三坐標(biāo)測量機將被測件放入測量范圍內(nèi)，可以準確測出測件表面的點在空間的三個坐標(biāo)位置的數(shù)值，經(jīng)過三坐標(biāo)數(shù)學(xué)計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。三坐標(biāo)測量機一般由主機(包括光柵尺)、電氣系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)及測頭組成。

1、主機

主機結(jié)構(gòu)分為：
(1)框架，是工作臺、立柱、橋框、殼體等機械結(jié)構(gòu)的集合體；
(2)標(biāo)尺系統(tǒng)，起決定儀器精度作用；
(3)導(dǎo)軌，實現(xiàn)三維運動的重要部分；
(4)驅(qū)動裝置，實現(xiàn)機動和程序控制伺服運動的功能；
(5)平衡部件，主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中。主要起平衡Z軸重量的作用，以使Z軸上下運動時無偏得干擾，使檢測時Z向測力穩(wěn)定；
(6)轉(zhuǎn)臺與附件，其中轉(zhuǎn)臺能使測量機增加一個運轉(zhuǎn)運動的自由度，便于某些種類零件的測量。

2、電器系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng)是測量機的電氣控制部分。它具有單軸與多軸聯(lián)動控制、外圍設(shè)備控制、通信控制和保護與邏輯控制等；

3、軟件系統(tǒng)

(1)計算機硬件部分，三坐標(biāo)測量機可以采用各種計算機，一般有PC機和工作站等；
(2)測量機軟件，包括控制軟件與數(shù)據(jù)處理軟件。這些軟件可進行坐標(biāo)交換與測頭校正，生成探測模式與測量路徑，可用于基本幾何元素及其相互關(guān)系的測量，形狀與位置誤差測量等。具有統(tǒng)計分析、誤差補償和網(wǎng)絡(luò)通信等功能；
(3)打印與繪圖裝置，此裝置可根據(jù)測量要求，打印出數(shù)據(jù)、表格，亦可繪制圖形，為測量結(jié)果的輸出設(shè)備。

4、測頭

測頭即三維測量的傳感器，它可在三個方向上感受瞄準信號和微小位移，以實現(xiàn)瞄準與測微兩種功能。Mars系列三坐標(biāo)測量機測頭部分：

(1)Pantec 測座
Pantec eagle head M7.5M8全自動旋轉(zhuǎn)測座，可實現(xiàn)測頭在A 軸和B 軸以7.5 度為增量移動，該測座具有720個可重復(fù)定位空間位置，可配置長達300mm 加長桿，具有高重復(fù)性以及機械式自動連接功能。
(2)Pantec測頭
Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的觸發(fā)式測頭。由測頭本體和可分離測頭吸盤組成，可以手動或自動改變測針的配置而不需要重新定位測針，在檢測時，可節(jié)省很多時間。