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劃片機在測高過程中發生異常如何自查

陸芯晶圓切割機 ? 來源:陸芯晶圓切割機 ? 作者:陸芯晶圓切割機 ? 2023-02-01 15:32 ? 次閱讀

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劃片機在測高過程中發生異常如何自查

1,測高系統自檢故障報警(模擬測高信號無法產生)

取下劃片機右側掛板,查看[碳刷]信號線與[底座]信號線分別是否連接正確。 兩根碳刷信號線連接于主軸后方兩根碳刷座上。兩根底座信號線分別連接于底 座上。如果連接緊固,則檢查主軸碳刷是否磨損過度。兩根碳刷中若有一根不 能和主軸軸芯接觸,都會引起此故障。確認碳刷磨損過多后更換碳刷即可解決問題。

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2,測高系統自檢故障報警(①Switch 開關故障;②測高信號已產生!)

測高系統供電電平受干擾,檢查直流供電系統。

3,測高時不抬刀或抬刀遲鈍

清潔刀盤、吸盤、工作臺表面,去除吸盤表面測高位置的污垢以及氧化層。

4,測高過程中出現意外信號

首先將刀盤附近的水分吹干凈,確保刀盤旋轉時不會甩出水滴。若故障依舊存在,檢查主軸供氣是否足夠干燥,通過排放劃片機后部三聯件驗證。如果能排出水分,則需要全部排盡,然后通氣一段時間使主軸充分干燥。若故障依舊存在,則需要檢查主軸包膜是否破損,使得主軸絕緣不佳。

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審核編輯黃宇

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