9.5.12 光敏聚酰亞胺PSPI∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Photosensitive Polyimid
撰稿人：中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所 楊士勇
審稿人：復(fù)旦大學(xué) 鄧海
9.5 光掩模和光刻膠材料
第9章 集成電路專用材料
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊(cè)
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集成電路
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