薄膜激光損傷的定義為由于激光作用使薄膜樣品性能或者結構發生可以觀察到的變化 。

薄膜的激光損傷分為兩類，第一類是不可逆性損傷， 薄膜的結構和材料物性不可恢復；第二類為可逆性損傷， 此時薄膜的功能發生瞬態、可恢復變化 。

目前針對薄膜激光損傷的研究主要是提升薄膜不可逆性損傷抗性。激光損傷閾值的定義為薄膜或器件發生臨界損傷時入射激光光束的能量功率密度的大小。

激光損傷閾值與材料本身的不均勻性和激光輸出特性的起伏等原因有關激光損傷的發生具有一定的概率性 。激光損傷概率與能量密度關系示意圖如下圖

在激光作用后薄膜的激光損傷形態主要分為兩種，第一種為結構損傷形態，如形變 、 相變、色變 、 熔化、炸裂 、 薄膜剝層或脫落等。第二種為功能損傷形態，如熱形變 、 折射率 變化 、透射率變化 、 散射大幅增強等。
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審核編輯 ：李倩