Baw諧振器制備工藝
Baw 諧振器常見的結構有體硅背刻蝕型、空氣腔型、固態裝配型、以及剪切模式等。視頻中僅僅是空氣腔型。
FBAR的多層膜性能的好壞關系到 FBAR 的機械穩定性、頻率穩定性、機電轉換的效率及寄生損耗。
根據 Yole Développemen 機構研究報告，在 2015 年平均每部手機要 50 顆濾波器，到 2020 年平均每部手機需要支持 30-40 個頻段，則每部手需要 100顆以上濾波器，因此未來手機射頻前端器件的增長主要來自于濾波器、雙工器和多工器。
5G 時代需要支持的頻段數量將會是現在的一倍多，同時會新增多個通信頻段，未來全球 2G/3G/4G/5G 通信組網合計需要支持的頻段數量將達到 91 個以上，這將帶動射頻濾波器產業大爆發。
理論上單個頻段的射頻信號處理需要 2顆濾波器，多個濾波器會集成到濾波器組中，手機配備的濾波器與頻段數量之間的關系并非簡單線性比例。
但隨著通信頻段增多，濾波器的設計難度及需求數量將會大幅的增加，相應的價值量和市場總量，都會遠超過現有的市場規模。
審核編輯：劉清
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原文標題：30秒了解Fbar制備工藝
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