晶圓切割機(jī)主軸安裝會發(fā)生那些因素
1平行度。
如果主軸水平不符合要求，切割后的刀槽會變寬，邊緣會嚴(yán)重坍塌。例如，NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圓，主軸轉(zhuǎn)速3萬r/min、劃切速度20mm/s時(shí)間。理想的刀痕為0.030～0.035mm，當(dāng)主軸打表水平等于5時(shí)μm實(shí)測刀痕為0.045mm。
2垂直度。
如果切割后工件的刀槽一側(cè)坍塌，裂紋嚴(yán)重，另一側(cè)正常，通常由于主軸垂直度不足，可根據(jù)坍塌邊緣確定主軸的仰角或俯角。
3.主軸速度。
主軸速度匹配切割速度，影響切割效果是主軸速度，理論上增加主軸速度，提高切割速度，確保固定線速度不影響切割效果，但不同速度范圍內(nèi)的主軸振動不同，需要找到最佳組合點(diǎn)，在保證切割效果的前提下提高效率。注：選擇主軸速度時(shí)，注意工具允許的最大速度，如DISCO的PIA直徑50的系列刀具mm(2寸)刀盤時(shí)，最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盤時(shí)，最高速度<40000r/min。刀具在超過允許的最高速度時(shí)會自動解體。
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