影響電動輪廓儀測量精度的因素主要有以下幾點。

1．觸針的半徑

傳感器觸針的端部越尖，越能真實地反映被測工件表面的微觀幾何形狀誤差，但觸針過尖，不僅制造加工很困難，而且更易劃傷被測表面。觸針端部一般均制成圓弧形，此圓弧半徑越大，帶來的測量誤差越大。低精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為5um或10um。高精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為1um。

2．傳感器導(dǎo)頭半徑

傳感器導(dǎo)頭的作用是，觸針在被測表面上移動的過程中，形成觸針感觸微觀幾何形狀誤差的基準線，因此要求導(dǎo)頭曲率中心的運動軌跡與被測表面的宏觀幾何形狀輪廓一致。只有當(dāng)輪廓曲線起伏間距小或?qū)ь^的圓弧半徑較大時，才能達到此項要求。若導(dǎo)頭的圓弧半徑過小，則在測量中導(dǎo)頭將隨被測表面微小峰谷的起伏而上下運動．致使導(dǎo)頭曲率中心的運動軌跡與被測表面的宏觀輪廓不一致，造成觸針與導(dǎo)頭的相位誤差。影響測量精度。但導(dǎo)頭圓弧半徑過大，也會使被測表面的宏觀幾何形狀誤差反映到測量結(jié)果中，降低測量精度，因此一般要求導(dǎo)頭半徑為7～50mm。

3．測力

為確切反映被測表面粗糙度，要求觸針與被測表面可靠地接觸。如果測力過小難以達到此目的，會帶來一定的測量誤差。但如果測力較大，則既易劃傷被測表面，也易使觸針端磨損。所以測力大小必須適當(dāng)二另一方面，測力大小的．選擇還與觸針端部圓弧半徑大小相關(guān)。觸針圓弧半徑較大時，選擇的測力可適當(dāng)大些；觸針圓弧半徑較小時，選擇的測力必須相應(yīng)減小。一般對應(yīng)關(guān)系見表4.2.3。

表1觸針測力與圓弧半徑對應(yīng)關(guān)系

電動輪廓儀的保養(yǎng)

①每天開機前及測量完畢后用高織紗棉布蘸無水酒精清潔工裝表面、測針、軌道。

②平時不使用時將所有電源關(guān)閉，且將測針的保護套套上。

③嚴禁用掃帚清掃地面，以免灰塵揚起。

④對儀器進行全面的維護和精度調(diào)整。