近日（4月17-19日），第25屆中國集成電路制造年會（CICD）在廣東廣州舉行，該會議由中國半導體行業協會集成電路分會等多家中國半導體產業權威機構主辦，是我國半導體產業鏈最具影響力的權威研討會。

自2020年開始，該會議連續三屆在廣州舉辦，在同年廣東省發布《廣東省培育半導體及集成電路戰略性新興產業集群行動計劃（2021-2025年）》，“1+20”戰略性產業集群等政策，展現了廣東省打造中國半導體第三極的決心。

其中，高端傳感器、MEMS智能傳感器等被列入廣東省半導體、新一代信息技術發展重點，并獲得優先扶持。從本屆大會獲悉，廣東在半導體產業已投入超5000億元！廣東在建擬建半導體重大項目近40個，其中包括廣州增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目等為代表的投資超百億級項目。

廣東不只要做中國半導體第三極，在某些細分領域，譬如MEMS傳感器等，更是要力爭第一！

廣東半導體總投資已超5000億元！重大項目近40個！MEMS智能傳感器等百億項目實現產業破局！300億半導體新資金正在路上！

在本屆中國集成電路制造年會（CICD）上，傳遞了許多重磅信息，展示了廣東這幾年來打造MEMS傳感器等半導體產業的成果。

廣東作為科技產業集聚的重要區域，其半導體產業發展亦居全國前列。數據顯示，2021年，廣東半導體&集成電路產業實現銷售額1404億元，在全國占比12.5%。

當前，廣東省在建擬建的集成電路重大項目近40個左右，總投資超過了5000億元。按照國家部署，廣東正加強產業布局，已基本形成了以廣州、深圳、珠海為核心，帶動佛山、東莞等地協同發展的3+n的產業格局。

此外，廣東半導體及集成電路產業投資基金二期正在籌備中，規模達300億元，基金期限長達17年，母基金可直接投資公司，包括汽車芯片，半導體材料設備，化合物半導體等主題。

根據“十四五”規劃，到2025年，廣東半導體及集成電路產業營業收入突破4000億元，集成電路設計水平進入國際先進行列，建成較大規模特色工藝制程生產線，產業鏈供應鏈自主可控水平進一步增強，打造我國集成電路產業發展第三極。

打造MEMS傳感器等3個百億級項目，不只是補齊缺芯短板，更力爭MEMS等細分領域第一！

大會透露，日前公布的廣東省2023年重點建設項目計劃中，半導體產業相關的項目超50個，涵蓋第三代半導體、封裝測試、半導體材料、MLCC、傳感器等領域，總投資逾1400億，其中包括三個百億級項目。

這些項目包括廣州增芯12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目、粵芯半導體12英寸集成電路模擬特色工藝生產線項目（三期）、深圳方正微電子第三代半導體產業化基地建設項目、芯粵能碳化硅芯片生產線項目等。

其中，增芯MEMS產線、粵芯三期項目、方正微電子產業化基地是投資超過百億級別的重頭項目，對補齊半導體產業鏈各個領域的短板具有重要意義，更在部分細分賽道力爭第一。

以增芯MEMS產線為例，2022年12月，增芯12英寸先進MEMS智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目開工建設，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產。據《廣州市2022年重點建設項目計劃》顯示，廣州增芯項目總投資將達到370億元！打造集研發、量產制造、封測與應用為一體的MEMS制造平臺。一期第一階段達產后產能2萬片/月；一期第二階段達產后產能擴至6萬片/月。

當前全球最大的MEMS晶圓代工廠——賽微電子旗下瑞典Silex產線（FAB1&FAB2），年產能約84000片，賽微電子北京產線（FAB3）目前規劃產能30000片/年，中芯集成（紹興）的MEMS晶圓代工年銷量約85000片左右。

▲賽微電子MEMS產能數據（來自賽微電子2021年報）

且以上MEMS晶圓代工產線均是8英寸線，12英寸晶圓較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產出來看，8英寸晶圓產出芯片88塊，而12英寸晶圓產出芯片則達到232塊。

因此，廣州增芯12英寸MEMS產線一期月產2萬片年產24萬片，后期年產36萬片12英寸MEMS晶圓的產能規劃，如果投產順利，將極大可能鎖定中國乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠的位置，將對我國傳感器產業格局有較大影響。

廣東作為中國經濟最強省份，憋著一股氣打造半導體產業，做到國內第三極，更要力爭第一！

廣東力爭中國半導體第三極！MEMS智能傳感器是彎道超車重點！獲優先扶持！

長期以來，廣東省半導體產業發展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市。據悉是由于錯位發展的需要，廣東大力發展光電顯示產業，而上海在上世紀80年代就布局芯片產業。

在國家支持下，2020年廣東發布《廣東省培育半導體及集成電路戰略性新興產業集群行動計劃（2021-2025年）》政策，開始大力打造廣東半導體產業，其中提到廣東半導體產業存在諸多嚴峻的問題：

一是創新能力不強，創新要素投入不足，關鍵核心技術研發能力薄弱。二是設計企業普遍規模偏小，高水平設計能力不足。三是制造環節短板明顯，實現規模化量產的12英寸晶圓線僅1條。四是高校人才培養嚴重短缺，微電子專業在校生不足2000人，人才引進難度越來越大，人才供求矛盾突出。五是對外依存度高，產業鏈供應鏈安全可控性亟待提升。在當前國際技術封鎖及國內區域競爭加劇的背景下，迫切需要加快補齊產業鏈短板，提升產業鏈供應鏈穩定性安全性，為推動制造業高質量發展提供有力支撐。

當前，廣東雖然有大量的芯片設計企業，但芯片制造產線寥寥無幾。以傳感器產業為例，此前粵港澳大灣區傳感器芯片產線缺乏，只有奧松電子等幾條MEMS傳感器芯片產線，許多企業流片、生產需要到長三角甚至國外尋找代工公司合作。

芯片分為邏輯運算、存儲器和傳感器三大門類，我國已經在上海、北京、武漢、合肥等地建設了邏輯運算和存儲器的主要產業平臺，而傳感器是萬物互聯的基礎、應用廣泛，亟待進一步發展。同時，我國傳感器產業羸弱，中高端傳感器80%需要進口，傳感器芯片進口率達90%已成共識，國產傳感器發展空間較大。

某種程度上，MEMS智能傳感器成為廣東半導體產業彎道超車的最佳賽道之一，在政策中，傳感器及MEMS也被作為多項重點工程提及。

此后，以廣州、深圳為核心，廣東傳感器產業獲得的政策支持，均處于前列，都是作為首批獲得資金扶持的產業。

2022年4月，廣東省工信廳印發《2022年廣東省數字經濟工作要點》，要全面實施“廣東強芯”工程，加快灣區半導體、廣大融智、智能傳感器三大產業集團建設。

一、成立廣東省半導體及集成電路產業投資基金（總規模500億，首期200億）：設立子基金、生態子基金和風險子基金；二、粵芯CanSemi12英寸模擬特色工藝線三期四期投資400億元；三、粵港澳大灣區科技創新產業投資基金，總規模1000億，首期200億元；四、灣區半導體產業集團，首期160億元，目標300億元；五、廣大融智產業集團，一期100億元；六、智能傳感器產業集團，100億。

同年，深圳出臺《關于發展壯大戰略性新興產業集群和培育發展未來產業的意見》，培育發展壯大“20+8”產業集群，即發展以先進制造業為主體的20個戰略性新興產業集群，前瞻布局8大未來產業。包括智能傳感器、智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫療器械等產業集群。

為壯大相關產業，深圳以“一個產業集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相關基金，基金群總規模達千億級。

其中，智能傳感器、合成生物、新能源汽車、生物醫藥產業共四個重點方向為首批先行產業，基金已在2022年12月落地，規模達165億元。

廣東省首個智能傳感器產業園揭牌！數百億智能傳感器產業基金成立！廣東省瘋狂搞傳感器！力爭第一？！

從2021年后，廣東省對傳感器產業的投入明顯加強，節奏也明顯加快。無論是廣東省政策，還是廣州市、深圳市兩大核心城市，對于傳感器產業的政策鼓勵，優先級都是排在前列的。

2021年8月，廣東省政府正式發布《廣東省制造業高質量發展“十四五”規劃》(以下簡稱《規劃》)。

在芯片設計方面，廣州重點發展智能傳感器、射頻濾波器、第三代半導體，建設綜合性集成電路產業聚集區；芯片制造方面，廣州以硅基特色工藝晶圓代工線為核心，布局建設12英寸集成電路制造生產線，深圳定位28納米及以下先進制造工藝和射頻、功率、傳感器、顯示驅動等高端特色工藝，推動現有芯片制造生產線產能和技術水平提升；在封測方面，廣州發展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統級測試技術等。

▲來源：《廣東省制造業高質量發展“十四五”規劃》

2021年9月，廣東省首個智能傳感器產業園——粵港澳大灣區智能傳感器產業園，正式揭牌，并于2022年8月建成。廣東智能傳感器產業園位于廣州人工智能與數字經濟試驗區（魚珠片區）北側，總占地面積約10.79萬㎡，建筑面積49.8萬㎡，總投資26.8億元。力爭5年內建成立足粵港澳大灣區輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產業集聚區，形成千億級產業集群。

而中國傳感器產業排名TOP2的兩大傳感器園區，江蘇工業園區和上海嘉定工業園區，早在20214年和2016年已形成一定規模，建設完善的MEMS傳感器芯片中試平臺。

2021年11月，注冊資本達100億元的灣區智能傳感器產業集團成立，由興橙資本作為發起人組建，在海外購買IMEC技術授權，將上海乃至全球的先進傳感器技術在大灣區應用推廣。集團將快速打造核心產業平臺，建設對標世界先進水平的12英寸MEMS傳感器量產線、12英寸晶圓級MEMS傳感器封裝和SIP系統級傳感器封測量產線，在增城南香山打造千畝空間的產業園。

2022年3月，深圳市工業和信息化局發布關于公開征求《深圳市關于推動智能傳感器產業加快發展的若干措施》（征求意見稿）意見的通告，相關政策于同年12月出臺。

深圳將從健全產業公共服務能力、構建核心技術競爭力和強化市場牽引發展能力三方面，加快發展智能傳感器產業集群，促進產業邁向全球價值鏈高端。政策顯示，對企業能夠解決智能傳感器產業“卡脖子”問題的，資金資助最高達到了1億元！（相關政策內容參看《最高資助1億！深圳要解決智能傳感器產業“卡脖子”問題（附政策全文）》）

2022年9月，深圳市光明區政府發布《深圳市光明區關于支持智能傳感器產業集群高質量發展的若干措施(征求意見稿)》。光明區將支持建設一條兼具研發中試和量產能力的亞微米級8英寸MEMS中試線，重點推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應力控制等核心制造工藝升級，形成標準工藝設計工具包(PDK)，面向市內外有關企業提供研發中試和批量代工服務。

據了解，上述中試線項目總投資額15.33億元，建成后一條線產能可達3000片。同時，深圳市還計劃將總規模50億元的智能傳感器產業基金落地光明。

2022年9月，廣東越海集成高端傳感器8寸/12寸TSV封裝項目生產基地開工建設，將建設晶圓級封裝生產線、3D傳感器模塊生產線，建成12寸TSV封裝產能每月1.3萬片，8寸及兼容4/6寸TSV封裝產能每月2萬片，填補了增城、廣州乃至廣東在“晶圓級先進封裝”領域的空白，可服務于新能源汽車、自動駕駛、消費電子、安防監控、生物醫療、物聯網、智能制造等多個領域。項目計劃投資總額將超60億元，建成后預計年產值超40億元。

2022年12月，增芯12英寸先進MEMS智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目開工建設，詳細情況參看上文。

2023年1月，深圳市光明區智能傳感與精密儀器先進制造業園區開工建設，項目位于光明區西南直角產業帶，綜合開發范圍1.95平方公里，規劃容積382.51萬平方米，分四期開發，項目總投資達81.9億元。

這是繼粵港澳大灣區智能傳感器產業園后，廣東省第二個成規模的傳感器產業園區。

結語

因發展側重等需要，長期以來，廣東半導體產業遠遠落后于長三角的上海、江蘇等兄弟省市。

近年來，隨著廣東半導體產業受到重視，吹響了打造中國半導體第三極的號角，當前廣東半導體在建擬建項目總投資超5000億元，已邁出了堅實的步伐。

廣東自改革開放以來，長久占據中國經濟最強省份的寶座，如今憋著股氣發展半導體產業，除了要做到國內第三極，在某些細分領域，譬如MEMS傳感器等，更是要力爭第一，實現彎道超車！

自2020年以來，廣東密集推出扶持傳感器產業發展的各項政策措施，其力度之大、政策范圍之廣，超過其他兄弟省份城市，可見廣東對于發展傳感器產業的決心，廣東在全力搞傳感器產業！未來可期！