傳感器是高科技產(chǎn)業(yè)，但并非所有傳感器公司都是高科技企業(yè)，尤其是在中國(guó)。 國(guó)際上，對(duì)傳感器等半導(dǎo)體企業(yè)的劃分，一般有IDM、Fabless、Foundry幾種，主要根據(jù)有無晶圓產(chǎn)線來區(qū)分。而中國(guó)傳感器企業(yè)，則存在大量的“第四種”模式，也即組裝廠模式，不涉及任何對(duì)傳感器敏感元件、MEMS芯片的研發(fā)。 這其中，IDM模式顯然對(duì)傳感器企業(yè)的技術(shù)實(shí)力和資金實(shí)力，考驗(yàn)最大。在中國(guó)，有能力做IDM的傳感器企業(yè)屈指可數(shù)，那么，中國(guó)有哪些傳感器企業(yè)是真正的IDM公司？擁有自己的傳感器芯片產(chǎn)線？ 本文資料來自各權(quán)威機(jī)構(gòu)和資料，如有紕漏和其他觀點(diǎn)，請(qǐng)?jiān)趥鞲衅鲗＜揖W(wǎng)公眾號(hào)本內(nèi)容底下留言討論，或在中國(guó)最大的傳感社區(qū)：傳感交流圈中進(jìn)行交流。

傳感器“中國(guó)模式”：90%都是組裝廠！ 一般來說，傳統(tǒng)傳感器由由敏感元件+轉(zhuǎn)換元件+轉(zhuǎn)換電路構(gòu)成，最核心的部件是敏感元件。對(duì)應(yīng)MEMS傳感器，則是MEMS芯片與信號(hào)調(diào)理ASIC芯片。 由此，敏感元件、MEMS芯片、ASIC芯片是一個(gè)傳感器的核心。 對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)來說，能夠自己設(shè)計(jì)、生產(chǎn)晶圓的企業(yè)稱為IDM企業(yè)，技術(shù)實(shí)力和資金實(shí)力都較為雄厚，其次有許多企業(yè)設(shè)計(jì)芯片但本身不生產(chǎn)芯片，稱為Fabless企業(yè)。此外，大量專業(yè)代工生產(chǎn)晶圓的企業(yè)稱為Foundry代工企業(yè)。 在傳感器領(lǐng)域，有能力制造、設(shè)計(jì)敏感元件、MEMS芯片的傳感器企業(yè)，很少，但這種傳感器IDM企業(yè)，一般都是產(chǎn)業(yè)里的巨頭。 根據(jù)Yole《2022全球MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀》報(bào)告顯示，排名靠前的MEMS企業(yè)，博世、意法半導(dǎo)體、TDK、霍尼韋爾都是IDM公司。此外，瑞典Silex（我國(guó)賽微電子全資子公司）、Teledyne、TSMC為MEMS Foundry公司，即純MEMS晶圓代工企業(yè)。 剩下的企業(yè)則基本為Fabless公司，但這些公司也或多或少保留有自家的研發(fā)線，這也是目前全球MEMS的情況：Fabless公司占多數(shù)，IDM公司占據(jù)較大市場(chǎng)份額，MEMS代工企業(yè)瓜分剩余市場(chǎng)。

我國(guó)傳感器頭部企業(yè)中，中國(guó)最大傳感器企業(yè)韋爾股份，就是典型的Fabless公司，韋爾股份負(fù)責(zé)圖像傳感器芯片的設(shè)計(jì)，而流片、生產(chǎn)工作則由臺(tái)積電等先進(jìn)晶圓廠代工。 此外，我國(guó)MEMS傳感器規(guī)模第一、第二大的歌爾股份和瑞聲科技，主要出貨量是MEMS麥克風(fēng)，但兩家企業(yè)MEMS出貨量產(chǎn)品中，大量采購(gòu)了來自英飛凌的MEMS Die（裸片）和ASIC芯片，再自己封裝整合出貨。 雖然相關(guān)報(bào)告顯示，歌爾、瑞聲均具備一定的MEMS芯片和ASIC芯片設(shè)計(jì)能力，但自主設(shè)計(jì)產(chǎn)品未能成為出貨主力。

而沒有用自自設(shè)計(jì)的MEMS芯片有什么影響？歌爾往年一半的利潤(rùn)需要用來采購(gòu)英飛凌的MEMS芯片和ASIC芯片。 我國(guó)聲學(xué)MEMS傳感器在全球范圍來說，出貨量龐大，稱得上大，但不強(qiáng)，英飛凌、樓氏電子才是又大又強(qiáng)。全球MEMS Die出貨量上，英飛凌、樓氏電子占據(jù)大頭，這才是利潤(rùn)最豐厚的地方。 值得一提的是敏芯股份（MEMSensing）在全球聲學(xué)MEMS Die的出貨量排名第三，占比6.8%。敏芯股份完成了 MEMS 傳感器產(chǎn)品芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝和測(cè)試環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)研發(fā)工作，并將形成的各生產(chǎn)環(huán)節(jié)技術(shù)導(dǎo)入國(guó)內(nèi)的晶圓制造和封裝廠商，幫助其開發(fā)了專業(yè)的 MEMS 產(chǎn)品生產(chǎn)加工工藝，實(shí)現(xiàn)了本土化生產(chǎn)體系的搭建。

歌爾、瑞聲背后，正是中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)的縮影——絕大部分中國(guó)傳感器企業(yè)都是組裝工廠，通過購(gòu)買國(guó)際傳感器巨頭的MEMS芯片、敏感元件，進(jìn)行封裝、測(cè)試再重新出貨，屬于自己的技術(shù)含量較少。 據(jù)《中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)藍(lán)皮書》數(shù)據(jù)顯示，我國(guó)傳感器生產(chǎn)類企業(yè)僅1800多家，占比7.8%，其余22000多家都是應(yīng)用和商貿(mào)類企業(yè)。 而這1800多家制造類傳感器企業(yè)，有多少家能掌握敏芯元件、MEMS芯片的設(shè)計(jì)技術(shù)？更遑論掌握更上游的制造工藝了。

▲數(shù)據(jù)來源《中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)藍(lán)皮書》（制表動(dòng)感傳感） 因此，近幾年來各地大力建設(shè)MEMS中試線，寄希望在堅(jiān)實(shí)的國(guó)產(chǎn)MEMS晶圓產(chǎn)線的支撐下，眾多采購(gòu)封裝的組裝廠模式的國(guó)產(chǎn)傳感器企業(yè)，能實(shí)現(xiàn)芯片設(shè)計(jì)等自主技術(shù)的提升，這才能擺脫中國(guó)傳感產(chǎn)業(yè)被卡脖子的困境！ 在絕大多數(shù)中國(guó)傳感器企業(yè)都是組裝廠的大環(huán)境下，少數(shù)傳感器企業(yè)通過投入巨資，建設(shè)芯片產(chǎn)線，對(duì)企業(yè)自身資金實(shí)力、技術(shù)實(shí)力都是極大的考驗(yàn)，這些IDM傳感器企業(yè)，無疑是中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)最尖端的力量！部分中國(guó)傳感器IDM企業(yè)和情況（序號(hào)僅標(biāo)記數(shù)量，無排序意義）

1、美新半導(dǎo)體

美新半導(dǎo)體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國(guó)天津，2007年在美國(guó)納斯達(dá)克上市，是全球MEMS第一股，中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。

美新半導(dǎo)體在無錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器晶圓生產(chǎn)、封測(cè)產(chǎn)線。2022年12月25日，據(jù)《紹興日?qǐng)?bào)》報(bào)道，總投資約3.5億元，建筑面積約5.27萬平方米的紹興集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)園（西園）項(xiàng)目計(jì)劃2023年6月竣工。位于園區(qū)內(nèi)的美新半導(dǎo)體項(xiàng)目即將投產(chǎn)，投產(chǎn)后將形成年產(chǎn)6億顆MEMS磁傳感器芯片和1.2億顆加速度傳感器的生產(chǎn)能力。

2、原位芯片

原位芯片成立于2015年，主要研究人員由來自清華大學(xué)、中科院和海外院校的微電子、生物和機(jī)電等專業(yè)技術(shù)人才組成。原位芯片擁有一條6英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，掌握40多項(xiàng)領(lǐng)先MEMS技術(shù)，擁有芯片設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片生產(chǎn)和測(cè)試的全流程自主研發(fā)、生產(chǎn)能力。

原位芯片專注于MEMS液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等產(chǎn)品，其自主研發(fā)的氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品成功打破海外壟斷，液體流量傳感器、貼片式胰島素泵芯片也是國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品首創(chuàng)。

3、多維科技

成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設(shè)有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應(yīng)芯片產(chǎn)線。

多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。

2022年5月份，多維科技宣布已完成新一輪數(shù)億元戰(zhàn)略融資，由嘉溢創(chuàng)投領(lǐng)投，本輪融資資金將主要用于國(guó)內(nèi)首條高性能磁傳感器晶圓8寸線，持續(xù)強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)的垂直整合，進(jìn)一步夯實(shí)本土唯一xMR高性能磁傳感器IDM的平臺(tái)化優(yōu)勢(shì)。

4、士蘭微

杭州士蘭微1997年成立，是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。

自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對(duì)加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測(cè)生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請(qǐng)相關(guān)發(fā)明專利百余項(xiàng)。

目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

士蘭微是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一，據(jù)其2022上半年度報(bào)告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 傳感器產(chǎn)品的營(yíng)業(yè)收入達(dá)到 1.5 億元，較上年同期增加 7.8%。

5、高德紅外

高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，中國(guó)紅外傳感器龍頭企業(yè)，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國(guó)內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測(cè)器生產(chǎn)線，已實(shí)現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號(hào)批產(chǎn)能力。

高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測(cè)器產(chǎn)線，2021年底新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。

6、啟泰傳感

2006年成立，總部在湖南瀏陽(yáng)。啟泰傳感以王國(guó)秋教授為首的科研團(tuán)隊(duì)攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設(shè)國(guó)內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)模化生產(chǎn)能力的公司之一。

2019年8月該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。

二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。

7、愛司凱

愛司凱成立于2006年，致力于工業(yè)打印核心技術(shù)研發(fā)和多技術(shù)（微機(jī)電系統(tǒng)MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技術(shù)企業(yè)。目前已掌握三大核心技術(shù)：即激光技術(shù)、壓電式噴墨打印技術(shù)和精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng) ，愛司凱在廣州中新知識(shí)城建有8英寸晶圓MEMS噴墨打印頭產(chǎn)線。

8、罕王微電子

罕王微電子是一家以MEMS傳感器設(shè)計(jì)及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團(tuán)控股子公司。

罕王微電子2016年收購(gòu)美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國(guó)內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)模化量產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測(cè)量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。

9、美泰科技

中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過科技部組織的專家驗(yàn)收。

6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬片。

10、西人馬

西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國(guó)先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)。

西人馬19年11月獲得朗潤(rùn)基金數(shù)千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬顆。西人馬是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。

11、奧松電子

奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)，是國(guó)內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱IDM）企業(yè)。

2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。

奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬片，

2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對(duì)外開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。

2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導(dǎo)體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)8英寸先進(jìn)MEMS特色半導(dǎo)體IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目。該項(xiàng)目建成后，將成為國(guó)內(nèi)先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。

12、海康微影

海康微影是國(guó)內(nèi)紅外熱成像巨頭海康威視旗下企業(yè)，主要從事MEMS傳感器、紅外探測(cè)器芯片研發(fā)、生產(chǎn)。

2021年11月9日在投資平臺(tái)上，海康威視透露海康微影已經(jīng)自建一條8寸MEMS生產(chǎn)線及封裝線，具備年產(chǎn)晶圓一萬片，探測(cè)器百萬顆的生產(chǎn)能力。

探測(cè)器產(chǎn)線潔凈面積達(dá)到800平方米、凈化級(jí)別高達(dá)10級(jí)的8英寸，擁有業(yè)界—流的集成電路設(shè)計(jì)、MEMS設(shè)計(jì)、MEMS/封裝制程開發(fā)、應(yīng)用成品開發(fā)及銷售服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

13、昊潤(rùn)科技

山東昊潤(rùn)自動(dòng)化技術(shù)有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業(yè)專用型自動(dòng)化測(cè)控儀表的設(shè)計(jì)研發(fā)和規(guī)模化制造。

2011年歐洲經(jīng)濟(jì)危機(jī)期間，昊潤(rùn)科技收購(gòu)芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線，并引進(jìn)其核心技術(shù)。因此，昊潤(rùn)科技擁有自己的3D-MEMS技術(shù)和硅電容傳感器生產(chǎn)線，年生產(chǎn)規(guī)模1500萬只。

14、東方微磁

湖北宜昌東方微磁有限公司是中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學(xué)計(jì)量和中國(guó)磁電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高新技術(shù)企業(yè)，建有國(guó)防科技工業(yè)弱磁一級(jí)計(jì)量站、磁電子技術(shù)國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、湖北省磁電子工業(yè)技術(shù)研究院，擁有國(guó)內(nèi)第一條MEMS磁傳感器芯片生產(chǎn)線。

東方微磁的MEMS生產(chǎn)線2015年底全部調(diào)通，是國(guó)內(nèi)首條可滿足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測(cè)試等設(shè)備進(jìn)60臺(tái)。

15、華潤(rùn)微電子

華潤(rùn)微電子是2002年華潤(rùn)集團(tuán)收購(gòu)華晶集團(tuán)改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。華潤(rùn)微是中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)之一。

華潤(rùn)微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺(tái)從6英寸升級(jí)到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。

16、德爾森

德爾森集團(tuán)是一家中德合作的高新技術(shù)企業(yè)，集團(tuán)總部與產(chǎn)品設(shè)計(jì)中心位于德國(guó)法蘭克福和中國(guó)南京。

德爾森與南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國(guó)CIS研究院技術(shù)的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線。

17、力盛芯

力盛芯（洛陽(yáng)）電子科技公司是由臺(tái)灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機(jī)電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機(jī)電工藝集成電路代工制造三大類產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產(chǎn)。

18、睿創(chuàng)微納

睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺(tái)，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造的企業(yè)。

睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。

2020年7月，與煙臺(tái)開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導(dǎo)體工藝線。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線面向半導(dǎo)體激光器、光電探測(cè)器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。

19、諾思微系統(tǒng)

諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。

2021年3月，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對(duì)5G/6G無線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對(duì)射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。

20、武漢衍熙微器件

武漢衍熙微器件擁有全國(guó)第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。

2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無塵室車間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無塵室車間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。

21、蘇州固锝

蘇州固锝成立于1990年，是國(guó)內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。

2010年固锝收購(gòu)明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺(tái)技術(shù)及八英寸晶圓級(jí)封裝技術(shù)及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。

2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊(cè)資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。

2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導(dǎo)體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設(shè)計(jì)技術(shù)與蘇州固锝的封測(cè)技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，逐步實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。

同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測(cè)項(xiàng)目落戶蘇州。項(xiàng)目一期產(chǎn)線將建立符合華為體系標(biāo)準(zhǔn)的MEMS聲學(xué)傳感器的封測(cè)基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國(guó)內(nèi)首創(chuàng)MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級(jí)封裝產(chǎn)線，該晶圓級(jí)封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級(jí)封裝相關(guān)自主技術(shù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

22、銳石創(chuàng)芯（設(shè)備搬入階段）

銳石創(chuàng)芯是一家專注于高性能的4G/5G射頻前端產(chǎn)品的研發(fā)及銷售的公司，主要應(yīng)用于智能手機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)終端、平板電腦。

銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項(xiàng)目位于重慶，總占地面積120畝，總投資22億。其中一期投資約8億元，項(xiàng)目核心廠房由晶圓廠和動(dòng)力站組成，建筑面積共2.65萬平方米，主要生產(chǎn)射頻前端MEMS芯片。

2022年10月最新消息，銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項(xiàng)目已經(jīng)接近尾聲。生產(chǎn)芯片的潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施已搭建完畢，將用來放置***等設(shè)備。

結(jié)語(yǔ) 以上這些走IDM路線的傳感器企業(yè)，無疑是中國(guó)最“硬核”的一批傳感器企業(yè)，無論資金還是技術(shù)能力，IDM路線對(duì)傳感器企業(yè)都是巨大的考驗(yàn)。 隨著政策引導(dǎo)，以及中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)升級(jí)的客觀規(guī)律，許多購(gòu)買MEMS芯片、敏感元件封裝、測(cè)試后再出售的OEM傳感器企業(yè)，雖然不能建立自己的IDM產(chǎn)線，但借助未來大量建設(shè)的MEMS中試線，將逐步往Fabless模式發(fā)展，這才能逐步擺脫中國(guó)傳感器被卡脖子的局面！還有哪些中國(guó)傳感器IDM企業(yè)？歡迎在傳感器專家網(wǎng)公眾號(hào)本內(nèi)容底下留言討論，或在中國(guó)最大的傳感社區(qū)：傳感交流圈中進(jìn)行交流。

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審核編輯黃昊宇