近日，深圳國際半導體展覽會在深圳會展中心舉行，展示以芯片設計及制造、集成電路、封測、材料及設備、5G新應用、新型顯示為主的半導體產業鏈。有眾多***、晶圓制造、半導體制造、顯示面板制造等設備廠商都集成了POD無塵拖鏈護套、部分設備真空吸附平臺集成了透氣多孔膜材料等。

1、POD無塵拖鏈護套

POD無塵拖鏈護套采用高分子PU與e-PTFE基膜（PD014PD011）復合制成。POD無塵拖鏈護套專用e-PTFE基膜（PD014PD011）具有低介電常數、耐摩擦、拉伸強度高、防塵阻液、抗酸堿及耐老化等特性。作為線束中的隔離帶，其重量輕、一致性好。符合RoHS、REACH、鹵素認證。

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2、透氣多孔膜（超高分子量聚乙烯多孔膜）

多孔透氣膜是采用超高分子量聚乙烯（UHMWPE）粉末經特殊工藝制作而成，形成一種多孔性透氣膜（VLC502VLC503VLC505等）。它具有透氣性和低摩擦系數，同時保持了超高分子量聚乙烯的耐化學性、耐磨性和黏性消除等特性。

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3、防水透氣膜（微孔過濾膜）

防水透氣膜是一種高分子防水透氣材料，采用ptfe樹脂經特殊工藝制作而成多微孔性過濾薄膜（ES681ES682ES672等），由于孔徑小于水分子直徑，而又大于氣體分子直徑，所以它能過濾氣體中的雜質、使氣液分離，殼體內外壓力平衡、防水透氣、微孔過濾排氣。同時還具有ptfe本身的特性、疏水、耐高低溫、防腐蝕等。在從多半導體制造設備中的傳感器中比較常見。

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此外，微爾斯新材料事業部（VONM）作為專注于eptfe膜材料的開發與應用，依托掌握的密封防水防塵、微孔泄壓排氣、氣壓平衡等功能技術，還在半導體其他領域中提供防護產品，例如：柔性管狀透氣膜、微孔過濾膜、防水透氣閥等。

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審核編輯 ：李倩