由于流延成型具有產(chǎn)量大、厚度一致性好、收縮率穩(wěn)定及表面光潔度高等優(yōu)勢(shì)，流延成型取代了干壓成型、軋膜成型等傳統(tǒng)的成型方式，成為制備陶瓷基片的主要成型方法。

圖 流延成型工藝流程圖

目前，流延成型廣泛應(yīng)用于多層器件（如疊層壓敏電阻、多層陶瓷電容器等）、壓電陶瓷變壓器及壓電陶瓷蜂鳴器片、厚/薄膜集成電路板、制冷器基板、片狀電阻基板、燃料電池介質(zhì)片、陶瓷管殼、陶瓷發(fā)熱器等的成型。

影響流延成型陶瓷基板的質(zhì)量因素主要包括漿料的質(zhì)量、流延機(jī)的精度、流延工藝。

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漿料的質(zhì)量

漿料的質(zhì)量是決定流延能否成功的關(guān)鍵因素。流延成型要求漿料流動(dòng)性良好、具有適當(dāng)?shù)募羟凶兿√匦浴⒎稚⒘己谩⒄扯冗m中，配料的各組分不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)且兼容性良好。

1）陶瓷粉體

粒度及其尺寸分布和顆粒形貌適合，純度較高，短少時(shí)添加劑殘留量小，且不與增塑劑、粘結(jié)劑等有機(jī)物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

2）溶劑

具有合適的揮發(fā)速度、較低的表面張力，對(duì)漿料的有機(jī)物具有良好的溶解性，對(duì)陶瓷粉體有良好的潤(rùn)濕性。

3）增塑劑

對(duì)粘結(jié)劑具有良好的增塑性，且揮發(fā)速度較慢。保證生瓷帶在空氣中長(zhǎng)期保存，柔韌性保持不變。

4）分散劑

能對(duì)陶瓷粉體進(jìn)行良好的潤(rùn)滑分散，不與其他有機(jī)物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。分散劑對(duì)生瓷帶的外觀、體積密度及層壓性能有明顯影響。

5）粘結(jié)劑

粘結(jié)劑對(duì)陶瓷粉體具有良好的潤(rùn)濕性，優(yōu)異的粘結(jié)性能，易燒除無殘留。

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流延機(jī)的精度

流延機(jī)的液位控制技術(shù)、刮刀成膜技術(shù)、走速穩(wěn)定技術(shù)、氣氛控制技術(shù)、溫度加熱技術(shù)、膜帶平穩(wěn)傳送技術(shù)、生瓷帶切割技術(shù)、除靜電技術(shù)等影響生瓷帶的質(zhì)量、厚度、外觀、一致性等。

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流延工藝

在流延成型過程中，漿料的粘度要適合、流延機(jī)的各段的溫度曲線及相應(yīng)各段的氣氛可控。

1）漿料粘度合適

流延成型不同厚度的生瓷帶，需要不同粘度的漿料。一般來說，生瓷帶越厚，漿料粘度越大，才能堆積較厚的厚度；生瓷帶較薄，漿料粘度必須較小，不然生瓷帶外觀不平整。

2）各段的氣氛控制

在流延的不同階段，需要不同的氣氛，使得生瓷帶外觀平整，厚度一致。如第一節(jié)干燥箱不能加熱且要保持足夠高的溶劑蒸汽壓，使得濕膜保持潤(rùn)濕狀態(tài)；表皮干燥時(shí)保持一定溶劑蒸汽壓，溶劑按一定速率揮發(fā)，揮發(fā)太快會(huì)出現(xiàn)微裂紋、燒泡；在整體干燥階段則增大抽風(fēng)量，加速溶劑廢氣及時(shí)抽走。

3）各段的溫度曲線控制

流延機(jī)的各段溫度曲線設(shè)置，主要保證生瓷帶從低溫到高溫的干燥，保證干燥過程中不產(chǎn)生開裂、氣泡，且干燥徹底。最高溫度曲線設(shè)置應(yīng)比溶劑的共沸點(diǎn)高10℃。

審核編輯 ：李倩