瀏覽量

    108110
收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    芯片濕法蝕刻工藝

    芯片濕法蝕刻工藝是一種在半導體制造中使用的關鍵技術,主要用于通過化學溶液去除硅片上不需要的材料。 基本概念 濕法蝕刻是一種將硅片浸入特定的化學溶液中以去除不需要材料的工藝,廣泛應用于半
    的頭像 發表于 12-27 11:12 ?141次閱讀

    芯片濕法刻蝕殘留物去除方法

    大家知道芯片是一個要求極其嚴格的東西,為此我們生產中想盡辦法想要讓它減少污染,更加徹底去除污染物。那么,今天來說說,大家知道芯片濕法刻蝕殘留物到底用什么方法去除的呢? 芯片濕法刻蝕殘留物去除方法主要
    的頭像 發表于 12-26 11:55 ?172次閱讀

    晶圓濕法刻蝕原理是什么意思

    晶圓濕法刻蝕原理是指通過化學溶液將固體材料轉化為液體化合物的過程。這一過程主要利用化學反應來去除材料表面的特定部分,從而實現對半導體材料的精細加工和圖案轉移。 下面將詳細解釋晶圓濕法刻蝕的原理: 1
    的頭像 發表于 12-23 14:02 ?250次閱讀

    濕法刻蝕步驟有哪些

    一下! 濕法刻蝕是一種利用化學反應對材料表面進行腐蝕刻蝕的微納加工技術,廣泛應用于半導體、光學器件和生物醫學等領域。 濕法刻蝕的步驟包括以下內容: 準備工作 準備刻蝕液和設備:刻蝕液通常為酸性或堿性溶液,根據待加
    的頭像 發表于 12-13 14:08 ?167次閱讀

    濕法蝕刻的發展

    蝕刻的歷史方法是使用濕法蝕刻劑的浸泡技術。該程序類似于前氧化清潔沖洗干燥過程和沉浸顯影。晶圓被浸入蝕刻劑罐中一段時間,轉移到沖洗站去除酸,然后轉移到最終沖洗和旋轉干燥步驟。
    的頭像 發表于 10-24 15:58 ?188次閱讀
    <b class='flag-5'>濕法</b><b class='flag-5'>蝕刻</b>的發展

    利用貝塞爾光束、超短雙脈沖激光和選擇性化學蝕刻研究玻璃通孔(TGV)

    了廣泛的研究。有幾種方法可以在玻璃基板上形成孔。這些方法包括超聲波鉆孔、粉末噴砂、磨料噴射微加工(AJM)、磨料漿體噴射加工(ASJM)、磨料水射流加工(AWJM)、激光加工、濕法蝕刻、深反應離子蝕刻(DRIE)、等離子
    的頭像 發表于 04-28 16:16 ?1641次閱讀
    利用貝塞爾光束、超短雙脈沖激光和選擇性化學<b class='flag-5'>蝕刻</b>研究玻璃通孔(TGV)

    關于兩種蝕刻方式介紹

    干式蝕刻是為對光阻上的圖案忠實地進行高精密加工的過程,故選擇材料層與光阻層的蝕刻速率差(選擇比)較大、且能夠確保蝕刻的非等向性(主要隨材料層的厚度方向進行
    的頭像 發表于 04-18 11:39 ?699次閱讀
    關于兩種<b class='flag-5'>蝕刻</b>方式介紹

    影響pcb蝕刻性能的五大因素有哪些?

    一站式PCBA智造廠家今天為大家講講影響pcb蝕刻性能的因素有哪些方面?影響pcb蝕刻性能的因素。PCB蝕刻是PCB制造過程中的關鍵步驟之一,影響蝕刻性能的因素有很多。深圳領卓電子是專
    的頭像 發表于 03-28 09:37 ?995次閱讀
    影響pcb<b class='flag-5'>蝕刻</b>性能的五大因素有哪些?

    半導體濕法技術有什么優勢

    濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高, 因為使用的化學品可以非常精確地適應單個薄膜。對于大多數解決方案,選擇性大于100:1。 批量蝕刻 在批量蝕刻
    的頭像 發表于 03-12 10:46 ?407次閱讀
    半導體<b class='flag-5'>濕法</b>技術有什么優勢

    沉積溫度和濺射功率對ITO薄膜性能的影響研究

    ITO薄膜在提高異質結太陽能電池效率方面發揮著至關重要的作用,同時優化ITO薄膜的電學性能和光學性能使太陽能電池的效率達到最大。沉積溫度和濺射功率也是ITO薄膜制備過程中的重要參數,兩者對IT
    的頭像 發表于 03-05 08:33 ?1007次閱讀
    沉積溫度和濺射功率對<b class='flag-5'>ITO</b>薄膜性能的影響研究

    電偶腐蝕對先進封裝銅蝕刻工藝的影響

    共讀好書 高曉義 陳益鋼 (上海大學材料科學與工程學院 上海飛凱材料科技股份有限公司) 摘要: 在先進封裝的銅種子層濕法蝕刻工藝中,電鍍銅鍍層的蝕刻存在各向異性的現象。研究結果表明,在磷酸、雙氧水
    的頭像 發表于 02-21 15:05 ?721次閱讀
    電偶腐蝕對先進封裝銅<b class='flag-5'>蝕刻</b>工藝的影響

    ITO薄膜光學性能受退火工藝溫度的影響

    ITO薄膜即銦錫氧化物半導體透明導電膜,主要優點是其高透明度和導電性,可以作為透明電極應用在光伏電池中。在TOPCon電池中,添加ITO薄膜可以有效提升電池的短路電流密度和轉換效率,是提高
    的頭像 發表于 01-20 08:32 ?1158次閱讀
    <b class='flag-5'>ITO</b>薄膜光學性能受退火工藝溫度的影響

    解析光刻芯片掩模的核心作用與設計

    掩模在芯片制造中起到“底片”的作用,是一類不可或缺的晶圓制造材料,在芯片封裝(構筑芯片的外殼和與外部的連接)、平板顯示(TFT-LCD液晶屏和OLED屏〉、印刷電路板、微機電器件等用到光刻技術的領域也都能見到各種掩模的身影。
    發表于 01-18 10:25 ?1418次閱讀
    解析光刻芯片<b class='flag-5'>掩模</b>的核心作用與設計

    半導體資料丨濕法刻蝕鍺,過氧化氫點解刻蝕,Cu電鍍

    濕法腐蝕法從塊狀鍺襯底上制備亞10 um厚的鍺薄膜 低檢測密度的鍺薄膜對于研究缺陷密度對基于鍺的光學器件(光學探測器、LED和激光器)性能極限的影響至關重要。Ge減薄對Ge基多結太陽能電池也很重
    的頭像 發表于 01-16 17:32 ?884次閱讀
    半導體資料丨<b class='flag-5'>濕法</b>刻蝕鍺,過氧化氫點解刻蝕,Cu電鍍

    用于體內高分辨率神經記錄和刺激的納米多孔石墨烯薄膜微電極

    近期,來自西班牙加泰羅尼亞納米科學與納米技術研究所(ICN2)等機構的研究人員介紹了一種基于納米多孔石墨烯的薄膜技術及其形成柔性神經界面的工程策略。該研究所開發的技術可用于制造小型微電極
    的頭像 發表于 01-15 15:55 ?782次閱讀
    用于體內高分辨率神經記錄和刺激的<b class='flag-5'>納米</b>多孔石墨烯薄膜微<b class='flag-5'>電極</b>
    主站蜘蛛池模板: bt 电影天堂| 天天爽夜夜爽人人爽| 亚洲91色| 天堂在线www在线资源| 亚洲影视大全| 国产成人午夜片在线观看| 18年大片免费在线观看| 欧美福利视频网| 555成人免费影院| 大尺度免费高清在线观看视频| 天天色影院| 欧美aⅴ| 1024手机在线观看视频| 亚洲伊人成综合成人网| 精品一区二区三区18| 6080伦理久久亚洲精品| 久久日精品| 日韩a毛片免费全部播放完整| 淫欲网| 九九国产精品视频| 成人欧美一区二区三区视频| 欧美色天使| 婷婷婷色| 国产黄色a三级三级三级| 欧美在线黄色| 国产最好的精华液网站| 黄色视屏在线免费播放| 操白虎美女| 国产成人啪午夜精品网站| 伊人狼人在线| 日本理论片www视频| 亚洲色图综合图区| 操操操干干| 欧美51| 天天影视亚洲| 99色亚洲| 国产精品毛片久久久久久久| 性 色 黄 一级| 欧美大色网| 国产福利99| 久久福利国产|