喜報!昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模***獨(dú)家代理。
上海昊量光電設(shè)備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無掩光刻系統(tǒng)的中國區(qū)獨(dú)家代理商,此次獲得Microlight3D的授權(quán),體現(xiàn)了Microlight3D對上海昊量光電設(shè)備有限公司市場銷售的專業(yè)度及售后技術(shù)支持力量的高度認(rèn)可。我們將一如既往的為國內(nèi)廣大用戶提供更為優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)(Université Grenoble Alpes,UGA)進(jìn)行了長達(dá)15年的3D微型打印技術(shù)研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)創(chuàng)建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學(xué),是歐洲最古老的大學(xué)之一,教學(xué)科研實力處于法國頂尖、世界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學(xué),格勒諾布爾-阿爾卑斯大學(xué)先后誕生過3位諾貝爾獎獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎獲得者(約瑟夫·斯發(fā)基斯)。
Microlight3D公司一直在快速發(fā)展,得益于Smart Print UV System在世界各地的實驗室和公立私立研究中心的大量銷售。
Microlight3D公司推出的DMD無掩模光刻系統(tǒng)Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產(chǎn)生任何2D形狀,而不需要硬掩模。
Smart PrintUV系統(tǒng)特點(diǎn):
? 最小特征尺寸1.5um
? 可更換目標(biāo)的可調(diào)節(jié)寫入?yún)^(qū)域和分辨率
? 兼容CAD文件及bitmap文件
? 兼容SU-8、g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠
? 兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)
? 兼容多種樣品尺寸:2''和4''晶圓、4''和5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm和25mm圓形載玻片
? 反饋相機(jī):聚焦,對齊,準(zhǔn)直
? 手動旋轉(zhuǎn)臺:360°可旋轉(zhuǎn),精度 0.1°
?桌面型,占地空間小
?曝光速度相比同類型產(chǎn)品更快!
?極具性價比!
?軟件操作和設(shè)備維護(hù)簡單!
?交貨周期短!
?可免費(fèi)打樣!
Smart PrintUV功能選件:
?1X Objective 磁吸快速更換鏡頭
10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 μm resolution
?5X Objective 磁吸快速更換鏡頭
2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 μm resolution
?10X Objective 磁吸快速更換鏡頭
1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution
?4" 晶圓樣品支架
?玻璃載玻片樣品支架
?多用途大型樣品支架
兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片,14 mm & 25 mm 圓形載玻片
?定制化樣品支架
根據(jù)客戶要求,可適應(yīng)更大樣品尺寸或多個樣品;兼容柔性膜材基底(New!)
?保修期延期
設(shè)備保修期2年,軟件免費(fèi)升級2年
Smart PrintUV核心規(guī)格:
型號 | SP-UV.Standard | SP-UV.Advanced |
光源 | 曝光波長:385nm;校準(zhǔn)波長:590nm | |
最小特征尺寸 | 1.5um | |
對準(zhǔn)準(zhǔn)度(1cm2區(qū)域) | 2um | 1um |
拼接精度 | 2um | <1um |
最大曝光范圍 | 70×70mm2 | 110×110mm2 |
基板尺寸 | 4英寸(wafer) | 5英寸(方形) |
寫入速度 | 77mm2/min | 220mm2/min |
系統(tǒng)尺寸 | 長×寬×高:52(cm)×52(cm)×69(cm) |
軟件包:
電腦 | Windows 10Pro, 24inch屏幕 |
SFTprint軟件 | 機(jī)器控制、步進(jìn)重復(fù)、自動劑量測試、拼接、對齊 |
SFT轉(zhuǎn)換器 | 將標(biāo)準(zhǔn)CAD格式(gdsii、dxf、cif、oas)轉(zhuǎn)換為機(jī)器格式;包含CAD軟件 |
鏡頭選項:
物鏡 | 1X | 2.5X | 5X | 10X |
寫入?yún)^(qū)域(mm) | 10.56×5.94 | 4.2×2.4 | 2.1×1.2 | 1.06×0.59 |
最小線寬(um) |
15 |
6 | 3 | 1.5 |
Smart PrintUV應(yīng)用領(lǐng)域:
Smart Print UV是為需要制作表面微圖案、微結(jié)構(gòu)的任何應(yīng)用領(lǐng)域的完美設(shè)計,如MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子等。
Microlight3D公司還有另外一款明星產(chǎn)品-雙光子聚合3D納米***。
2007年,第一代雙光子聚合3D納米***microFAB-3D問世,在中國大陸、臺灣和歐洲地區(qū)有大量的銷售。
2018年,公司獲得了法國研究與創(chuàng)新部頒發(fā)的公共研究領(lǐng)域最具創(chuàng)新力年輕公司獎。
2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米***。
2019年,Microlight3D完全收購了無掩模光刻系統(tǒng)制造商SmartForceTechnologies。
未來,上海昊量光電設(shè)備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續(xù)秉承互利共贏的發(fā)展理念,充分發(fā)揮自身強(qiáng)大的專業(yè)技術(shù)溝通和服務(wù)優(yōu)勢,力爭為國內(nèi)MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子等應(yīng)用領(lǐng)域的研究和推廣貢獻(xiàn)一份力量,滿足并不斷超越客戶的期望,致力于為國內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng)造。
歡迎繼續(xù)關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞。
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關(guān)于昊量光電:
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。
審核編輯黃宇
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光刻機(jī)
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