隨著智能汽車和新能源等新興產業的不斷發展，汽車電動化+智能化進程也不斷加速，相應的半導體用量和市場規模都迅猛上升。隨著產能的增加以及對出貨的速度要求，自動化設備變成了一種趨勢。機械手臂、自動搬運車、線性滑軌、模塊自動夾爪等自動化設備不但廣泛應用于各種產業，而且為了避免微塵粒子影響到產品，這些自動化設備多半都放置在無塵室內，但是由于其經常與產品進行近距離接觸，因此其產生的微塵粒子還是會對產品的良率產生非常直接的影響。

隨著半導體制程工藝的不斷精進，在納米級制程水平的當下，只要一顆微塵粒子掉落在制程或線路中，就有可能導致整批產品異常或是報廢。因此為了提高產品的良率，不同的制程需要放置在不同等級的無塵室內進行，不同的產業相對也需要設置不同等級的無塵室。

那么該如何評估您的自動化設備在潔凈室中的適用性呢？

依據ISO 14644-14 國際標準

ISO 14644的本部分規定了一種方法，用于評估潔凈室和相關受控環境中使用的設備（例如機械、測量設備、過程設備、組件和工具）是否適合ISO 14644-1中規定的空氣中顆粒物清潔度。粒徑范圍從0.1 μm到等于或大于5 μm。

將潔凈室通過顆粒濃度分類的空氣潔凈度與設備在潔凈室及相關受控環境中使用的適用性聯系起來。通過在高顆粒濃度（HPC）位置或附近包含測量位置，可以反映出該應用的預期用途。

哪些設備特別要關注發塵量?

無人搬運車（AGV）

機械手臂（Robot ARM）

滑軌馬達模組（Linear Motor）

制程設備（Equipment）

分揀機（Sorting Machine）

包裝機（Packing Machine）

其他應運裝置（Others）

為什么選擇SGS

SGS半導體超痕量分析實驗室專為自動化設備在潔凈室的適用性評估

SGS提供全天候維持在ISO Class 3等級的潔凈室

SGS具備粒徑范圍從0.1 μm到等于或大于5 μm的顆粒數分析設備

SGS為您的設備量身訂制符合標準的分析規劃

SGS專業判斷您產品的適用等級

SGS可授予產品符合性證書

審核編輯 ：李倩