按照工作原理的不同,輪廓測量儀可以分為非接觸式光學3D表面輪廓儀(白光干涉儀)和接觸式輪廓儀(觸針式)。
SuperView W1光學3D表面輪廓儀主要是用于產品微觀形貌測量,主要是測微觀粗糙度,精度一般是亞微米和納米級別的。主要在半導體晶圓加工、3C行業的蓋板、光學元器件、超精密加工以及各高等院校實驗室。
SuperView W1光學3D表面輪廓儀粗糙度分析操作步驟:
1、將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態穩定;
2、將夾具放置在載物臺上;
3、檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;
4、使用操縱桿調節三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5、完成掃描設置和命名等操作;
6、點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);
7、進入數據處理界面,點擊“去除外形”,采用默認參數,點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8、進入分析工具模塊,點擊參數分析,直接獲取面粗糙度數據,點擊右側參數標準可更換參數標準,增刪參數類型;
9、如果想獲取線粗糙度數據,則需提取剖面線;
10、進入數據處理界面,點擊“提取剖面”圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取;
11、進入分析工具界面,點擊“參數分析”圖標,點擊右側參數標準,勾選所需線粗糙度相關參數,即可獲取線粗糙度Ra數據。
SJ5700觸針式輪廓儀主要用于零件輪廓尺寸測量,比如汽配行業、軸承行業、五金工具、機械加工、緊固件行業、軸承行業、模具行業等等。在進行測量的過程中,檢定軟件會實時將測針獲取的參數,在計算機屏幕上以二維圖形的方式描繪出輪廓曲線,是一款全自動測量的儀器設備。掃描完成以后,操作人員可以通過輪廓分析工具直接對生成的輪廓曲線進行評定,得出圓度、角度、距離、間距、直線度等輪廓參數。操作便捷,功能廣泛。
可對輪廓進行直線度、圓度分析,可評定的表面輪廓參數包括:角度、半徑、坐標、距離、圓、圓截面,確定各個點、相交各點、坐標軸、直線、垂直線、圓和圓截面等,并可同時實現:
1.建立回歸直線和圓形;
2.建立點、交點、自由點、中心店、最高點和最低點;
3.建立坐標系統;
4.計算半徑、距離、角度、坐標及線性偏差;
5.實際值與標稱值比較;
6.測量程序自動運行。
SJ5700觸針式輪廓儀粗糙度測量步驟只需一次按鍵,測針自動接觸工件,自動調整測量力,根據工件表面自動調整移動速度,開始全自動輪廓掃描,整個過程無需任何人工操作。一次測量后可同時完成粗糙度和輪廓評定,無需更換傳感器。
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