采用PureLine 3技術(shù)的新型CM300xi-ULN可消除97%以前探針臺(tái)中的環(huán)境噪聲，并從根本上改變7納米以下前沿技術(shù)節(jié)點(diǎn)的實(shí)驗(yàn)室閃爍噪聲測(cè)量

今天，我們正式推出一種300mm晶圓探針臺(tái)CM300xi-ULN，該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于閃爍噪聲（1/f）、隨機(jī)電報(bào)噪聲（RTN）和相位噪聲的高精度測(cè)試。

此類噪聲問題對(duì)先進(jìn)模擬和數(shù)字IC技術(shù)造成的困擾日益增加，而該技術(shù)功率和性能的提高需要以降低噪聲容許量為代價(jià)。因此，目前的器件設(shè)計(jì)和驗(yàn)證需使用高靈敏度設(shè)備仔細(xì)表征此類內(nèi)部噪聲源。上述探針臺(tái)CM300xi-ULN通過消除97%以上的環(huán)境噪聲為超低噪聲測(cè)量建立了新的行業(yè)金標(biāo)準(zhǔn)。

使用新獲得專利的PureLine? 3技術(shù)，ULN探針臺(tái)可降低32倍（1 kHz）的噪聲，以改進(jìn)5G及以上應(yīng)用7/5/2nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的器件表征和建模。

當(dāng)與噪聲測(cè)試設(shè)備（閃爍噪聲、RTN、相位噪聲）集成時(shí)，CM300xi-ULN使用帶有Contact Intelligence?的電動(dòng)探針座可提供行業(yè)最高測(cè)試吞吐量，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)DC和低頻噪聲測(cè)量，并采用多DUT布局完全實(shí)現(xiàn)全天候自動(dòng)運(yùn)行。

最后，CM300xi-ULN降低了低噪聲測(cè)試單元優(yōu)化的復(fù)雜性。只需通電即可開始測(cè)試。測(cè)試單元電源管理可消除測(cè)試單元所有接地回路感應(yīng)噪聲，并為整個(gè)系統(tǒng)、探針臺(tái)和儀器提供全面管理和過濾的交流電源。

CM300xi-ULN探針臺(tái)在在片噪聲測(cè)試領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了四項(xiàng)重要的行業(yè)“第一”，包括：

• 第一款實(shí)現(xiàn)-190dB頻譜噪聲*的自動(dòng)化探針臺(tái)，可對(duì)新的高性能器件進(jìn)行高精度噪聲測(cè)量（*典型值，dBVrms/√Hz，1kHz至1MHz，含探針臺(tái)和溫控系統(tǒng)）
• 集成測(cè)試單元電源管理，可消除接地回路感應(yīng)噪聲，并為探針臺(tái)和儀器提供全面管理和過濾的交流電源
• 在30um焊盤上完全自主進(jìn)行閃爍噪聲熱測(cè)試，測(cè)試速度比上一代系統(tǒng)快4倍
• 客戶現(xiàn)場調(diào)查和“低噪聲”安裝驗(yàn)證，可顯著降低安裝成本和工具部署時(shí)間

審核編輯：符乾江