濱松的紅外相機是使用InGaAs材料,在900 nm-1700 nm波段有很高的靈敏度的科研級紅外相機,目前主要有三個型號的相機可供選擇:超高靈敏度深度制冷的C12741-11, 高靈敏度低噪聲的C12741-03,靈活小巧、可制冷有全局快門的C14041-10U。
900 nm-1700 nm的紅外波段在光通信、半導體檢測等諸多領域都有著廣泛的應用,下面就介紹幾個紅外相機的典型應用。
該應用通常來說光強較強,選用C14041-10U即可,如果是較弱的光纖出光,也可選用C12741-03.
用于光波導的相機需要觀測相對來說較弱的光纖發光等,所以建議選用靈敏度較高的C12741-03。
電致發光:在暗室環境下,通過增加曝光率獲取樣品缺陷發光現象。
硅片鍵合:對硅片、鍺片及其摻雜片鍵合過程中產生的缺陷進行檢測(氣泡、縫隙等),摻雜的材料根據情況不同,穿透波長也不一樣。
紅外穿透:硅片本身不透明,使用反射光僅能看清表面結構。使用紅外光源配合紅外相機拍攝,利用紅外光對"不透明"的硅片所具有的穿透性,就可以看清楚芯片內部各層的結構。
相機型號建議選用靈敏度較高的C12741-03。
輝銻礦,紅外可穿透,可見光不可穿透;石英,可見光和紅外均可穿透;黃鐵礦,紅外可穿透。通常使用紅外相機配合顯微鏡觀察。建議選用靈敏度較高的C12741-03。
針對極微弱的紅外光,例如材料發出的弱熒光,可以使用深度制冷到零下70 ℃的C12741-11。
審核編輯黃宇
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