哪些需要用到3D測量儀?SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外的3D測量儀,具有測量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
主要應用領域:
1、用于太陽能電池測量;
2、用于半導體晶圓測量;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
4、用于機械部件的計量;
5、用于塑料,金屬和其他復合型材料工件的測量。
比如從設計到封裝的各個環節都要貫徹測試要求的MEMS,由于尺寸小、質量小、易受環境影響等特點,MEMS測試的主要目的是在工程發展中對設計和仿真過程提供反饋,包括裝置行為、系統參數和材料特性等。在MEMS測試項目中,表面特性(粗糙度、臺階高)是一個非常重要的項目,目前主要是采用非接觸式的光學3D表面輪廓儀(白光干涉儀)進行測量。
應用
在3C領域,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領域,SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度等。
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光學儀器
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