作原理,再介紹使用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。 ??壓阻式壓力傳感器
??壓力傳感器在汽車上的使用
??壓力傳感器工作原理片面
??壓力傳感器可以廣義地分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
??底下,本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理,再介紹使用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
??壓阻式壓力傳感器
??壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應工作的。所謂壓阻元件實際上即是指在半導體質料的基片上用集成電路工藝制成的分散電阻,當它受外力好處時,其阻值由于電阻率的變更而轉變。分散電阻平常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。
??壓阻芯片采用周邊固定的硅杯布局,封裝在外殼內。在一塊圓形的單晶硅膜片上,安插四個分散電阻,兩片位于受壓應力區,另外兩片位于受拉應力區,它們構成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定,雙方有兩個壓力腔,一個和被測壓力相持續的高壓腔,另一個是低壓腔,接參考壓力,通常和壓大氣雷同。當存在壓差時,膜片產生變形,使兩對電阻的阻值發生變更,電橋落空平均,其輸出電壓反映膜片雙方蒙受的壓差大小。
??現在,壓力傳感器是典范的汽車傳感器,它寬泛地使用在汽車上。隨后,它被寬泛地用于高壓場所,如懸掛壓力探測和空調制冷壓力探測。現在,壓力傳感器更進一步地擴大到了高壓場所,如汽油焚燒放射和柴油共軌焚燒放射系統。鮮明,壓力傳感器在汽車上有廣闊的開展前景。
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