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隨著半導體行業的快速發展，半導體通訊設備國產化的需求日益強烈，ZLG致遠電子基于行業需求，推出系統的DeviceNet主從站控制和網關通訊方案。

半導體行業中DeviceNet的應用

半導體行業中設備一般分為前道設備和后道設備。前道是指晶圓制造廠的加工過程，在空白的硅片完成電路的加工，出廠產品依然是完整的圓形硅片。后道是指封裝和測試的過程，在封測廠中將圓形的硅片切割成單獨的芯片顆粒，完成外殼的封裝，最后完成終端測試，出廠為半導體產品。

圖1 半導體工藝流程及對應設備

（資料來源：華安證券、國元證券、云岫資本）

半導體設備的控制系統要求信息傳輸速度快，精度高，從而對網絡的要求也比較高。DeviceNet因其開放、高效、低價、抗干擾能力強、測量及控制精度高等特點，目前被廣泛應用于技術含量較高的半導體設備中。DeviceNet不僅降低了系統的復雜性，還減少了設備通信的電纜硬件接線，提高系統可靠性，降低安裝、維護成本，是分布式控制系統的理想解決方案。

國產一站式DeviceNet主從站控制方案

廣州致遠電子股份有限公司作為DeviceNet協會ODVA的會員，長期致力于DeviceNet產品的研發與推廣，現已自主研發了DeviceNet從站設備、主站接口卡、協議轉換網關和總線分析儀等，并且所有的設備均通過ODVA一致性測試，所有的產品均可提供定制服務。

半導體設備的DeviceNet網絡主站主要采用工控機+PCI/CPCI接口主站卡的方式，與PC進行通訊。半導體中設備控制量包括閥的開關、門的開關、壓力的開關、MFC流量、晶圓檢測、報警信號、節流閥、泵、射頻等信號，這些信號與網絡相連接的方式分為兩種：簡要的開關量數字信號主要是通過IO模塊，作為DeviceNet的一個從站連接到網絡；其他信號如節流閥、射頻（包括正向頻率、讀取、過溫報警信號、安全互鎖等）、MFC信號的控制參數非常多，就需要選擇支持DeviceNet通訊方式的設備，作為一個獨立的從站與主站進行通訊，從而進行精確的控制。

半導體設備的DeviceNet網絡構成包括主站（PLC或插卡式工控機）、設備從站、連接器，主要連接IO模塊、MFC質量流量計、閥組、滑軌、溫控器、射頻、節流閥等。結構如下圖所示。

圖2DeviceNet通訊方案

DeviceNet主站卡集成2路CAN通道，每個CAN通道都集成完全的電氣隔離保護和防浪涌保護，保證性能穩定。同時提供強大的軟件支持，包括DeviceNet函數庫、DeviceNet測試軟件、EDS配置軟件、OPC服務器等，支持最多63個DeviceNet從?站節點。目前已經大量應用于電焊機、流量計、半導體設備等領域中的數據采集與處理。

XGate-DVN11是一款DeviceNet從站協議轉換模塊，其內部已經集成了DeviceNet從站協議棧代碼。XGate-DVN11支持高達128字節I/O報文、250字節顯式報文傳輸，小巧的體積?，方便嵌入到用戶設備中，并提供EDS文件和程序固件定制服務。用戶無需進行二次開發，僅需控制器提供一路串口就可實現與XGate-DVN11的數據交互。

另外，ZLG致遠電子基于半導體市場需求，推出DeviceNet轉Modbus協議轉換器、CANopen轉Modbus協議轉換器、OPC-UA轉Modbus協議轉換器等各類現場總線協議轉換器。

圖3DeviceNet/CANopen等協議轉換器系列

半導體行業國產網關通訊方案

除了半導體設備DeviceNet通訊外，半導體產線上還需要其他通訊方式進行信息互通、績效管理和簡化運維。串行接口是工業現場簡易前端設備的主流接口，為使設備能快速并入以太網，使其實現集中式監控管理，ZLG致遠電子提供內嵌TCP/IP協議棧的八通道工業級串口服務器GCOM80-2NET，其具備數據采集傳輸、邊緣計算、數據加密、設備登錄管理功能，實現了RS485和以太網的雙向傳輸，多種配置方式和多種工作模式，讓用戶不用做復雜的開發工作。

在半導體產線的監控系統中，GCOM80-2NET負責將電力系統、空調系統、污水系統、空壓系統等各系統PLC控制設備、儀表、傳感器等數據，通過串口和以太網數據雙向傳輸，傳送到監控中心服務器，保證數據的穩定可靠。如下圖所示。