液晶-硅基空間光調制器（LCOS-SLM）一直以來以高精度和易操控性，被用于各種光斑整型、光場調控的應用中。比如通過在0-2π范圍內改變光的相位，產生三維多焦點、貝塞爾光、艾里光、HG模光、LG模光等等，而廣泛應用于光通信、生物醫學、材料學、全息等眾多領域。

濱松空間光調制器

空間光調制器可進行多種光斑的整形

左圖：Andrew Forbes / CSIR ；右圖：Colour hologram projection with an SLM by exploiting its full phase modulation range, Jesacher A, Bernet S, Ritsch-Marte M., Opt Express. 2014 Aug 25;22(17):20530-411

現代激光加工，以超快激光加工為主，即使用高強度的超快激光進行材料加工。具有峰值功率高、熱熔區域小、加工速度快和重復精度高的特點。

液晶-硅基空間光調制器（LCOS-SLM）以其高精度的三維多點整形（通常使用CGH算法調制相位）功能；產生"長焦深"的貝塞爾光用于激光切割（下圖）功能；以及可實時矯正像差、實時通過軟件改變加工激光的聚焦深度和形狀的特性，可作為超快激光加工的理想光束整形器件。

貝塞爾光在激光切割中的應用：用貝塞爾光能夠在切割材料上形成一個更長的"焦深"，相當于對材料有一個較深的切割深度，同時在切割深度上能量分布大體均勻，這樣就容易得到較好的切割效果。

貝塞爾光用于深孔的加工及算法的優化：研究者們還開發了在貝塞爾光基礎上的優化算法，消除周邊圓環，提高深槽質量。上海光機所儲蔚老師（程亞團隊）曾在會議報告中講到的Tailoring femtosecond 1.5-μm Bessel beams for manufacturing high-aspect-ratio through-silicon via2，其中實驗則使用了錐棱鏡加相位板。此項也可使用濱松SLM來實現。

# 濱松LCOS-SLM高光強閾值性能及研究案例

由于材料和設計的限制，器件的抗強光特性還不完善（光強閾值低），截止到2017年，空間光調制器最高也只能承受幾十瓦/cm2的激光功率密度。所以一直以來，其并未被大范圍應用，僅用在了一些特定的激光加工材料上（往往是所需激光能量較低的被加工件），如塑料焊接，晶圓或玻璃切割（濱松專利的SDE激光隱形切割引擎，就是以空間光調制器為內核的）。

隨著產品技術的不斷進步，以及更廣泛的行業測試數據的支持，如今濱松的LCOS-SLM被證實可完全承受255W/cm2的平均功率、幾百兆瓦/cm2的皮秒激光器峰值功率、以及幾十G瓦/cm2的飛秒激光器峰值功率。以下為三個實際案例（以下研究，均使用濱松LCOS-SLM完成）：

1.用LCOS-SLM產生自適應的多光束激光進行薄鋼板切割

芬蘭VTT技術研究中心研究者利用200W紅外CW激光器成功應用LCOS-SLM作為自適應CGH（Computer Generated Hologram，計算全息），切割0.5毫米厚的普通結構鋼板。

Adaptive multibeam laser cutting of thin steel sheets with fiber laser using spatial light modulator, Jarno Kaakkunen (Corresponding Author), Petri Laakso, Veli Kujanp??,BA2405 Advanced manufacturing technologies3

2.使用數字工具進行超短脈沖激光燒蝕的新概念

使用高精度的LCOS-SLM可以使生成的點陣能量分布更準確（更均勻；或者按照研究者需要的加權實現不同能量的分布，更準確）。

高質量的多點并行加工并消除零級光 （中心亮斑，詳解見下圖）

High-quality generation of a multispot pattern using a spatial light modulator with adaptive feedback, Naoya Matsumoto, Takashi Inoue, Taro Ando, Yu Takiguchi, Yoshiyuki Ohtake, and Haruyoshi Toyoda, Optics Letters Vol. 37, Issue 15, pp. 3135-3137 (2012) 4

3.用于高平均功率皮秒激光（材料加工應用）曝光的LCOS-SLM的熱和光學性能研究

該研究者專門研究了SLM的熱承受能力，最高使用了220W的1064nm皮秒激光器進行了測試。研究者還提到： "我們使用濱松X10468系列反射式LCOS-SLM十多年了，經過多年的連續運行，我們用了峰值功率密度大于10 GW /cm2，平均功率大約12 W的能量，在無冷卻情況下照射SLM，沒有檢測到儀器有任何性質改變。這的確令人印象深刻。"

Investigation of the thermal and optical performance of a spatial light modulator with high average power picosecond laser exposure for materials processing applications, G Zhu, D Whitehead, W Perrie, O J Allegre, V Olle, Q Li, Y Tang, K Dawson, Y Jin, S P Edwardson, Journal of Physics D: Applied Physics, Volume 51, Number 9.5

更多皮秒激光器測試數據：

更多飛秒激光器測試數據：

更多水冷型平均功率測試數據：

# LCOS-SLM如何降低高功率激光的強光損傷

一般來講，空間光調制器受強光損傷的原理有三類：

1、激光能量被SLM吸收，溫度持續上升，產生相位偏移。

此類損傷閾值是由激光的平均功率所決定的，制冷是提高閾值的最佳辦法。通過添加Heatsink水冷的制冷方法，濱松LCOS-SLM已將平均功率閾值從幾十瓦提高到上百瓦。

通過合作伙伴們對LCOS-SLM在不同使用環境，不同功率閾值的測試。最后的數據表明，水冷技術加持下，濱松LCOS-SLM最高可承受255W/cm2的高功率。目前還在不斷地進行更高功率的測試。

2. 對于脈沖激光來說，由于單個脈沖的瞬間能量極高，SLM對激光的非線性吸收，會導致其溫度的急速上升和液晶層的損壞。

此類損傷閾值，是由峰值功率決定的，可以通過加介質鏡來提高。以具有專利技術的介質鏡為LCOS-SLM的反射層，代替了傳統的鋁材料。提高反射率的同時，材料對光能的非線性吸收也有所減少，從而保證了器件可承受高功率閾值。

濱松介質鏡涵蓋的波段有390nm-410nm，460nm-560nm，600nm-700nm，750nm-850nm，1000nm-1100nm，532nm&1064nm，1500nm-1600nm。由于LCOS-SLM芯片完全自主研發，介質鏡也可實現定制化。如今，濱松LCOS-SLM已被用于各類玻璃、藍寶石、金屬材料的激光加工應用中，提高了加工速度和精度，使復雜結構的加工成為可能。

3. 激光中的紫外線可能會對SLM造成物理損傷。

此類損傷，是由材料的耐紫程度來決定的。尋找耐紫外的新材料，也是濱松LCOS-SLM技術研究人員的課題之一。目前也已開發出毫瓦級的355nm紫外材料，眼下正致力于實現"大于3W"的目標。

面對超快激光加工應用市場的需求，濱松的工程師們未來還將研發千瓦級的LCOS-SLM芯片，不斷將性能向極限推進。

審核編輯黃宇