10.4.4 定向自組裝光刻技術（DSA）∈《集成電路產業全書》
Directed Self-assembly Lithography（DSA）
審稿人：北京大學 蔡一茂 楊遠程
https://www.pku.edu.cn
審稿人：北京大學 張興
10.3 集成電路新材料
第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發展
《集成電路產業全書》下冊
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