隨著碳中和目標的全球普及，光伏裝機快速增加，作為光伏產品的重要供應國，國內光伏組件廠商擴產意愿強烈，設備采購訂單一路狂飆突進。在電池技術快速迭代的趨勢下，產能技術升級也成為企業挖掘價值的主戰場，以異質結、TOPcon、IBC為代表的N型技術紛紛登臺亮相，光伏設備也迎來替換潮。

而傳感器的選擇應用也是設備商提升競爭力的一大利器，隨著生產需求的升級，傳感器的方案也在不斷升級。目前，明治已經陸續向大家分享了光伏排版機、花籃傳輸設備這些關于光伏設備的方案，揭秘了一個又一個光伏產業生產車間的傳感器升級技術，本期小明就來繼續給大家分享光伏設備中——氧化工藝的傳感器應用解決方案。

氧化工藝是將硅片放置于氧氣或水汽等氧化劑的氛圍中進行高溫熱處理，在硅片表面發生化學反應形成氧化膜的過程。

前端運料避障

激光避障雷達AS-33C系列

場景需求：

此工位位于硅片氧化工藝前端運料工序，激光雷達安裝在將硅片花籃運送到后氧化機上料處的AGV小車上，前后各安裝一個，起到避障作用，要求檢測2米以內的障礙物，要求響應速度在80ms以內

項目難點：

1.車間環境較為復雜，使得設備需要適應人機混行、多車混行的工作場景

2.需具備設備自檢及異常報警功能

解決方案：

1. 明治AS-33C系列為避障型激光雷達，采用TOF測量原理，避障性能穩定；3個避障區域設定，滿足車輛運行，減速，停止三個狀態，檢測精度±2cm

2.可對270°范圍進行精準測量，在AGV小車前后各安裝一個，使得設備避障無盲區

3.具備自檢功能，可檢測激光雷達本身性能是否異常，避免出現意外故障的情況下設備仍進行運作從而造成不良后果

防護門感應

接近傳感器 TQN18系列

場景需求：

需要在防護門上安裝傳感器來檢測門是否關緊，檢測距離要求7.5mm，檢測重復精度0.1mm以內

解決方案：

1.為埋入型電感式方型接近，腰型安裝孔，安裝簡單

2.檢測距離最高為8mm，使用M18螺紋安裝，節省空間

區域安全防護

安全光幕BKL系列

場景需求：

防止機械手抓取硅片過程中人員誤入設備工作區域導致傷害，要求響應時間小于20ms，檢測穩定

解決方案：

1.采用明治經濟型光幕BKL系列，有多種光軸間距和光軸數可供選擇，包括10mm，20mm，40mm，這里需要保護人體，我們推薦選擇40mm光軸間距

2.響應時間快速，小于10ms，一旦人體進入立刻發送信號驅動機器暫停，起到保護人體的作用

3.抗光干擾能力較強，最大能承受10000lux干擾，不受現場其他雜光干擾

機械手硅片抓取感應

背景抑制光電傳感器 ESB-S10系列

場景需求：

此工位位于硅片氧化工藝中中段，需要安裝傳感器檢測機械手是否抓取到硅片，以便進入下一工序，要求檢測穩定，檢測距離50mm

解決方案：

1.在機械手上安裝3個背景抑制型光電傳感器ESB-S10系列，不受背景顏色影響，可穩定檢測任何顏色物料

2.檢測距離為5-100mm，可滿足需求

硅片堆疊高度控制

背景抑制型光電 ESB-B30系列

場景需求：

此工位位于硅片氧化工藝中，接收機械手運送的物料，對硅片堆疊高度有要求，需要在物料堆疊到指定高度后停止堆疊；檢測距離250mm，有LED照明燈，環境光照較強，會對傳感器造成干擾，要求響應時間小于1ms，另外客戶對于檢測精度要求高，需要重復精度小于0.5mm，于此同時，此設備還會生產多種類型的硅晶片，要求一款傳感器可以兼容所有產品

項目難點：

對傳感器抗光干擾能力有較高的要求，需要能同時抵抗住硅片的高反光和周圍強光的干擾

解決方案：

1.使用兩個背景抑制型光電傳感器ESB-B30N系列平行安裝于硅片堆疊限位高度上下，不受背景顏色影響，可以保證多種類型硅晶片的檢測兼容

2.傳感器檢測距離可以達到250mm，在此場景下可滿足客戶需求，檢測距離可調，可通過頂部旋鈕調節，安裝調試方便

3.響應時間小于1ms ，可在穩定檢測的同時保證檢測效率，光斑小檢測精度高

4. 抗光干擾能力較強，陽光照射可達到10000lux，白熾燈照射可達到3000lux，抗雜光干擾能力強，不受機械手下方的地板面、設備的金屬面、門窗的玻璃面等環境及硅片反光干擾

5.傳感器可零距離并排安裝，近距離并排安裝不會發生相互干擾的狀況